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碳化硅宽带隙半导体材料生长技术及应用
王 强，李玉国，石礼伟，孙海波
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（ 山东师范大学半导体研究所，山东 济南
摘要：概括了宽带隙半导体材料碳化硅的主要特性及生长方法，介绍了其在微电子及光电子领域 的应用，并对其发展动态及存在问题进行了简要评述。 关键词：宽带隙半导体；碳化硅；光电子学
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