开机的操作过程
1.点击 Manual 按 钮,随后点 F4（三次）， 进入Ｄrives 菜单，点击 All Conveyor, 点击 star开 始滚轮转动。 2.点 F10 退 回主界面
Conveyor按钮
开机的操作过程
确认界面各模 块单元上方显 示黄色 “Manual”状 态，且滚轮显 示蓝色即滚动 状态.
按钮
关机的操作过程
进入“Manual”选单中“Etch bath”，点击＂Drain Bath",即把 Etch bath 中的反应液排到 Tank内。点击 F10 退回主菜单， 确认 Etch Bath 模块显示黄色＂not ready"和黄色＂ draining"．
Drain Bath
关机的操作过程
start按钮
变为绿色
开机的操作过程
界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色＂in process＂．即 设备进入正常生产状态。
in process
关机的操作过程 点击界面下方的“Stop”按钮
stop按钮
关机的操作过程
确认各模块均停止工作，点击“Mode manual＂按钮 进入手动模式， Manual
界面上 Etch bath 单元下方显示为黄色“Filling chemie”和黄 色＂not ready",等待 Etch bath 添加完成，等待碱槽和酸槽 温度显示稳定，下方显示为绿色添加Leabharlann 成 显示为绿色开机的操作过程
“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击＂start"按钮各模块 自动运行．
Rena清洗机 清洗机
设备中心清洗组 12月20日
一 、 设备概况
RENA 清 洗 设 备
设备概况
InTex
目 的 ： 去除硅片表面的污染物；在硅片表面腐蚀出绒面；络合硅片表面沾污的金 属离子。
InOxSide
目 的 ： 去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉硅片背面及周边p-n结。
工作流程
Intex
上料台 制绒槽 吹 干 漂洗 1# 碱 洗
等待 Etch bath 排液完成，在 Etch bath 模块上只显示为黄 色“not ready”。表明液体排完．
显示为黄色 “not ready”
关机的操作过程
用水枪冲洗 KOH 的喷淋管和槽体，并清洁设备表 面。
关机的操作过程 检查各门的位置，正确地调整好它们。
正确为 绿色
关机的操作过程
开机的操作过程
确认监测屏幕 上显示各模块 溶液均满槽 （即 Full DI、 Full Chem)和 设备门窗均关 闭。所有槽位 工作状态显 示 ＂ready".
ready Full DI Full Chem
开机的操作过程
在设备背面处，确认 KOH 槽和酸槽液面均达到第二液位传 感器( Pump Dry Protection)，若液位不 够，通知当班工艺 工程师。
开机的操作过程 1、合上电源，开启设备的显示器
无法显示图像。计算机可能没有足够的内存以打开该图像，也可能是该图像已损坏。请重新启动计算机，然后重新打开该文件。如果仍然显示红色 “x”，则可能需要删除该图像，然后重新将其插入。
电源按钮
电源开关
开机的操作过程
点击
点击 Login 进入登陆界 面，输入用 户名及密码， 点击 ok 进 入,
开机的操作过程
确认各模 块有无报 警信息， 若有任何 异常，通 知当班工 艺和设备 工程师。
信息栏
开机的操作过程
1.点击 Manual 按钮,随后点 F4（三次）， 进入Ｄrives 菜 单，点击 All Conveyor,点击 Stop 停止滚轮 转动。 2.点 F10 退回 主界面。
Conveyor按钮
下料台
干 燥
漂洗 3#
酸 洗
漂洗 2#
InOxSide
上料台 刻蚀槽 漂洗 1# 碱 洗 漂洗 2#
下料台
干 燥
漂洗 3#
酸 洗
开机前检查 1、压缩空气:
RENA 清洗 机的 Air Knifes 工作压力规定4—6bar 的气压。
无法显示图像。计算机可能没有足够的内存以打开该图像，也可能是该图像已损坏。请重新启动计算机，然后重新打开该文件。如果仍然显示红色 “x”，则可能需要删除该图像，然后重新将其插入。
正常的 电脑关机
不可直接按 电源按钮
谢谢! 谢谢
点击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。点击对 话框中“Log off”，门将被密封。
按钮
关机的操作过程 关闭设备显示器，
无法显示图像。计算机可能没有足够的内存以打开该图像，也可能是该图像已损坏。请重新启动计算机，然后重新打开该文件。如果仍然显示红色 “x” ，则可能需要删除该图像，然后重新将其插入。
开机的操作过程
点击 Mode Auto 按钮， 设备进入自 动模式，在 界面上所有 操作单元下 方从黄色 “Manual”转 变成绿 色 “Auto”
Mode Auto
绿色Auto
开机的操作过程
设备将自动开始从 Tank 中向 Etch bath 添加腐蚀液
添加到 Etch bath
开机的操作过程
开机前检查 2、纯水（DI水）
纯水压力应在3Bar -- 4Bar，温度在 20 摄氏度
开机前检查 3、冷却水：
进水温度应在 20 摄氏度以下，进水回水压力差应 在 3Bar 以上
进水温度
回水温度
开机前检查 4、化学品供应：
在界面下， 点击Ｆ10 查看各 Media Supply 均 正常供应 （箭头均为 绿色）