静电荷放电是在摩擦产生电荷与消散电荷两者竞争后 的结果。在产生电荷方面，造成影响的主要因素包括材 料特性、接触紧密程度、材料间摩擦系数、摩擦速度及 摩擦面积等。而消散电荷方面，造成影响的主要因素包 括材料导电率、环境相对湿度及材料表面的水分。因此 若要避免静电荷的累积除了减少摩擦动作与更换材料外， 控制湿度及"接地"等消散电荷的动作亦是相当重要的。
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绝缘体的带电特性
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防电能力与电阻率及接地的关系
电阻率（Ω・ｍ）
10 4 10 5 10 6 10 7 10 8 10 9 10 10 10 11 10 12 10 13 10 14
导电体
Intermediate area
绝缘体
接地有效
中間位
接地无效
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选用适合的材料
摩擦帶電表 (相對表)
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总体概述
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静电基本定义
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◆物质是由原子细小粒子所组成，而原子乃由 中子、电子、质子所组成。
◆一般的原子其质子数目与电子数目相等(正负电 荷数量相等)，所以原子是电中性的。
SCL
680-1000
STTL
300-2500
DTL
380-7000
肖特基二极管
300-3000
双极型晶件管
380-7000
石英压电晶体器件
<10000 14
静 电 防 治 一般对 策
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防制模式(防止静电对策) (a) 将素材加湿 (b) 涂上防静电液(界面活性剂) 除去模式(消除静电对策) (a) 使用高压电除电 (b) 利用带电离子使其中和 制电模式 (a) 素材选定与接地
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静电电荷源
测得的电压（V）
10%--20%RH
65%--90%RH
走过地毯
35000
1500
在聚烯烃类塑料地面行走
12000
250
工作台旁操作的工人
6000
100
翻动聚乙烯膜封皮的说明书
7000
600
从工作台拾起普通聚乙烯袋
20000
1200
垫有聚氨酯泡沫的工作椅
18000
1500
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静电所造成的破坏
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引起爆炸、火灾、发烟….. 半导体组件之破坏 纸张及薄膜粘连引起的工作不顺畅 灰尘的吸附造成的外观及功能不良 放电噪声(noise)、影响程控器(PLC) 震动送料盘(Part Feeder)送料工作阻塞 工作人员触电问题 制程良率的下降
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典型的静电电压
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Positive （＋）
Negative （－）
空人石玻云尼铅绢铝纸木铁木琥封硬鎳錫金硫人聚賽氨聚矽鐵
气手棉璃母龙
棉
珀蠟質．．．黃造酯珞基乙利氟
橡銅銀白 絲 路甲烯康龍
\
膠
金
酸 乙
硅
酯
相同的材料在接觸時不會產生帶電. 在表上接近的材料磨擦時產生的帶電較少. 當工件是鐵氟龍時(Teflon), 在震盤上電鍍上Teflon可減少帶電.
(c) 每楼层地线用大功率开支主干相连便于维修.
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接地方式
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硬接地:直接与大地作导电性连接的一种方式.
软接地:通过一足以限制流过人体的电流达到安全
值的电阻连接到大地电极的一种接地方式.
防静电接地系统在没有特别指明需采用硬接地外, 一般采用软接地方式.
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防静电材料
静电耗散材料:其表面电阻率等于或大于1× 105Ω, 但小
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静电荷放电(ESD)
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ESD:Electro Static Discharge 即静电荷放电.
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什么是静电荷放电？
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当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强 时,因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失 的现象.
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静电放电产生因素
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生活中常见之静电感应现象
1.用毛衣摩擦塑料尺，可吸引小纸片。 2.寒冷干燥的天气中脱掉毛衣时，可听到轻微的爆裂声。 3.雷电的发生与避雷针。 或PC关机时会有静电出现。 5.油罐车因液体与铁皮摩擦易产生火花放电,而引起火灾， 故作业车辆会配置接地装置使其静电可藉由此一方式与 地面中和，避免灾害发生。
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静电发生的类型
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接触 两物体因其带电位不同相互接触就会产生静电。 摩擦 两物体经由相互摩擦而造成带电。 滚动 置于回转体内之物体经滚轮转动时而引发带电情形。 剥离 因接触面分离而造成的带电。 喷出 随着高压气体或液体快速喷出与喷嘴摩擦而带电。 诱导 因静电诱导而形成带电状态。
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一些器件的静电敏感电压
VMOS MOSEET GaAsFET
PROM CMOS HMOS E/DMOS ECL
30-1800 100-200 100-300
100 250-2000
50-500 200-1000 300-2500
运算放电器
190-2500
JEFT
140-1000
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静电接地系统铺设
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(a) 静电接地系统与设备地线分开.因三相供电的零 线由于不可能绝对平衡,会有不平衡电流产生并 流入零线接地点.
(b) 为保证接地可靠性应保证三点以上接地.且接地 导体需埋入地下3米以下.用绝缘铜芯线引入室内 作为主干.绝缘铜芯线截面积不小于1.25MM2.
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导致静电产生决定要因
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●接触面积 面积越大产生静电机率越大 ●压 力 压力越大产生静电机率越大 ●摩 擦 摩擦系数越大越容易产生 ●温 度 一般公司设定在23 + 3 ●湿 度 50 + 20%RH (ANSI/ESD S20.20)
(目前业界所设定的范围更为严谨 50 + 10%RH)
◆原子失去外层电子时，质子数多于电子数则原子 带正电。
◆原子失去外层电子时，质子数多于电子数则原子 带正电。
◆一物体带电是指其所含的正负电荷数量不相等。
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原子模型
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电荷本质
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电子与物质的结构 ◆ 电荷的平衡 : 电子数 = 质子数 ◆ 电 中 性: 电子数 = 质子数 ◆ 带 正 电 荷: 电子数 < 质子数 ◆ 带 负 电 荷: 电子数 > 质子数 ◆ 只需改变电子数目便可以使物质起电