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硅原料目的

一、目的为明确腐蚀车间硅料抽检规范,提高硅料判定准确性。

二、适用范围适用于公司硅料腐蚀后抽检。

三、主要内容1、外观检验:检验方式:抽检;抽检比例:外观10%;检验方法:目测;2、各种硅料的外观要求:(1)、原生硅:①、不可有黄色附着物;②、大块原生硅“菜花”中不能有其他杂质;③、原生硅中不能有泥土、石墨及其他可视异物或杂质;④、不可有彩色附着物;⑤、原生硅中不能有黑色斑点;(2)、头尾料:①、不可有硅“刺”(吊肩料中较多);②、不可有明显杂质及异物;③、多晶部分酸洗后,光滑的表皮中可能有灰白的一层物质,可以接收;④、不可有彩色黑色附着物;⑤、不可有酸液的污渍、水渍残留;(3)、埚底料:①、不能有白色石英和石英渣;②、埚底料缝隙中不能有酸渍和水渍;③、不能有石墨块;④、多晶边体料;A、不可有黄胶或白胶;B、不可有可视异物或杂质;⑤、硅粉:不可有可视异物或杂质;A、不可有可视异物或杂质;B、不可带胶;C、不可带酸、碱、水等污渍;D、不可有硅片以外的其它物质;E、不可有带彩色的硅片;F、不可有非硅片;3、性能检验;检验方式:抽检;抽检比例:5%;检验仪SDY极性仪、DB-86电阻率测试仪;4、性能检验要求:(1)、依据抽检数据计算出各电阻率分布及型号所占比例。

计算电阻率时不考虑局部重掺。

例如:抽检2KG,P型ρ>0.5Ω·CM的料有0.5KG,N型ρ>3Ω·CM的料有1.5KG,则写成:ρ>0.5Ω·CM 0.5KG 25%N型ρ>3Ω·CM 1.5KG 75%(2)、电阻率分级:P型ρ>1Ω·CM N型ρ>3Ω·CM 重掺局部重掺ρ 0.5-1 ρ 1-3 标明实际电阻率标明所占比例ρ 0.3-0.5 ρ0.5-1例:占重量的ρ 0.2-0.3 ρ0.3-0.54%ρ 0.1-0.2 ρ 0.1-0.5ρ<0.1 ρ>0.1(3)、各种硅料的检测位置及要求①、头尾料:A、极性:检测点打任意四个面上,不少于四点;P/N型的取N型;B、电阻率:电阻率以最小测量值为准,测量多晶时,4探;针要顺着晶体的生长方向;②、碎硅片:A、极性:检测任意一个表面,测试点靠近硅片中心;B、电阻率:检测任意一个表面,测试点靠近硅片中心;③、锅底料(直径3CM以上):A、极性:检测位置要避开与石英坩埚接触面、打磨面;避开局部重掺;检测4个点,若其中有一半以上的点为P型,则此块埚底料为P型;B、电阻率:以P型点的最大电阻率为准;若整块硅料为N型,则以N型最高点为准;如果有结晶面时,电阻率按结晶面的测试为准;④、多晶循环料:A、极性:检测点以靠近硅锭中心的切割面为准,测两点;B、电阻率:检测点以靠近硅锭中心的切割面为准,测两点;四探针不可跨晶界;⑤、原生多晶硅块:A、极性:测试点为任意点,测两点;B、电阻率:靠近多晶硅块的中心;⑥、温度注意事项:打测量硅料性能时,硅料的温度应略低于体温时,方可测量;5、仪器使用注意事项:(1)、极性仪测到重掺后,要用温差法测量重掺的极性;(2)、极性仪、电阻率测试仪要每天校准;(3)、电阻率测试仪开机老化半小时后方可进行测量,测量过程中档位要正确选择读数要稳定;(4)、电阻率测试仪每次开机要进行自校准,即第三个钮“Function”中的“CAL”值要打1984-2006之间;(5)、测量电阻率之前,要检查第三个钮“Function”中的“E-ADJ”值,是否符合硅料的厚度;(6)、开始测量前,应弹起“CURRENT”键,透过调节白色旋钮,进行调等;6、硅料名称与检验结果不符:依据性能、外观检验结果、对照送检物料名称、等极、重量、极性及电阻率范围进行检查。

如有名称、等极、极型及电阻率与检验数据不符的情况,及时反馈主管进行处理,不可发往三级料仓。

四、记录保存:相头记录割单打品保部保存1年。

五、相关记录QR-10-10《硅料清洗分选检验报告单》物料批号管理规范一、目的:跟踪物料的流向和产品质量管理的追溯,提高品质跟踪效率,提高客服质量,特制定本办法。

二、范围:适用于单晶一厂、多晶二厂、单晶三厂。

三、权责单位:物料中心----仓储四、内容:1、仓库的分类保税(进料加工、来料加工)、一般贸易(自产)2、生产术语解析专有名词中英解析3、批号统一方案(!)、批号标识符均采用拼音缩定形式,适用于一厂、二厂、三厂;(2)、原材料批号编码二位流水号进行月累计续编;4、原材料批号的编写方法(!)、保税:缩写+手册号(所有手册)+日期+到货繁率流水号(2)、一般贸易:缩写+日期+到货繁率流水号5、半成品、成品批号编写方法(!)、半成品:(单晶硅棒)YBMY+年+月+日+炉号+炉次;手册号+JL/LL+月+日+炉号+炉次例:YBMY 08 04 22 186 01 250JL/LL08 04 22 186 01 (多日硅锭)标识符+年+月+日+炉号+炉次;手册号+标识符+JL/LL+月+日+炉号+炉次例:YBMY TC 08 04 22 186 01 250JL TC/LL YF 08 04 22 186 01(2)、成品硅片:(单晶硅片)YBMY+年+月+日+箱次+班(组);手册号+标识符+年+月+日+箱次+班(组)例:YBMY 08 04 22 01A 250BSJL/BSLL 08 04 22 01B (多晶硅片)标识符+年+月+日+箱次+班(组)手册号+标识符+年+月+日+箱次+班(组)例:YBMY 08 04 22 01A 250BSJL/BSLL 08 04 22 01B 6、贸易加工走向图进料加工(JL)/来料加工(LL)7、批号流通制度(1)、仓库对采购买进的原材料,一经称重确认后,由仓库负责进行物料批次入库,采购签字确认。

(2)、仓库对原材料入库的所有信息,(如采购业务员,合同号,入库日期、批号申请单、报告单……)按月汇集成册,保存2年以上。

(3)、原材料自采购入库起,三级料出库终止的生产环节,物料批号一致。

(4)、对一般贸易和保税仓库的成品、半成品,必需将手册号(标识符)区别清晰、准确,并分区存放。

一般贸易YBMYZC进料检验作业说明一、目的为了加强和规范对公司所购原材料、半成品、辅助材料、包装材料的管理。

确保未经检验或检验不合格的材料不被使用;特制定本作业说明。

二、适用范围对浙江昱辉公司所有原材料、半成品、辅助材料、包装材料的进货检验的控制。

三、术语解释检验:对实体的一个或多个特性进行的诸如测量、检查试验或度量并将结果与规定要求进行比较,以确定每项特性合格情况的进行的活动。

试验:是对产品一种或多种性能进行功能试验与检查。

原材料:硅材料半成品:已经完成单晶生长工序的硅材料,可以直接用于下道工序的生产。

辅助材料:除原材料之外的生产耗材四、职责1、国际采购部的职责:负责原材料的采购,到货时,采购员开出《入库通知单》给仓储部、品保部;负责不合格材料的退货。

2、辅料采购办的职责:负责辅助材料、包装材料的采购,组织对供应商的现场考核,编制合格供方名单,在货物到达时,采购员开出《入库通知单》给仓储部、品保部;并负责不合格货物的退货处理。

3、技术部的职责:负责编制《进料验收标准》对原材料和辅助材料提供技术指示,并对不合格的处理给出技术方面的分析和处理意见,协助对供应商考核。

硅料进料检验标准一、目的:为加强公司所使用的硅原料质量管控,使公司执行的检测有据可依,特制订本标准。

二、范围:适用于本公司硅原料进料检验。

三、检验项目和要求:1、性能要求(1)、外观:要求无石墨、石英、氧化物、等非硅料杂物以及直径小于3MM的碎硅粉。

(2)、极性:P型与N型(3)、电阻率:P型:ρ≥0.5Ω.cm N型:ρ≥1Ω .cm(4)、纯度:去除可视、可测杂质或掺杂层后,硅料纯度要大于99.9999%,或以合同规定为准。

(5)、少子寿命:对于可以测量的大块硅料,不钝化,测量结晶面或切割面,少子寿命应大于1.5us(SEMTLAB WT-1000B)2、检验方案:按批量重量的2%进行随机抽样,对于无法用仪器测量的硅料,需先试投,合格之后方出抽检检验报告单。

3、检验工具(1)、STZ-8极性分选仪;(2)、BD-86A四控针测试仪;(3)、WT-1000B少子寿命测试仪;4、检验的判定(1)、当合同有明确的规定时,检验的判定结果以合同为准。

满足合同,则判合格,反之不合格。

(2)、当合同无明确规定时,检验的判定结果以抽检结果为准。

抽检中出现不满足性能要求的硅料重量占抽检总重量的3%及以内,则判为合格;否则判为不合格,并通知采购进行相应的处理。

5、免检硅料列割:(1)、MEMC免洗料;(2)、MEMC硅粉及硅颗粒;多晶循环料使用分级作业指导书1、目的规范多晶铸锭产生循环料的判别,加强多晶硅材料的质量管控,特制定本规范。

2、适用范围本标准适用于多晶过程检验对产生多晶循环料的判定。

3、主要内容3.1种类:3.1.1A级多晶循环料:可以直接用来铸锭的循环料;各级循环料:适量控制使用B极多日循环料:不能直接用来铸锭的循环料;3.1.2检验方法a.外观:目测或游标卡尺b.性能:1)杂质:SIS300-3D红外测试仪;2)导电类型:STZ-8极性仪;3)电阻率:BD-86A四探针测试仪;4)少子寿命:WT-2000少子寿命测试仪;5)碳、氧含量:Nicole Eco/RS傅立叶变换红外光谱仪;QR-10-15 《多晶硅块剖方检验报告单》头尾料分类与使用标准一、目的为提高产品的质量要求,加强产品的质量管控,特制定本标准。

二、适用范围适用于本公司单晶炉拉出单晶头尾料或吊出多晶头尾料的分类与使用。

三、主要内容1、头尾料分级标准(1)、检验数据达到A、B、C1级标准时不需反切。

(2)、检验数据为C2级标准时需将符合C1级标准的部分反切出来。

检验数据为D 级标准时需将符合C1、C2级标准的部分反切出来。

(3)、检验数据为F级标准时需将符合D、C1、C2级标准的部分反切出来。

(4)、P1、P2、P3、N1、N2、N3、N4、N5、N6级只需根据电阻率分级,但各部分反切出来。

3、头尾料分级方法(1)、每根单晶或多晶均需在等径最后尾部部分能切出样片的部位进行取样,取样后进行碳含量、少子寿命检测。

根据检测结果再按头尾料分级标准和头尾料分级别原则进行分级。

(2)、切出尾部样片后的尾部硅料再去根据电阻率分选,碳含量、少子寿命根据尾部样片数据降一档次使用。

(3)、若在检测晶棒头尾电阻率发现有反翘、转型时,对这些头尾料分级标准的头尾料要在其名称后面注明反翘、转型字样,并单独入库存放。

4、头尾料分级使用规定(1)、A、B、C1、C2、D、E级头尾料可用于单晶炉拉单晶或多晶炉铸造多晶生产;除A级料外,其它各级料不得重复叠加使用。

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