磁控溅射镀膜机使用说明
1、检查水箱液面高于冷却管，三相电指示灯，出气管放到窗外。

（推荐用纯净水）
2、放样品
a、打开放气阀，打开侧门，关闭放气阀。

（或看真空计示数）
b、升顶盖
c、放靶材，放样品，用万用表检查靶材与外壳是否短路
d、降顶画，关侧门
3、抽真空
a、手按住侧门，开机械泵，开电磁阀，开预抽阀
b、清洗Ar气管，将Ar气减压阀关闭（逆时针），将Ar气开关打向（D08－1F）清洗，示数降为零（0.1－0.2）打到关闭，打开Ar气瓶上减压阀0.2Mpa
c、当气压计小于5pa，开分子泵（先合上电源，再按运行，运行一段时间后自动停止），关预抽阀，开抽板阀
d、烘烤（约半小时），关烘烤（未做）
e、等待真空至要求值。

4、溅射
关小抽板阀，打开Ar气开关至阀控，流量设置为要求值（文献），调节抽板阀令腔内气压至工作气压（文献Ar气压）20pa
打开偏压电源（直流），打开基底挡板，清洗基底（清洗完关基底挡板）。

恒电流：
打开射频电源，调节功率至要求值，打开靶材挡板，开始溅射。

射频电源要令Pr尽可能至零（调节LOAD，TUNE调占空比）。

打开基底挡板，开始溅射。

5、停机
溅射完，关射频电源off,流量调至0，关Ar气至关闭，打开抽板阀，抽真空1小时。

关抽板阀，关分子泵（先按STOP，一直到示数为0，再关闭电源），关电磁阀，关机械泵。

6、关气瓶（主）
注意：
1、不允许真空状态下，打开顶盖升降。

2、不允许分子泵，运行时，打开充气阀。

3、Ar气减压阀，一定逆时针关闭后才能清洗Ar气管。