HDI工艺介绍
2.2.3 Large window工艺的加工方法
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2.2.4 用CO2直接打铜工艺的母板流程 次外层图形制作→ 黑化→ 层压→ 锣板边→ 盲孔 蚀铜1→ 减薄铜→ 棕化1→ 激光钻孔→钻孔→ 去钻污→ 沉铜 → 减成法：（全板 电镀→外层干膜→酸性蚀刻→ 正常 流程） 正常法：（加厚铜→外层干膜→图形电镀→碱 性蚀刻→正常流程）
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6.5 在Conformal mask1菲林上将次外层上用作 conformal mask2或large window手动对位和显 影后检查对准度的标靶蚀刻出来，其方框比次 外层对位标靶方框单边大10mil，如图所示：
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6。 Conformal mask2或Large window曝 光对位及其对位检查图形
6.1在次外层菲林短边且离短边中心线（Y轴）靠 左或靠右20mm设置一组5mm的pad
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6.6 对应于次外层3个/组的对位Pad处，在 conformal mask2或large window菲林上每组设 计1个对位圆环, 内圆直径47.5mil，透光，环12 mil；2个检板Pad,直径37.5mil，阻光（如下图）
常用标靶
备用标靶
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7.2 Large window方法制作
在次外层菲林上四个角制作两套激光钻孔标靶,分别两套 标靶一套常用,另一套作为备用,其外径均为3mm,常用 标靶内径为1mm,备用标靶内径为2mm,两套相邻标靶中 心至中心的间距为8mm,其它内层相对应标靶位置设置 比标靶单边大6mil的基材区。对于两个次外层的常用 标靶要求相互错开，并相互掏成基材，而次外层的备 用标不用相互错开，其图如下：
激光孔对位检查图形
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1。内层菲林设计 1.1 层压两次的HDI板同Sequential板内层菲林设 计，须设两套标靶孔，一套用于子板钻定位 孔，另一套标靶用于母板钻定位孔； 1.2 层压一次的HDI板同正常生产板的内层菲林 设计，设一套标靶孔
12mm+10mil
10mm+10mil
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6.3 在conformal mask2或large window菲林 上对应次外层上用作conformal mask2或 large window自动曝光对位的标靶处设计 2mm pad。
L2 Ln -1 备用标靶 常用标靶
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6.9 Conformal mask2少孔、多孔检板菲林 制作： 环为4mil
← → ←
内径比盲孔孔径单 边大4mil
图5
盲孔
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3。切片盲孔设计
180mil*50mil基材区，在板边靠近单元处设置 8组盲孔内层pad
基材区
180mil
50mil
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次外层手动对位PDA 自动曝光标靶 MASK2显影重合度 查检测试图形 MASK2蚀刻重合度 查检测试图形
子母板定位 铆合重合度监控
3
4 5 6 7
冲孔用
次外层对位
MASK2自动曝光用 MASK2显影重合度检查用 MASK2蚀刻重合度检查用
8
9
激光钻标靶
激光钻定位用
激光钻定偏光分析有
激光钻孔
激光钻孔
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• 2.2 母板流程 • 2.2.1 用Large window 和Conformal mask 工艺的
母板流程
• 次外层图形制作→ 黑化→ 层压→ 锣板边→ (减 薄铜)→ 盲孔蚀铜1→ 盲孔蚀铜2→ 激光钻孔→ 钻孔→ 去钻污→ 沉铜 →减成法：全板电镀→ 外层干膜→酸性蚀刻→ 正常流程（正常法：加 厚铜→外层干膜→图形电镀→碱性蚀刻→正常 流程）
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6.7 Conformal mask2或large window蚀刻后 检查对准度其对准度标靶设计
180mil
50mil 铜pad29mil， 焊环12mil 铜
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4 。次外层对位标靶设计
4.1 在HDI板子板的四边各钻2组对位孔，每组6个 孔，其孔刀径为ø1.0mm； 4.2 在次外层菲林上对应子板对位孔的焊盘直径 比次外层菲林上所要对位的孔的直径单边大 3mil；
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2。独立标靶设置
2.1 n<10层时,L2～Ln-1每层菲林均需设独立标 靶,L2～Ln-1每层菲林相对应母板标靶孔处均 设标靶标记; 2.2 n≥10层时,L2～Ln-1每层菲林均需设独立标 靶,L2～Ln-1相对应母板标靶孔处L2、Ln-1及 各张芯板之偶数层设标靶标记；
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1.7断面图
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• 2.1 子板流程 • 开料→ 内层图形制作→ 棕化→ 层压→ 锣板边 → 钻孔→ 去钻污→ 沉铜→ 全板电镀→ 棕化或 微蚀→减薄铜（根据需要）→ 陶瓷磨板（根据 需要）→转入母板流程→ 树脂油墨塞孔→ 陶 瓷磨板 • 注：当子板为双面板时，其流程为： • 开料→ 钻孔→ 去钻污→ 沉铜→ 全板电镀 → ……同上述流程
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• 1.3 “1+n+1“HDI板中的次外层是指L2或Ln-1层。 • 1.4 当“1+1+n+1+1“HDI板制作“1+n+1“时，次 外 层指L3或Ln-2层。 • 1.5 当“1+1+n+1+1“HDI板制作“1+1+n+1+1“时， 次外层指L2或Ln-1层，次次外层指L3或Ln-2 层。 • 1.6 “1+n+1“HDI板中n称为子板，“1+1+n+1+1 “HDI板中n称为子子板，1+n+1称为子板。
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7。 激光标靶设计
7.1Conformal mask2方法制作 在Conformal mask2菲林的四个角制作两套激光钻孔标靶 两套标靶一套常用,另一套作为备用,其外径均为3mm, 常用标靶内径为1mm,备用标靶内径为2mm,两套相邻标 靶中心至中心的间距为8mm,其它层相对应标靶位置为 基材区，其图如下：
Clearance29mil
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6.7.1此设计在整板中的位置如下图
对应CS面 对应SS面
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12mm
10mm
5mm铜pad
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