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钝化方法

附:
上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A (邮编:200120)
化方法
常的钝化方法有热氧化法,化学钝化及硅片表面电荷沉积等方法。

这里主要讲化学钝化学钝化前,对于不同的样品,需要不同的处理方法,主要是为了减少表面损伤层的或表面特别均匀的腐蚀过,表面有氧化层的样片,在化学钝化前需要 HF 处理。

的钝通化法,使用影响:
- 对于抛光过或表面特别均匀的腐蚀过,而且是表面没有氧化层的样片, 无需预先处理 - 对于抛光过 方法如下:在 5% HF 中浸泡一段时间,时间的长短取决于 氧化层的厚度,如 20A 氧化层,需要 30 S; 500-2000A 的氧化层需要 5-10 分钟。

- 对于表面有损伤,或粗糙表面的样片 (太阳能级样品大都属此列),需要预先处理: 在 HF+HNO3 (95%HNO3 + 5% HF )中浸泡 1 分钟
钝化过程:
1. 准备好碘酒,塑料袋和吸管。

如下图:
2. 将样品放入塑料袋中。

如下图:
上海浦东新区商城路738号胜康廖氏大厦906A (邮编:200120)
3. 将配好的碘酒均匀的涂在硅片的正反面。

如下图:
4. 驱赶出袋中的气泡并封好袋口,如下图:
5. 放入测试台测量即可。

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