3.2.5.切换到手动界面，手动将隔热层下降到最低点，到直线运动单元上确认隔热层是否降到最低限位。
3.2.6.点击下腔室运动按钮进入下腔室运动屏幕。设置高速200，低速50，加速时间2s，点击上升按钮。等下腔室完全合上后，将4个卡子夹紧下炉体。
3.3抽真空与检漏
3.3.1.切换到手动界面，点击抽真空与检漏，进入抽真空界面。
多晶铸锭车间作业指导书
一、目的
为正确、规范的操作多晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范
二、范围
适用于JZ-460/660型多晶炉
三、作业内容
3.1作业准备
3.1.1.进入多晶车间需穿戴好洁净工作服、鞋。
3.1.2.开炉前，按工艺要求检查水、电、气、炉内温度
3.1.3.打开铸锭炉电源柜总电源
3.1.4.打开控制柜电源开关，使其处于“ON”状态。
3.4.3.进入浏览界面查看各项数值是否正常。
3.4.4.加热阶段，温度和功率都是平稳上升，隔热层关闭。
3.4.5.熔化阶段，从第2步开始从真空模式进入氩气模式，压力上升到600mbar，且M8、M9阶段功率变化较大。在M9时注意报警提示，同时观察功率曲线变化，结合顶部观察孔内看到的熔化情况，判断硅料是否完全熔化结束，如果确认完全熔化结束，则暂停配方，手动进入下一步后继续运行配方。
2010-4-7
3.4.8.冷却阶段，功率慢慢下降至零，隔热层缓慢提升至350mm，温度曲线平稳下降。至400℃以下时，准备出炉。
3.5出炉
出炉前的准备工作
a)准备好叉车，确认电量是不是符合出锭要求。
b)准备好劳保用具，如高温手套等。
c)保证至少2人作业，1人开叉车，1人在叉车后方注意叉车左右前后位置，以免发生碰撞。
5.2.跳步：先在模式界面下暂停配方，点击“进入下一步”后，“继续运行”配方。
5.3.热场检修与炉室清理：有专业人员负责，每炉均需检修热区，清理炉室。准备好吸尘管道、酒精、无尘纸以及石墨螺栓、螺帽等常用配件，首先检查螺帽有无松动，螺栓有无折断，如有松动、折断、打火等情况，及时拧紧螺帽，更换螺栓；然后检测相应加热器、加热器与连接板与石墨电极之间的连接性，相互叠加连接部分的缝隙用塞尺比对，缝隙要求小于0.03mm。加热器与隔热层、加热器与顶板之间的电绝缘性，一般要求绝缘阻抗大于5KΩ，最小不小于3 KΩ。若加热器上有颗粒物和粉尘，需要用吸尘管道除去，若隔热层上有杂质，也应及时清理。清理炉室时，顺序为：DS块、隔热板、防溢流棉、腔室内壁杂物，直至确认炉内无明显污物为准。检修及清理完成后，确认没有物品遗落在炉内。班长对整个过程做最后确认！
3.5.1.进入手动模式下，打开检漏1和充大气阀，再关闭机械泵。
3.5.2.点击大口径充气阀，到达980mbar。
3.5.3.点击手动，点击下腔室运动按钮，弹出“已经松开下面腔室的4个夹子了吗？”的对话框。
3.5.4.确认已经打开4个夹子后，在工控机点击步骤3对话框“确认”。
3.5.5.弹出下腔室手动屏幕，点击“↓”，待下限位呈红色，关闭该屏幕。
3.1.5.打开机械泵和罗茨泵电源开关。
3.1.6.打开加热器电源开关及晶闸管开关。
3.1.7.检查水路水压正常，进水压力不低于2公斤。
3.1.8.检查机械泵罗茨泵油位是否正常（机械泵在1/3-2/3位置，罗茨泵在两个红线之间）。
3.1.9.检查加热器缝隙，保证缝隙小于0.03mm，螺母松动的及时拧紧，坏的换掉。
3.2.2.装好护板后，拧上螺母，调节护板与坩埚的缝隙，确保四块护板与坩埚的缝隙均匀，螺母拧紧后12个螺母都松半圈。
3.2.3.用叉车将装好的料推进铸锭炉内，两人用直角尺在后面测量DS块与底板的距离，及时的告诉开车人，确保底板底部的槽进入DS块。
3.2.4.装好料后，用酒精无尘纸擦拭密封圈及上炉体衔接处。
3.4.6.长晶阶段，隔热笼提升，压力维持600mbar，功率较平稳，在G7时注意报警提示，结合功率曲线的变化与观察孔查看情况，判断中间长晶透顶，做好记录；进入G8后，结合时间与功率曲线的变化，判断边角长晶结束，如果还剩余较长时间（一般大于15分钟），可以手动进入下一步。
3.4.7.退火阶段，从第3步开始控制模式从温度模式进入功率模式，功率曲线缓慢平稳下降，隔热层降至最低位置。
5.4.断电处理：在运行中突然断电，炉温会快速下降。在断电窗口中点静音，并记下断电时的功率、温度、点暂停，进入模式界面，在真值表中将加热模式改为功控模式，并把功率设定值设定为断电时功率值加5%-10%，当温度快上升到断电时的温度时，把加热模式改为断电时的加热控制模式，点“继续运行”继续配方运行。
5.5.断水处理：当发生断水时，会弹出断水警告窗口，若20秒内未来水，将自动断电。断水报警可以分两种情况处理：1、一路断水，可将临界值改为0，防止断电，5分钟内修复流量计，然后重新运行。2、全部断水，则说明冷却水源发生故障，则需要紧急启动备用水源，确保炉体供水正常。
4.1.出炉时佩戴好劳保用品，防止烫伤。
4.2.加热前仔细检查配方主参数是否正确，准确无误后再开始加热。
4.3.熔化阶段保证硅料充分熔化。
4.4.长晶阶段曲线平稳，有异常要及时发现，同时多观察溢流窗口。
4.5.断水断电时，保证处理得当。
4.6.根据要求，定期对Dss炉进行清理与调整。
五、备注
5.1.手动抽空检漏：先运行机械泵，预热5分钟，排气值设置为100%，打开小口径抽，压力下降至200mbar时，打开插板阀，关闭小口径抽，抽到25mbar以下时，打开罗茨泵，腔室高真空降至0.1以下时，打开检漏1、2、3，压力低到0.015（极限真空）时，关闭插板阀，罗茨泵，检漏1，打开充大气阀，TC管压力到常压，开始计时检漏5分钟限真空，再次检漏，如果还未能通过，则分步检漏炉腔、检漏2（TC1）、检漏3（TC2），确定漏点，按照不同地方泄漏进行相应处理。
3.1.10.检查溢流线是否有翘起、断开，是否在溢流孔的正下方。
3.1.11.检查陶瓷片是否有碎掉的，碎掉的及时更换，加热器与隔热层之间电阻不小于3KΩ•cm。
3.1.12.检查各阀门是否能正常开启。
3.1.13.查看主参数是否正确。
3.1.14.检查配方是否正确
3.2装炉作业指导
3.2.1.坩埚内料的高度不能超过坩埚护板的高度，加上盖板后盖板不能碰到硅料，装护板需2人操作，一人扶好护板，防止脱落。
3.3.2.点击自动执行，弹出“确认开始抽真空和检漏”对话框点击确认。
3.3.3.自动执行抽真空与检漏，直到检漏通过。
3.4开始运行
3.4.1.切换到配方界面，点击“从文件中加载”，加载相应的配方，依次点击“写入”、“读取”、（若空烧时则加载烘烤配方）
3.4.2.检查配方准确无误后切换到模式界面，点击“开始运行”，运行配方。
3.5.6.炉子后面的操作人员配合指示开电动叉车人员缓慢将硅锭取出。
3.6拆护板、拆坩埚
3.6.1.至少3人拆护板，其中一人扶住护板，直到最后一块护板，防止脱落掉到地上。
3.6.2.四周护板拆除后，将碎裂的坩埚碎片放到指入位置。
3.6.3.用专用硅锭夹配合叉车吊起硅锭，放到托盘上，运到硅锭存到处。
四、注意事项