9
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電子廠濕空氣處理程序
100%
kJ /k g
DP 75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22
W
B
蒸發冷卻 等溫加濕 冷卻 加熱
20 18 16 14 12 10
冷卻除濕
8 6 4 2 g/kg
-10
-5
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
CDB
乾球溫度
AHU SA DUCT
RA SA SA SA
RA
16
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FFU系統
MAU
(獨立設置外氣空調箱)
MA
濕度控制
FROM OA
溫度控制
潔淨度控制
溫度控制
RA SHAFT
SA
SA
RA
RA
17
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RA SHAFT
軸流風機系統
(獨立設置外氣空調
溫度控制
SA SHAFT
潔淨度控制
溫度控制
SA SHAFT
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4
空气循环系统
空氣循環系統功能
潔淨度之控制
風管系統
溫度之控制
濕度之維持
FFU系統
軸流風機系統
空氣循環量 氣流方式
5
潔淨室熱源分佈
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空氣循環量

空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环 掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积 以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M, 空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄 光区的换气系数为360次/小时。（图示） 普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送 风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。
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7
MAU
外氣空調箱结构 外氣空調箱功能
壓力之控制 濕度之控制
MAU
外氣微塵粒之預處理
氣態分子之控制
8
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濕空氣性质及处理
湿空气性质

温度高的空气吸收水的能力强。 相对湿度：濕空氣水蒸汽分壓與同溫度飽和狀 態下水蒸汽分壓之百分比，稱之相對濕度，單 位為[%RH] 。
MA
VD
VD
濕度控制
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潔淨室系統流程
DE-SMOKE
MA Outside MA P = -5Pa TRUSS t = 22 C
RA SHAFT
RA
RA
P = 30Pa
FAB
t = 23 C
RA
RA
RA P = 25Pa RA RAP t = 25 C
RA
RA
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RA SHAFT
6
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空氣循環量及氣流
3.以非常高的换气次数达到控制室内温湿度的波动在设计 要求范围内，并迅速排除微尘粒子。 气流 1. 气流速度：根据试验发现，气流速度低于0.2M/S或高于 0.7M/S均容易产生涡流，所以目前洁净室风速一般取0.25 ～0.5M/S范围之间。 2. 保持均一稳定的层流，是达到洁净度稳定效果的重要因 素。 3. 障碍物对气流的影响：制程设备、人员、照明器具等。 在调试阶段，我们投入大量人员和时间对洁净室内的 FFU风速、气流平行度进行调整，使其符合设计要求。
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空氣中水分含量
冬季空氣處理
75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 g/kg -10 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 CDB
kJ /k g
DP
W
B
乾球溫度
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電子廠 潔淨室空調系統 簡介
1
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大纲
洁净空调特性 MAU
结构 功能
空气循环系统
换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理
性质 焓湿图 处理程序
2
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洁净室空调系统特性（一）



温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃ ～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～ 23 ℃,相对湿度为40～45％。 对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺 陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化 学离子要求也非常严格。 外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大 量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发 气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补 充大量的外气来维持室内的正压环境。
Freeze Protection Pre-filter (EU3) Medium-filter (EU6) Fan
OA
MA
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潔淨室熱源分佈
MA q4 Ta4' SAP q5 q6 Ta1 q3 q1 Ta2 FAB Ta5
RA SHAFT
EQUIPMENT
q2 RA Ta4 qc RA Ta3 RAP
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空氣中水分含量
夏季空氣處理程序
75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 g/kg -10 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 CDB
kJ /k g
DP
W
B
乾球溫度
相對濕度越高，空氣之吸濕能力將越弱；反之， 相對濕度越低，空氣之吸濕能力則越強；當相對濕 度達100%時，稱之飽和狀態，此時之濕空氣不再具 吸濕能力。
以熱水盤管對濕空氣加熱，溫度將提高，此時濕 空氣之絕對濕度不變，但提高後之溫度，其飽和狀 態下之絕對濕度將提高；因此，濕空氣之相對濕度 將降低。
3
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洁净室空调系统特性（二）

ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ


气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子 ，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外 ，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控 制。 洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内 空气泄漏到等级高的室内，造成污染。 送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化 极为敏感，洁净室部分区域须控制在± 0.3º C，故送风温度 与室内温度差距不能太大。（温度分布图） 运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量 的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成 后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
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空氣中水分含量
外氣處理空調箱
Cooling Coil (Step1) Air Washer Cell deck Cooling Coil (Step2) Eliminator Re-heating Coil Chemical Filter HEPA (EU12) Back-draft Damper
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FFU系統示意图
MA MA P = -5Pa SAP t = 22 C
RA SHAFT
RA
P = 30Pa
FAB
t = 23 C
RA
RA P = 25Pa RA RAP t = 25 C
RA
RA
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RA SHAFT
風管系統
OA RA DUCT
(循環空調箱兼處理外氣)
潔淨度、溫度及濕度控制