进口 燃烧室热电偶 变压器 出口热电偶 变相装置
压力表 低压切换 点火点 溶解环
排风口
安全装置：温 度过热可导致 shutdown
漩涡器
火焰
工艺气进入燃烧 室燃烧后，通过 变相装置和漩涡 器使之与空气充 分混合冷却，从 而使出口温度低 于设定值。
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The End
文丘里和除毒系统的工作原理
Venturi Vacuum Generator
Prepared By: ZXW November, 2008
Agenda
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文丘里工作原理介绍
除毒系统工作原理介绍
Case study
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基本功能
如果进口压力过大，切换到旁通管道 控制气体进入筒体 控制气体由筒体排出 防止回流 监控进口压力 控制吹扫氮气开关
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除毒系统工作原理 硅烷、砷烷、磷烷
工作原理
工艺气进口
工艺气放空
出厂设置出 口温度不高 于200摄氏 度
2.确保所有连接的气体管路都已经做过保压测漏。
3.顺时针旋转点火阀，确保点火阀处于关闭状态。 4.按动EMO按钮，将STOP/START按钮到STOP键。
5.连接设备电源到Fab的断路保护器上。
打开前控制面板下面的“POWER DISCONNECT”。 6.顺时针转动EMO阀1/4圈直到EMO阀弹出。
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文丘里工作原理 操作参数
真空口最大承受压力
止回阀最大承受压差 驱动压力 氮气微流流速
托，真空度单 位。在80 psig (5.5 bar) ， 60 标升/分的氮气 流量时的真空 度。
材 质 参 数
主体 活塞 弹簧 密封 可选密封材料
检查所有的报警装置处于“ON”状态。
7.确保保所有控制装置的显示灯都亮启，红色表示环境 温度。确保所有的报警显示都有效，包括Warning、
Shutdown、以及Low Air Flow(空气流速低报警) 。
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文丘里工作原理
AP72625 S 3PW MV4
AP71
系列
FV6
FV6
TW4
TW4
CB005
CB009
氮气微 流流速
S
材质
MV4
氮气进口 排空口接 真空口接 口类型 接口类型 口类型 625：1/4转隔膜阀 540：装配气动阀
真空口 真空口 排 放
排 放
N2进口 真空口
N2进口
排 放 N2 真空口 进 口
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除毒系统工作原理
1.确保所有对GUARDIAN的维修工作都已经完成，确认并 关闭所有相连接的气柜和设备。 2.确保所有的手阀处于正确的状态，关闭（开启）前控制面 板上的POWER DISCONNECT键。 3.重置一下EMO阀。通过检查排空温度指示检查电源是否 连通。 4.打开STOP/START键到START，检查ACTIVE FLAME INDICATOR（火焰指示器）是否正常。 5.检查IGNITOR氖光灯闪烁正常，确保ACTIVE FLAME INDICATOR处于稳定状态。
除毒装置（ASMC 8”毒 性气房和腐蚀性气房有 次装置）
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文丘里工作原理
排气口
廉价 制造方便
真空口 文丘里 阀门驱动 活塞 阀门驱动弹簧 单向阀
内 部 结 构 图
阀 阀座
座
连续进气口 （可选） 氮气进气口
slpm------标准升每分钟
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文丘里工作原理
Notes：
真空口流速/slpm
1. N2进口压力 小于10psig时，文
丘里不会产生真空 效应。
真空口压力(in-Hg)
2. 当N2进口压力 大于90psig时，再
驱动控制端口
微流阀（可选）
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文丘里工作原理
结合伯努利原理与流体连续性方 程可以知道，对于理想流体，在 细处流速会增加，压强则会减少 ；文丘里管的窄口处就起到了抽 真空的作用。
排空 氮气进口
为 什 么 能 产 生 真 空 效 应
普 通 启 动 程 序
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Case study
1. 在做次级吹扫时发现抽真空抽不下去， 请问由哪些可能的原因？
排空困难，PT校验 不准，需要换文丘里
2. VMB和GC的氮气同时开着，文丘里压 力偏低，会导致什么后果？如何解决？
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文丘里工作原理
外观图
GN2进口 低压排空 手阀
VGS
文丘里的作用： 抽真空排放 保持氮气流过，排放管道 干燥通畅 单向功能
高压排空
放空口
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文丘里工作原理
文丘里排放
气柜探头原理
8.打开CDA（80Psi），打开RESET按钮消除所有报警，确认点火控制器SETPOINTS 设置正确；确认排空温度控制器设置正确。 9.断开EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）按钮确认排空温度报警有效性。 重新连接EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）报警，按RESET按钮两次，重置排空 高温报警。（消警需要等待数秒） 10.打开煤气供应管路，对煤气管路进行检漏，在控制面板上检查点火器的压力表。 11.按RESET键两次，重置低燃料压，把STOP/START按钮打到START位置，检查控制面 板上IGNITOR 1 和IGNITOR 2指示灯是否开启，确认点火指示器的红灯开启。 12.调整点火流量阀，保持反应箱温度在450到600度之间。当反应箱温度超过200度，按 RESET钮两次，重置反应箱体温度。 13.确保点火温度指示读数保持平稳。按动EMO，确保EMO保持正常工作。旋转EMO按 钮顺时针1/4圈，直到EMO阀弹出。 14.打开氮气入口，按动RESET键两次，消除所有报警。
1torr=133.3pa
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文丘里工作原理 型号参数
Inch face seal male------英寸面密封公头 Inch face seal male------英寸面密封母头 Inch tube weld stub------英寸管焊接
提高进口压力也不 会有明显效果。
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除毒系统工作原理
除什么？------ 取出气柜排空而出的含有某种有害物质的气体。 怎么除？------ 有毒气体在除毒系统筒体内与化学物质反应或燃 烧而解毒。

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吸力
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文丘里工作原理
AP71系列（目前TGCM主要使用）
真空口最大承受压力 氮气微流流速
真空口最大压 力及流速范围 AP72系列
真空口最大承受压力 氮气微流流速
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真空度不够，调高 GN2压力，将 VMB/GC的氮气关掉 ，只使用一个；打电 话给空分查明情况。 文丘里排放管道与酸排 放接口处堵住导致氮气 倒灌。
3. 8”HCl气柜文丘里抽真空时，氮气压力 开大，面板压力越来越大？
4. 文丘里校零后，抽真空抽不到负压？
文丘里校零时本应该关 掉，排放口与空气相通 。但如果文丘里常开导 致校零时处于负压。
排风：50-200帕斯卡
岁修排风降至10%
排风表头监控点
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文丘里工作原理
一般排风管道
环境
酸排风管 道 气柜探头 监控点 酸性 气柜 vent
酸排风处 理装置
vent
vent
烷类/ 毒性 气柜
气柜探头 监控点
紧急制动 空气进 口压力 表 燃料压力表 火焰状态显示器
点火点1 显示器
点火点2 显示器
排放口温度
燃料流量阀
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除毒系统工作原理
初 始 启 动 程 序
1.在对Burn-box进行操作之前确保所有装置都已安装完 毕，并且处于“OFF”状态。具体设备包括：电力系统、 房间排风、氮气。