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第４ ４卷 第 １期
２１ ０ ２年 １月
无 机 盐 工 业
Ｉ ０ＲＧＡＮ Ｃ ＣＨＥ Ｃ Ｓ Ｉ Ｎ Ｉ ＭＩ ＡＬ ＮＤ量对 Ａ Ｏ薄 膜 结构 及 光 、 Ｔ 电性 能 的影 响 水
杨 保 平 钟 小 华 ， 。 张晓 亮。崔 锦峰 贾均红。易戈 文。 ， ， ，
中图分类号 ：Ｑ ３ ． １ Ｔ １５ ３ 文献标识码 ： Ａ 文章编号 ：０ ６— ９ ０ ２ １ ） １ ０ １ ０ １０ ４９ （０ ２ Ｏ — ０９— ３
Ｅｆｅ ｔ ｆＳｂ ｄｏ ｉ ｍ ｏ ｔ ｏ ｔ ｕｃ ｕ ｅ ａ ｒ ｓ ｉｓｏ ｅｅ ｔ ｉ ｏ ｅ ｔ ｆＡＴＯ ｌ ｆ ｃ ｓ ｏ ｐ ｎｇ ａ ｕｎ ｎ ｓｒ ｔ ｒ ｎｄ ｔａｎ ｍ ｓｉ ｎ， ｌ ｃ ｒｃ ｐｒ ｐ ｒ ｙ ｏ ｉ ｆ ｍｓ
（． １ 兰州 理工 大学石油化工学 院 ， 甘肃兰州 ７０ ５ ；． ３ ０ ０２ 中国科学 院兰州化学物 理研 究所 固体润滑 国家重点实验室 ）
摘
要： 以四氯化锡 和三氯化锑为主要原料 ， 采用溶胶 一凝 胶法制 备 了不 同锑掺 杂量 的纳米锑掺 杂二 氧化锡
（Ｔ ） Ａ Ｏ 薄膜 。分别利用 Ｘ Ｄ、 Ｅ Ｅ 紫外可见分光光度计和 四探 针 电阻仪对 晶体 结构 、 Ｒ Ｆ Ｓ Ｍ、 薄膜形 貌 、 光透过 率和薄 膜方 块电阻进行表征 ， 考察锑 掺杂量对 Ａ Ｏ薄膜 晶体 结构 、 Ｔ 晶粒尺寸 、 光透过率 和导 电性能 的影 响。结果表 明 ： 所 制备 的 Ａ Ｏ薄膜为 （ １ ） Ｔ １０ 面择优取 向的 四方 相锡 石结 构 ， 晶粒 尺寸小 于 ２ ｍ， ６ｎ 当锑 掺杂量 为 １％ （ ０ 物质 的量分 数 ） ，Ｔ 时 Ａ Ｏ薄膜具有最小 的方块 电阻（ ０ １ｒ ６ ． 口） 可见光透过率 大于 ８ ％。 ， ５ 关键词 ： Ｔ Ａ Ｏ纳米 薄膜 ；ｂ Ｓ 掺杂量 ； ｌ ｅ 法 ；６ ｓ —ｇｌ Ｙ 透过率 ； ｏ 方块 电阻
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