籽晶提升 旋转机构
单晶棒 CCD
加热器 坩埚 坩埚提升 旋转机构
液面测 温仪 氩气 流量
籽晶
热场测 温仪
工艺过程
• 抽真空 • 检漏 • 调压 • 熔料 • 稳定 • 熔接 • 引晶 • 放肩 • 转肩 • 等径 • 收尾 • 停炉 • 氧化
熔料
引晶
放肩
等晶
收尾
TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉
16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉，取下铜螺母。 17、重装时，首先铜螺母装回端盖，装回把铜螺母固定到
盖端上的4颗螺钉。 18、将右端盖装回提升腔，上紧固定螺钉。 19、将缆索管装入花键滑套，上紧固定螺钉。 20、装回花键轴左端的滚动轴承。 21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为
•
牢记安全之责，善谋安全之策，力务 安全之 实。2020年10月24日 星期六2时57分 19秒Saturday, October 24, 2020
•
相信相信得力量。20.10.242020年10月 24日星 期六2时57分19秒20.10.24
谢谢大家！
松开3个紧定螺钉
取下旋转接头和冷却管 取下波纹管
取夹紧圈和旋转带轮 抽出坩埚轴
坩埚提升机构上的4颗M6内六角螺钉。
9、从提升架上提起磁流体密封。
10、重装时，将磁流体密封放到提升架上。
11、重新装上把磁流体密封固定到提升架上的4颗M6内六
角螺钉。
拆下固定磁流体的螺钉 12、在坩埚轴和磁流体内的O型圈上涂上少许的真空脂，
1、拔下称重传感器腔上的航空插头。 2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。 3、将缆索管下降到如左图所示位置之后，取下
钢丝绳。 4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的
内六角螺钉，松开刚性连轴器右侧的紧定螺 钉，将其向外滑出。小心不要把联轴器上的 十字块跌落。 5、松开行程块的2颗固定螺钉，卸下同步带。 6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。 螺钉是从底板下面向上旋进的。 7、把提升腔垂直平稳向上提起，小心不要破坏 提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈 和轴。 8、松开2颗铰链螺钉，使称重腔与提升腔脱离。
TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修
背景 — 半导体生产流程
石英砂－金属硅
多晶
拉制单晶棒 （本产品研究环节）
单晶硅片
单晶硅棒
集成电路
集成电路应用
太阳能电池
太阳能电池应用
设备简介
直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单 晶体的设备。
将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温 熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下， 通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷 态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。
维修周期 每次运行 每个月
3个月 3个月 3个月 3个月
步骤 检查磨损、损坏情况 清洁并检查对中性 检查磨损/对中和张力
检查碳刷长度 检查紧固性
检查离合器间隙及动作
坩埚提升机构
• 滚珠直线导轨 • 精密丝杆，自锁 • 承受轴向力磁流体
密封 • 快慢速双电机 • 光电编码计行程
坩埚提升机构（主视）
晶体提升腔拆装及调整
25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转 磁流体密封的O型圈和轴。在O型圈上抹少量的真空脂将有助于提升 腔的装入。
26、装回把提升腔固定到底板上的两颗螺钉。 27、装回称重腔，拧紧铰链螺钉。 28、装回钢丝绳，并重新检查限位开关的设置。 29、装回刚性联轴器和卡环，确定联轴器上的十字块仍在正确位置。 30、在钢丝绳上装上籽晶夹头。 31、将称重传感器腔的航空插头重新插上。
•
作业标准记得牢，驾轻就熟除烦恼。2020年10月24日星期 六2时57分19秒 02:57:1924 October 2020
•
好的事情马上就会到来，一切都是最 好的安 排。上 午2时57分19秒 上午2时57分02:57:1920.10.24
•
一马当先，全员举绩，梅开二度，业 绩保底 。20.10.2420.10.2402:5702:57:1902:57:19Oc t-20
13 松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。
14 将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花 键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。
取出晶转磁流体
右端盖
取出右端盖
花键轴、缆索管
晶体提升腔拆装及调整
左端盖及铜螺母 对中针
缆索管的对中
15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉，将左端盖连同铜螺母 一起从提升腔内抽出。
检查碳刷长度 检查损坏情况
清洁和润滑 检查磨损情况
清洁和润滑 脂润滑
检查磨损和对中
翻板阀的调整
松开外端的2只外六角螺钉 松开内端的2只内六角螺钉
1、将副炉室升起，旋开。 2、确认O型圈已经装好，把 翻板阀关闭。 3、用5mm的内六角扳手和 17mm的呆扳手把翻板阀两端的 固定螺钉松开。 4、打开真空泵，真空球阀， 抽取主炉室真空。 5、利用主炉室内外压差，翻 板阀会自动吸紧。 6、当压力抽到极限真空时， 将翻板阀两端的固定螺钉上紧。 7、充入氩气，做一次隔离实 验以确保翻板阀调整后密封良 好。
籽晶钢缆的对中
1、安放对中靶在坩埚轴的托盘上，保证其 位于托盘正中。 2、安装对中针在籽晶夹头的一端。 3、定位坩埚使对中靶在要求的熔体水平位 置。 4、抽空单晶炉且维持在20Torr静态压力。 5、降下籽晶夹头，使对中针几乎触及对中 靶。 6、从另一个观察窗观察对中针是否正对对 中靶中心。 7、如对中针没有正对对中靶中心，则松开 固定籽晶提升装置的三个压紧块。 8、调整压紧块侧面的顶紧螺钉使对中针正 对对中靶中心。 9、上紧三个压紧块，观察对中针是否有偏 差。 10、拆下对中靶和对中针。
•
踏实肯干，努力奋斗。2020年10月24日上午2时57分 20.10.2420.10.24
•
追求至善凭技术开拓市场，凭管理增 创效益 ，凭服 务树立 形象。2020年10月24日星期 六上午2时57分 19秒02:57:1920.10.24
•
严格把控质量关，让生产更加有保障 。2020年10月 上午2时 57分20.10.2402:57Oc tober 24, 2020
一个整体从提升腔右侧送入，逆时针旋转花键轴使得 缆索管拧入铜螺母，将右端盖完全压入提升腔，上紧4 颗固定螺钉。
22、装回提升腔左端盖的盖板，拧紧固定螺钉。 23、装回压力滚子组件，拧紧压力滚子组件固定到提升腔
上的4颗螺钉。 24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入，检查钢缆
螺纹与磁流体孔中心的位置，保证磁流体孔中心与所 对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。
晶体提升腔拆装及调整
取出压力辊子组件 左端盖
9 松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。
10 拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。 12 用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。
拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向
11 右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母 的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁 流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。
水平调整机构
副室旋转机构
氩气分流系统
真空系统
冷却水系统
双CCD测径系统
•采用光学系统将晶体图像分 到2个独立CCD完成引晶、 等径的单独控制。 •图像处理速度快，引晶跟踪 能力强，引晶效果好 •机械调整简单
机械结构设计特色
• 采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构， 可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭， 提高取晶的安全性；
• 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了 采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患；
• 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程 中氩气气流的均匀性。
谢 谢！
•
树立质量法制观念、提高全员质量意 识。20.10.2420.10.24Saturday, October 24, 2020
•
人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。02:57:1902:57:1902:5710/24/2020 2:57:19 AM
坩埚提升机构（俯视）
坩埚提升机构拆装及调整
拆旋转皮带
1、关掉坩埚轴冷却水的进水管阀门，将其回水管用扎带 扎起。
2、松开坩埚旋转电机齿轮箱组件并从坩埚轴上拆下旋转 皮带。
3、从坩埚轴组件上松开并取下旋转接头夹紧圈。 4、松开坩埚轴上的固定冷却管的3只紧定螺钉，向下取
出旋转接头和冷却管。
5、松开固定波纹管的螺钉，取下波纹管。 6、从坩埚轴磁流体密封的底部取下夹紧圈和旋转带轮。 7、从炉底板的上方将坩埚轴从埚转磁流体密封中抽出。
•
安全象只弓，不拉它就松，要想保安 全，常 把弓弦 绷。20.10.2402:57:1902:57Oc t-2024- Oct-20
•
加强交通建设管理，确保工程建设质 量。02:57:1902:57:1902:57Saturday, October 24, 2020
•
安全在于心细，事故出在麻痹。20.10.2420.10.2402:57:1902:57:19October 24, 2020
将坩埚轴从炉底板的上部滑入坩埚旋转磁流体密封。
13、装上坩埚轴波纹管。
14、在坩埚旋转磁流体密封底部重新装上夹紧圈。
15、重新装上旋转皮带并紧固坩埚旋转电机齿轮箱组件，
皮带应松紧适宜；检查旋转皮带的对中性，如果有必要
提起磁流体
的话，就进行调整。
16、在坩埚轴底部重新装上旋转接头和冷却管，拧紧紧定螺钉。 17、在坩埚轴组件上重新装上旋转接头夹紧圈并紧固。 18、松开回水管扎带，打开进水管阀门，重新往坩埚轴中通入冷却水。 19、把对中工具装在坩埚轴上，调整坩埚在底下3个调整垫铁上的位置，使工具