五、关于黄烟和白雾
2.2主要应对措施： 合理设计喷嘴喷水强度，避免因喷水成雾 状，而被处理废气带出，形成过饱和水汽。 合理设计烟囱口径（不宜过小），降低风 速，减少带走的水份。 洗涤塔末端增加除雾层 (mist eliminator)，滤除废气中大部分水蒸汽。 烟囱出口处预留位置，如将来烟囱出口处出现白雾，可加装气液分离器装 置，用于除去烟囱白雾。含液滴气体进入气液分离器后,气流可以绕过折皱状 塑料板。液滴只能走直线，由于惯性撞击后凝聚起来滴落。
2.有机排气（VEX） 有机排气主要利用活性炭的物理吸附功能实现有机废气的达标排放。
椰壳活性炭填料
活性炭滤芯
活性炭板式过滤器
3.粉尘排气（CVD）
弹
夹
粉尘排气的处理原理主要为惯性、布朗扩散以及筛
式
滤等
滤 芯
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
1.离心风机 离心风机是依靠输入的机械能，提高气体 压力并排送气体的机械。它是一种从动的流体 机械。 主要是根据动能转换为势能的原理，利用 高速旋转的叶轮将气体加速，然后减速、改变 流向，使动能转换成势能（压力）。 主要关注设备参数：材质、风量、风压、 设备运行重量、设备尺寸、防腐防爆性能等
首先，在半导体或光电产业制造生产过程中，使用了大量的易燃溶剂、气 体及化学品，这些化学物质大多对人体是有害的，甚至多种化学物质发生化 学反应之后，会产生令人不可预期的化学物质，而存在这些化学物质的空气， 便为有害的工艺废气。
其次，同样于生产制程中，机台本身 并无上述化学品的使用，但仍可能产生高 温、水气、粉尘等会影响制程洁净环境的 物质，这类则可称为无害性工艺废气。
将上述的制程废气收集、处理、排放的过程，称为工艺废气处理。
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二、工艺废气处理系统的分类
1.一般排气系统（PGEX） 利用排气风机将制程中所产生的一般排气、 高温排气、湿排，经由一般排气风管系统收集， 直接排放至大气中。
2.酸排气（SEX）/碱排气（AEX） 利用防腐蚀排气风机将制程中所产生的酸、 碱性及有毒气体，经由耐腐蚀排气风管系统收 集，输送至空气洗涤塔处理到符合环保排放标 准后排放至大气中。
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
3.活性炭吸附塔 主要关注设备参数：材质、处理风量、压损、填料更换周期、停
留时间、设备运行重量、设备尺寸等。
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
4.弹夹式集尘器 含尘气体在离心风机的离心力作用下进入除尘器匀流室，进入匀流室后由于 气流断面突然扩大及气流分布朗作用，气流中一部分粗大颗粒在惯性力作用下直 接沉降到灰斗；粒度细、密度小的尘粒进入各滤尘室后，通过布朗扩散和筛滤等 组合效应，使粉尘沉降在滤芯表面上，净化后的气体进入净气室由排风管经风机 排出 设备的阻力随着滤袋表面粉尘层厚度的增加而增大。阻力达到某一设定值时 进行清灰。此时集尘器PLC程序控制电磁脉冲阀逐个开启，压缩空气以极短的时 间通过诱导喷嘴涌入滤筒，使滤筒膨胀变形产生振动，并在逆向气流冲刷的作用 下，附着在滤筒外表面上的粉尘被剥离落入灰斗
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谢谢
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
2.洗涤塔 废气由进风口流入后锤直向上流 过填料床，洗涤液垂直向下流过填料 床。这种气液逆流方式使废气与洗涤 液充分接触并发生化学反应作用，有 效清除废气中的杂质。 主要关注设备参数：材质、处理 风量、压损、填料形式、塔内气流速 度、停留时间、设备运行重量、设备 尺寸等。
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
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四、工艺废气处理系统的主要设备介绍
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五、关于黄烟和白雾
1.黄烟 1.1产生原因： 常见酸性废气烟囱冒出的黄色刺鼻烟雾， 主要是因为废气中的NO2没有彻底处理。 当废气中NO2含量超过20-30mg/m3 （40-50PPM）就会有黄色烟雾出现。同时和 天气也有关系，同样的浓度晴天看不到，阴雨 天气却比较明显（空气湿度大）。 1.2主要应对措施： 设计阶段充分考虑Nox的浓度，并根据设计情况设计处理工艺 运行阶段严格按照设计的加药种类和加药量进行管控
第三级：添加药剂为NaOH+NaClO 主要去除H2S（第二级可能的副产物）等酸性气体。 H2S + 4NaCIO→H2SO4+4NaCI H2SO4 + 2NaOH→Na2SO4 + H2O
备注：光伏行业常见的只加Na2S和NaOH
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三、工艺废气处理系统的处理原理
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三、工艺废气处理系统的处理原理
1.酸排气（SEX）/碱排气（AEX） 酸碱排气的处理原理主要为酸碱中和反应： NaOH+HCl=NaCl+H₂O 2NaOH+H₂SO₄=Na₂SO₄+2H₂O NaOH+HNO₃=NaNO₃+H₂O 若酸性废气中含有Nox，则其处理原理为 氧化还原反应,详细处理过程详见下页
工艺废气处理系统简介
报告人：刘凯
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目录
一、工艺废气处理的概念 二、工艺废气处理系统的分类 三、工艺废气处理系统的处理原理 四、工艺废气处理系统的主要设备介绍 五、关于黄烟和白雾
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一、工艺废气处理的概念
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二、工艺废气处理系统的分类
3.有机排气（VEX） 利用防腐防爆风机将制程中所产生的有 机废气，经由防爆风管系统收集，输送至 活性炭吸附塔或RTO燃烧炉处理至符合环 保排放标准后排放至大气中。
4.粉尘排气（CVD） 化学气相沉积工艺(CVD) 中过程中所产 生SiO2粉尘和Nox废气，经由防爆风管系 统收集，输送至集尘器和废气洗涤塔处理 至符合环保排放标准后排放至大气中。
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三、工艺废气处理系统的处理原理
第一级：添加药剂为H2SO4+NaClO2（CELL/CF栋酸排气中不含NO，此级省去） 主要处理NO 2NO+NaClO2 →2 NO2+NaCl
第二级：添加药剂为NaOH+NaHS 主要处理NO2 8 NO2 + 2 NaHS + 8 NaOH → 8 NaNO2 + Na2S2O3 + 5 H2O
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五、关于黄烟பைடு நூலகம்白雾
2.白雾 2.1产生原因： 蒸汽冷凝：一般洗涤塔出口温度约为20至 30℃，相对湿度约为85%至90%。气体中含有 的水蒸气冷凝为小液滴。 酸碱中和：酸碱气体混合排放至洗涤塔也会 产生白雾。
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