目前压电超声的应用范围很广，且对超声测量精 度、测量范围、超声功率以及器件的微小化程度 的要求越来越高。超声换能器历来是各种超声应 用的关键部件，国内外均大力研究，近年来取得 了很多成就。
本节将介绍压电超声换能器的种类、应用和发展。

5.2 压电超声换能器的种类 压电超声换能器的种类很多：
（4）机电耦合系数(electromechanical coupling factor) 机电耦合系数K是综合反映压电材料性能的参数，它 表示压电材料的机械能与电能的耦合效应。 机电耦合系数可定义为：
电能转变为机械能 K2 = ------------------------输入电能 机械能转变为电能 K2 = ---------------------------输入机械能


(4)超声焊接 超声焊接有超声金属焊接和超声塑料焊接两大类。其 中超声塑料焊接技术已获得较为普遍的应用。它是利 用换能器产生的超声振动，通过上焊件把超声振动能 量传送到焊区。由于焊区即两焊件交界处声阻大，所 以会产生局部高温使塑料熔化，在接触压力的作用下 完成焊接工作。 超声塑料焊接可方便焊接其他焊接法无法焊接的部位， 另外，还节约了塑料制品昂贵的模具费，缩短了加工 时间，提高了生产效率，有经济、快速和可靠等特点。
（6）超声减肥 利用超声波的空化效应和微机械振动，将人体表皮下 多余的脂肪细胞破碎、乳化后排出体外，达到减肥、 塑形的目的。这是国际上 90 年代发展起来的一项新技 术。意大利的 Zocchi 首次将超声去脂用于临床，并获 得成功，为整形、美容开创了先河。近 10 年来超声去 脂技术在国内外得以迅速发展。
1 相关概念
（1）极化：是指电介质陶瓷中的分子正负电荷移动，造 成正负电荷中心不重合，在电介质陶瓷内部形成偶极 矩。 （2）压电效应：在没有对称中心的晶体上施加一个机械 力（压力、张力或切向力）时，则发生与应力成比例 的介质极化，在晶体表面的两电极上会出现等量的正、 负电荷，电荷多少与力的大小成正比，当机械力撤去 后，电荷会消失，这种现象称为正压电效应。当在晶 体上施加一个外电场引起极化时，晶体会发生形变， 且形变大小与电场成正比，若撤除电场，则晶体又恢 复原状，这一现象称为逆压电效应。正、逆效应统称 为压电效应。
（1）压电陶瓷变压器

压电变压器是利用极化后压电体的压电效应来实现电 压输出的。其输入部分用正弦电压信号驱动，通过逆 压电效应使其产生振动，振动波通过输入和输出部分 的机械藕合到输出部分，输出部分再通过正压电效应 产生电荷，实现压电体的电能-机械能-电能的两次变换， 在压电变压器的谐振频率下获得最高输出电压。
3 压电陶瓷的生产工艺（以PZT陶瓷为例）

典型压电陶瓷：钛酸钡、钛锆酸铅、钛酸铅 下面以PZT(PbZrO3-PbTiO3)陶瓷为例介绍压电陶 瓷的必要工序及制作方法。 压电陶瓷生产的主要工艺流程： 配料→球磨→过滤、干燥→预烧→二次球磨→过滤、 干燥→过筛→成型→排塑→烧结→精修→上电极→ 烧银→极化因为刚烧结好 的压电陶瓷电畴无规则取向，故整体不呈压电性， 只有通过极化处理使电畴沿一特定方向极化后才显 出压电性。 提高极化电场，极化温度以及延长极化时间有利于 极化的充分进行。

4 压电陶瓷的应用

压电陶瓷的压电性是居里兄弟于1880年在单晶体上 发现的。

1940年以前，只有单晶体压电材料，由于存在多种 缺点（如易溶于水），未能得到广泛应用。


(5)超声加工 把微细磨料随超声加工工具一起以一定静压力加 在工件上，就能加工出与工具相同的形状。超声 工具使工件表面的磨料以相当大的冲击力连续冲 击，破坏超声辐射部位，使材料破碎而达到去除 材料的目的。 超声加工主要应用于宝石、玉器、大理石、玛瑙、 硬质合金等脆硬材料的加工以及异型孔和细深孔 的加工。此外，在普通切削工具上加超声波振动 时，也可起到提高精度和效率的作用。
目前，压电陶瓷的应用已日益广泛，大致可分为压电 振子和压电换能器两个方面。前者主要是利用振子本 身的谐振特性，要求压电、介电、弹性等性能稳定， 机械品质因数高。后者主要是将一种能量形式转成另 一种能量形式，要求机电耦合系数和品质因数高。


压电陶瓷的应用领域
应用领域 举 例
电
源
雷达，电视显像管，高压电源，点火装置

与电磁变压器相比，这具有体积小，质量轻，功率密 度高，效率高，耐击穿，耐高温，不怕燃烧，无电磁 干扰和电磁噪声，且结构简单、便于制作、易批量生 产，在某些领域成为电磁变压器的理想替代元件等优 点。此类变压器用于开关转换器、笔记本电脑、氖灯 驱动器等。
（2）超声马达 超声马达是把定子作为换能器，利用压电晶体的 逆压电效应让马达定子处于超声频率的振动，然 后靠定子和转子间的摩擦力来传递能量，带动转 子转动。 超声马达体积小，力矩大，分辨率高，结构简单， 直接驱动，无制动机构，无轴承机构，这些优点 有益于装置的小型化。它们广泛应用于光学仪器、 激光、半导体微电子工艺、精密机械与仪器、机 器人、医学与生物工程领域。
6.3 压电陶瓷
本章主要内容： 1 相关概念 （1）极化；（2）压电效应；（3）压电陶瓷。 2 压电陶瓷的性能参数 （1）弹性常数；（2）机械品质因素； （3）压电性、压电常数与压电方程；（4）机电耦 合系数。 3 压电陶瓷的生产工艺（以PZT陶瓷为例） 4 压电陶瓷的应用 5 压电超声换能器的应用与发展

（1） 原料处理

原料的纯度是制备优良压电陶瓷的首要条件。通常来 说， 希望原料的纯度要高一些，特别是用量比较大的 原料，如 Pb3O4（或PbO）、ZrO2和TiO2等， 若纯度 低，引入杂质总量就很大，所以纯度要高些。小剂量 的原料则纯度要求相对低些。 以上原料经水洗去除一些水溶杂质后烘干，然后进行 煅烧粉碎，通常希望颗粒度在2um以下。
（2）机械品质因素(mechanical quality factor) 它表示在振动转换时，材料内部能量消耗的程度。机械 品质因素越大，能量的损耗越小。 （3）压电性、压电常数与压电方程 压电陶瓷具有压电性，即施加应力时能产生额外的电荷， 其所产生的电荷与施加的应力成比例。 压电陶瓷的压电常数有压电应变常数、压电电压常数、 压电应力常数以及压电劲度常数等。 反映压电陶瓷的弹性变量（即应力、应变）和电学变量 (即电场、电位移)之间的关系的方程式，称为压电方程。

（2）预烧

经过煅烧粉碎的原料混合配料后要进行预烧，其目的 是为了使化学反应充分进行。

实验表明，如果预烧温度恰当，烧结温度可以在很宽 的范围内波动，对致密度无显著影响，预烧温度如果 偏低，烧成温度无论如何提高（或延长保温时间）， 也不能得到很高的致密度。此外，预烧温度和保温时 间比较起来，预烧温度所起作用更为重要。



(3)超声波清洗 超声清洗的机理是利用超声波在清洗液中传播时的空 化、辐射压、声流等物理效应，对清洗件上的污物产 生的机械起剥落作用，同时能促进清洗液与污物发生 化学反应，达到清洗物件的目的。 清洗所用的频率根据清洗物的大小和目的可选用 10~500 kHz ，一般多为 20~50kHz 。随着频率的增加， 可采用郎之万振子、纵向振子、厚度振子等。 超声清洗在各种工业、农业、家用设备、电子、汽车、 橡胶、印刷、飞机、食品、医院和医学研究等行业得 到了越来越广泛的应用。
第一批商业性压电陶瓷器件是美国人在1947年用陶 瓷制造的BaTiO3留声机拾音器，但BaTiO3存在压电 性弱和压电性随温度变化大的缺点。


1954年美国B.贾菲等人发现了PbZrO3-PbTiO3 （PZT）固溶体系统，它使在BaTiO3时代不能制作的 器件成为可能。 70年代，人们又研制出PLZT透明压电陶瓷，使压电陶 瓷的应用扩展到光学领域。


（4）烧结

烧结温度范围主要是由化学组成决定的。低于烧结范 围，制品的气孔率高、致密度低，压电性能也就差。 如果超过烧结范围的上限，则由于出现过多液相，会 发生粘连，或严重失铅，也会导致性能下降。此外， 烧结温度过高会使晶粒过大，机械强度变差。 烧结过程中PbO的挥发对产品质量影响很大。由于 PbO挥发，破坏了配方的化学组成，工艺上为了防止 PbO挥发，通常采用密封法、埋入法、加气氛片法等 措施加以解决。
振荡器，音叉，送话器，蜂鸣器，超声换能器 超声探测，声纳，水下导航，无损检测，医疗 滤波器，放大器，振荡器，混频器
信号转换 发射接收 信号处理
传感计测
存贮显示 其 它
加速度计，压力计，角速度计，红外探测器
电光、声光调制器，光存贮器，声光显示器 非线性元件，压电继电器等
压电陶瓷应用（一）
压电陶瓷应用（二）
预烧过程一般需经过四个阶段：线性膨胀（室温 ~400℃ ）、固相反应（400~750℃ ）、收缩 （750~850℃ ）和晶粒生长（800~900℃ 以上）。

（3）成型和排塑

简单形状的制品通过模压法成型，不均匀截面的条形 制品可以通过挤压法成型，薄板用流延法和轧膜法成 型，大的圆环和更复杂的形状用注浆法成型。 成型之前需加入粘合剂（常用的粘合剂的配制质量比 为：聚乙烯醇15%，甘油7%，酒精3%，蒸馏水75%； 在90℃下搅拌溶化）。 成型后生坯中的粘合剂、水分等加温排去，称为排塑 或排胶。通常排塑温度800~850℃，保温时间1小时左 右。
（3）压电陶瓷：经过人工极化处理具有压电效应的陶 瓷制品。 人工极化：是指在压电陶瓷上施加直流强电场进行极 化，使陶瓷的各个晶粒内的自发极化方向将平均地取 向于电场方向，使之具有近似于单晶的极性，并呈现 出明显的压电效应。
2 压电陶瓷的性能参数
（1）弹性常数(elastic coefficient) 弹性常数是反映材料在弹性形变范围内应力与应变 关系的物理量。 它服从胡克定律：“在弹性限度范围内，应力与应 变成正比。”设应力为T，加于截面积为A的压电陶 瓷上（单位：N/m2），其所产生的应变为S（无量 纲），则根据胡克定律，应力与应变之间有如下关 系： S=sT T=cS 式中s为弹性顺度常数，单位为m2 / N ；c为弹性劲 度常数，单位为N/m2。