简析电子束、离子束、激光束加工的区别
答案：
1.加工原理：电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现加工；而激光束加工的机理是热效应。

2.加工装置：电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、和电源系统做成；而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。

3.加工特点：
电子束：
（1）.束径小、能量密度高；
（2）.非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观应力和变形；
（3）.被加工对象范围广；
（4）.电子束能量高，加工速度快、效率高；
（5）.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格昂贵。

离子束：
（1）.加工精度和表面质量高；
（2）.加工材料广泛；
（3）.加工方法丰富；
（4）.性能好，易于实现自动化；
（5）.应用范围广泛，可根据加工要求选择。

激光束：
（1）.加工精度高；
（2）.加工材料范围广；
（3）.加工性能好；
（4）.加工速度快、效率高；（5）.价格昂贵
加工方法：
电子束;
（1）.电子束扫描曝光；（2）.电子束投影曝光；（3）.电子束表面改性。

离子束：
（1）.离子束溅射去除加工；（2）.离子束溅射镀膜加工；（3）.离子束注入加工；（4）.离子束曝光加工。

激光束：
（1）.加工精度高；
（2）.加工材料范围广；（3）.加工性能好；
（4）.加工速度快、效率高；（5）.价格昂贵。