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第４ ０卷第 １ 期
２ ０ １ ３ 年１ 月
光 电工 程
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Ｖｌ ０ １ ． ４ ０ ． ＮＯ ． １
Ｊ ａ ｎ． ２ ０１ ３
文 章编 号 ：１ ０ ０ ３ — ５ ０ １ Ｘ（ ２ ０ １ ３ ） ０ １ — ０ ０ ９ ４ — ０ ６
回转体测量机 的双 向法在线温度误差补偿
李杏华 ，洪 燕
（天津 大学 精密测试技 术与仪 器国家重点实验室 ，天津 ３ ０ ０ ０ ７ ２ ）
摘要 ：回转体测量机 以其效率高、精度 高，在 回转类零件测量 中得到 了广泛的应 用。但是 由于其 自身的特点 ，测 量精度受温度影响 引起 的漂移误 差可 达 １ ２ ０ ｐ ｍ。针对 这一问题提 出了一种在线温度误差补偿技 术，通 过双 向法测 量获得 内外测量架的平移 量和倾斜 量，然后再对各 高度的 内外径值进行补偿。该方法计 算简单，使用 方便 ，并 大 幅度提 高了测量精度。实验证 明，这种 补偿 方法可 以使尺寸测量结果的稳 定性误 差从 １ ３ ６ ｇ ｍ 降低到 １ ５ ｍ 左右 ，
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大 大提 高 了测 量 的 稳 定 性 。
关键词 ：回转体测量机；在线温度误 差补偿 ；双 向测量 ；平移和倾斜
中 图分 类号 ：Ｔ Ｈ７ １ １ 文献 标 志码 ：Ａ ｄ ｏ ｉ ：１ ０ ． ３ ９ ６ ９ ￣ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． １ ０ ０ ３ — ５ ０ １ Ｘ． ２ ０ １ ３ ｏ １ ． ０ １ ５