材料比重杨氏模量维氏硬度热量系数热膨胀系数
金刚石 3.52 99 79000 5.0 3.1
表 1 金刚石膜的性质
Table 1 Properties of chamond film
注:*在所有已知物质中占第一,**在所有物质中占第二,***与茵瓦(Invar)合金相当。

性质：又称导热系数，热传导系数（heat transfer coefficient）。

反应物质的热传导能力。

按傅里叶
定律，其定义为单位温度梯度（在1m长度内温度降低1K）在单位时间内经单位导热面所传递
的热量。

单位为W/(m·K)。

是物质的物性常数。

在绝大多数方面，CVD 金刚石具有与天然金刚石、人工合成金刚石单晶相似的物理、化学性质。

CVD 金刚石由碳元素单一元素组成，里面不含结合剂。

但由于它是由金刚石微晶交互生长形成，因此CVD 金刚石是一种聚晶材料。

与诸多其他通过薄膜技术生长的材料一样，CVD 金刚石是通过晶核交互生长得到的，且随着晶粒的不
断长大，金刚石层也不断变厚，逐渐长成柱状组织结构。

CVD 金刚石的化学稳定性好，热导率和耐磨性也非常出色。

根据所采用的合成技术的不同，可以分别制备出具有特殊性能的材料，为科学研究和工业生产提供新技术、新机会。

上表列出了CVD 金刚石与金刚石单晶以及Syndite （元素六PCD 产品）的热学、机械性质，以便比较。

CVD 金刚石的机械性能可以通过设计来满足具体应用的要求。

CVD 金刚石的多数光学性质都与生长合成出材料的等级有关：一部分经过专门加工制成透光材料（可见光范围内），用作激光窗口等元器件；还有一部分材料虽然看起来是不透明的，但是对于特殊光学元件来说，它们在红外区域理论上具有最大的透过率。