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热生长SiO2 sin 薄膜厚度颜色对照表

薄膜厚度(nm)
颜色
薄膜厚度(nm)
颜色
10
172534 Nhomakorabea3543
53
60
70
淡褐色
浅褐色
褐色
粉褐色
粉紫色
紫色
极深蓝色
深蓝色
浅蓝色
95
105
115
125
135
145
155
165
175
淡蓝色
极淡蓝色
浅蓝褐色
淡黄褐色
极淡黄色
淡黄色
黄色
亮黄
深黄
黄2000 1500
橘红2400 1800
红2500 1900
暗红2800 2100
蓝3100 2300
蓝绿3300 2500
浅绿3700 2800
橘黄4000 3000
红4400 3300
注意存在多序列。一个红色的氧化膜可能是730~790,2400~2500,或者4000~4400(单位:埃)
淀积的氮化硅薄膜在日光照射下垂直观察所呈现的颜色与厚度对照表
热生长SiO2(折射率1.48)和氮化硅(折射率1.97)颜色对照表
颜色SiO2厚度(单位:埃)Si3N4厚度(单位:埃)
银270 200
褐530 400
黄褐730 550
红790 730
深蓝1000 770
蓝1200 930
浅蓝1300 1000
极浅蓝1500 1100
银1600 1200
浅黄1700 1300
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