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硅片切割液配方

一、所述的多晶硅或单晶硅切割液由下述质量百分比的组分组成:聚乙二醇200-60070-90 %,非离子表面活性剂2-4%,螯合剂5-7%,有机醇2-4%,钼酸钠0.11-0.36 %,油酸二乙醇酰胺硼酸酯0.83-3.64%以及去离子水0-15%。

二、

1、 透明水溶性切削液 配方1(%)透明水溶性切削液

乙二醇 65.8;四硼酸钠 3.0;偏硅酸钠 1.0;磷酸钠 0.2;水 余量。 本液用于结构钢的车削、研磨和钻孔,使用时用水稀释3倍。

2、 乳化切削油

配方1(%)石油磺酸钠 13;聚氧乙烯烷基酚醚(OP-10) 6.5;氯化石蜡 10~30;环烷酸铅 5;三乙醇胺油酸皂 2.5;高速机械油(5号) 余量。

本油用于金属加工的挤压、车、钻等到工序,使用浓度为本乳化油的5%~30%.。

配方2(%)妥尔油酸钠盐 4.5~5.5;石油酸钠盐 4.5~5.5;C1-4合成脂肪酸 2.5~4;聚乙二醇 1.5;工业机械油 余量。

三、切削液参考配方(仅供参考)

组分 质量比

妥尔油 4-8%

氯化石蜡 3-8%

PEG 1~3%

NP-10 4-8%

十二烷基苯磺酸钠 5-8%

石油磺酸钠 1-3%

BHT 0~1%

乙醇 1~2%

有机硅消泡剂 0.1-0.5%

矿油 余量

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