扩 散炉 是集 成 电路 生产 工序 的重要 设 备之 一 ， 它 的 主要 用 途是对 半导体进 行掺 杂 ， 它 与 半 导 体 工 艺 互 相 依
存 、 互 相促 进 、 共 同发展 ＿ Ｊ Ｉ 。在 扩散 炉工 艺 参数 中 ， 温 度 的控 制 精 度 不 仅 直 接 影 响 着 产 品 质 量 ， 也 影 响 着 扩 散 炉
模 块 和按 键 组 成 人 机 交互 界 面 。
关 键 词 ：单 片 机 ； 扩散 炉； 温度 控 制 ； 热 电偶 ； Ｓ ｍｉ ｔ ｈ预 估 器
中 图 分 类 号 ：Ｔ Ｐ ２ ７ １ 文 献 标 识 码 ：Ａ 文 章 编 号 ：１ ６ ７ ４ — ７ ７ ２ ０（ ２ ０ １ ３） １ ７ — ０ ０ ８ ３ — ０ ３
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（ Ｓ ｃ ｈ ｏ ｏ ｌ ｏ ｆ ’ Ｍｅ ｃ ｈ ａ ｎ ｉ ｃ ａ ｌ Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ ａ ｎ ｄ Ｉ ｎ ｆ ｏ ｒ ｍａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｉ ｒ ｎ ｇ ｏ ｆ Ｃ Ｕ ＭＴ ． （ Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ ） ， Ｂ ｅ ｉ ｊ ｉ ｎ ｇ １ ０ ０ ０ ８ ３， Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ ）
摘 要 ： 针 对 传 统 的 扩 散 炉 温 度 控 制 系 统 的 精 度 低 、 生产 ． Ｙ －艺 控 制 能 力 差 的 现 状 ， 设 计 实 现 了 扩 散 炉 多路 高 精 度 温 度 检 测 控 制 系 统 。 系 统 采 用 三 路 热 电 偶 采 集 扩 散 炉 内 温 度 值 并 通 过 基 于 Ｓ ｍｉ ｔ ｈ预 估的 Ｐ Ｉ Ｄ控 制 ， 控 制 三 组 加 热 装 置 的 启停 ， 以达 到 对 炉 温 的控 制 ， 控制精度可达 １ ‰ ， 并 采 用 液 晶 显 示
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多 路 高 精 度 扩散 炉 温 度控 制 系 统 的设 计
张瀚文 ， 张 博， 杜 岩， 李 栋， 孟 国 营 （ 中国矿 业 大 学 （ 北 京 ） 机 电 与信 息 工 程 学 院 ， 北京 １ ０ ０ ０ ８ ３ ）
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