飞台净与空调技术
洁净厂房空气循环系统形式的合理选择
严德隆
文摘对工厂洁净厂房空气循环系统的主要三种形式的特点进行分析对比并时
其进展进行介绍
关健词空气循环系统形式单位风循环运行能耗高效过滤器铺设率
时
如
背
电子工厂洁净厂房空气循环系统由于其洁净室
面积大及对空气处理的质量要求高一般都宜采用新
风单独处理后与回风在干表冷器前混合进人空气循环
设备此种空气循环系统单位风量循环运行能耗以
往平均在左右按工厂一般平均循
环风量,旧计考虑电费元则
年运行电费约近万元
至今为止电子工业洁净厂房中常被采用的空气
循环系统形式主要是以下三种
单独空调器大容量轴流风机竖井式布置
风机过滤器单元
年代中以来工厂洁净厂房的空气循环系
统在欧洲及亚洲较多采用形式而在美国主要是
采用单独空调器形式及大容量轴流风机竖井式布
置形式对高效或尹过滤器铺设率为刃吮
的基本不采用形式只有在洁净度要求不甚严
的生产辅助及支持区高效过滤器铺设率在
时才考虑采用形式主要原因是人们较
多担心台数多故障机率大嗓声大且形式投资及运行费用都较大
合理的选择空气循环系统形式的准则应是综合投
资费用运行能耗和运行费用性能及控制等要求的全
面衡量至今采用日几〕的用户每天小时运行
年来无故障发生的已不在少数因此实际上综合投资
及运行费用的综合平衡已是用户考虑的主要因素
系统形式的分析比较
单独空调器
空调器内设置予过滤器或不设干表冷器消
声器及风机以往一般都为离心风机每台风机的
风量一般控制在,仪肠」以内以控制噪声
的过大风压全压一般在以内
单独空调器一般常设在静压箱上一层的屋顶层内
或洁净室周边竖井风道上部的地方图为工厂洁
净厂房的空气循环系统单独空调器形式的一种方案
轴流风机竖井式布置
大容量的翼式轴流风机与予过滤器或不设
干表冷器消声器等都常布置在竖井风道内也有把
干表冷器消声器布置在竖井风道外图为工
厂此种形式的典型方案之一
每台轴流风机的风量大一般在万
年第期
空调器川杨图区‘昌监月五广冲币条曾戒第江洁净区洁净区
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图洁净厂房空气循环单独空调器形式之一
轴流风机少产立
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冷器过沈器消声器
图洁净厂房空气循环轴流风机竖井式布形式之一
在大流量低风压下轴流风机的运行效率较高但
其噪声亦较大因此为提高效率及控制噪声要求风
机运行全压宜控制在《左右
此种形式综合投资及耗能运行费用较省运行维
护管理方便但灵活性较差
当前每台风量为及的
其静压一般在最大不超过因此采用
的基本要求是整个空气循环系统的最大阻力应控
制在以内已有的设计对阻力的分配一般
常作如下控制干表冷器左右或
的初阻力左右风道及活动地板等
左右所以要求较大的回风通道尺寸及干表冷
器表面积廿出口风速一般在使
运行在较合适的工况下以利阻力及噪声的控制
由于采用的交流感应电机容量小衰寸要求较大以控制合理的阻力要求的运行可靠
性及噪声控制随着实际运行已不再是主要因萦但
综合投资及运行能耗和运行费用往往限制了的
推广
比较
有文章【介绍曾以典型的工厂洁净厂房
为基础都采用洁净室外周边的竖井作为回风道对
三种空气循环形式在通过风速为噪
声控制要求以各自合理的竖井尺寸下进
行以控制循环设备包括干表冷器风机消声器
等接管建筑结构回风竖井空间静压箱以上
屋顶空间以及支承结构等电气及自控等的综合投
资因素进行对比对运行耗能以单位风量循环运行能
耗进行分析现将其结果综合龄表
因此国外都认为采用形式在高效或
娘合投资因及单位风循环运行能耗其电机效率在附近虽然系统阻力控制
得低但其能耗过去一般在饰左
右静压时布置在静压箱内
其竖回风通道在工厂洁净厂房中的典型作
法如同图所示的为设在洁净室外的周边
竖井干表冷器亦常设在竖井内竖井的尺单独空调器器大型轴流风机
综合投廿铺设设一
资因素率侃
稍高基本相当
运行能耗户
洁净与空调技术
过滤器铺设率在一情况下较为有利在
《卜汤铺设率时则不如其他形式经济
但欧洲及亚洲的工厂较多的采用形式
其原因不外乎
生产的加工区采用了隔离措施一微环境因
此对其他洁净生产区都可采用级卜及要
求不严的洁净等级这样采用带过滤器的刊
在铺设率时能满足要求
不采用微环境的主要生产加工区廿过滤
器铺设率需的空气循环形式亦采用但其回
风不考虑洁净室外设周边的回风竖井而设法利用要
求不严的洁净区如维护区等作为回风通道如图所
示这样节省了建筑面积在多层洁净厂房的情况
有时在综合投资上往往与其他形式的相接近
新风单元带风机过滤单元环形干表冷器
、了
岛盯一卜曰风机机
、
尸声舍回风静压箱
空气人门气
支承结构送风静压箱图轴流风机单独空调器示意
结论
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门
图洁净厂房空气循环形式之一
新进展
洁净厂房空气循环系统三种形式最近几年来的新
发展主要是在风机或电机效率及噪声控制的改善方面
主要采用了电子整流电机一无特殊电刷的
直流电机此电机为外转子式风机叶轮直接装在电
机的外转子上电机的效率由原以下提高至
一提高较多同时加上直流电机变速控制优点
更带来运行噪声的减少
采用电机后的其单位循环风量运行能耗
已可降至一扮
翼型轴流风机在空气动力性能及消声的改进
使运行效率进一步提高运行噪声减少其运行能耗
可在左右全压时对单独空调
器亦改为用轴流风机的组合型式其结构图见图可
直接安装龄静压箱上部的承台上的应用及运行已有约一年的历史它
的应用不仅限于微电子工厂洁净室亦可用于医药工
业食品工业等洁净室对利用原有建筑物改造成洁
净室在受建筑物空间限制时采用往往是最佳
选择对面积不大的洁净室尤其是模块式洁净室采用
会是灵活合理的对高效或过滤器的
铺设率在的洁净室采用一般会是合理
的采用电机后以上的优点更是明显
机组本身的静压有限其应用的合理性
在于空气循环系统空气阻力的控制并尽量减少回风通
道的投资
翼型轴流风机的应用应注意发挥其大风量
低全压下效率高的特点使运行点全压控制在风
机效率较高处
为洁净厂房用的轴流风机的单独空调器其
运行效率高风压可比为大风量选用范围广
优点较明显看来其开发及推广必然会加快
参考文献
石罗主
加
外阴,阮
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