路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 - 百度文库
1 石英玻璃之洗净方法
石英玻璃在半导体工业设备上，使用温度经常在1000℃至1300℃之高温状态，在此种状态下由于附著不纯物导致失透现象发生，失透之部分为石英之晶质化，晶质化之变态点为275℃，当石英玻璃自高温降至此变态温度时，表面失透之晶质化部分与石英玻璃本身高温之α相与低温之β相间膨胀系数不同在急速冷却下产生不透明之剥离状，更严重时会造成破裂现象产生。为使石英制品能使用更久，就必须注意防止造成石英失透产生的原因，而造成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃……等等。且0.1mg/cm2l}k
就会造成数十倍或数百倍的失透量。 因此，防止这些污染源附著在石英表面上除了不直接用空手去拿石英外，使用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石英表面之洁净度。
一般石英之洗净须要一些程序，首先用纯水先冲洗表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，取出后再用纯水冲洗后晾干。 酸液之种类如下：
◆ 种类/项目 浓度 时间P_!
◆ 氟酸（HF） 47.0%~52.0% 1~2分钟
◆ 氟酸（HF） 5.0%~10% 10~15分钟
◆ 氟酸+硝酸 50%+65% 10~15分钟_
◆ 氟酸+硫酸 50%+65% 10~15分钟 石英玻璃专利技术
1、玻璃质材料管,特别是石英玻璃管的制造方法
2、不透明石英玻璃的制造方法、适于执行该方法的SiO颗粒和由不透明石英玻璃构成的部件g`
3、不透明石英玻璃管生产用的硅石粉料坨的生产方法
4、采用溶胶-凝胶法制备高纯石英玻璃的方法
5、彩色石英玻璃管的制造方法
6、超细石英玻璃管及其生产方法和设备
7、大尺寸石英玻璃管的制造方法
8、大尺寸石英玻璃熔化炉
9、电阻炉生产石英玻璃的投料器 路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 - 百度文库
2 10、多点夹持牵引式石英玻璃拉管装置
11、二氧化硅粒子、合成石英粉、合成石英玻璃的合成方法
12、辐照输液器中的石英玻璃管件
13、高耐久性石英玻璃，其制造方法，使用它的部件及装置
14、合成石英玻璃制造方法
15、环形石英玻璃管制作机
16、黄色滤光石英玻璃及其制造方法
17、堇青石--熔融石英玻璃质稀土粉料煅烧皿
18、可多次使用的石英玻璃生产用石墨坩埚
19、立式四氯化硅汽相沉积合成石英玻璃的方法
20、内外经分别相等的石英玻璃厚壁管一次成型装置
21、耐高温低膨胀高硼含量封接玻璃的制备工艺
22、耐受激准分子激光的石英玻璃制造方法和石英玻璃部件
23、能吸收紫外线的透明石英玻璃及其用途
24、气炼法生产不透明乳白石英玻璃
25、溶胶-凝胶法生产石英玻璃用的组合物
26、生产管状石英玻璃产品的方法
27、生产石英玻璃管的方法和用于实现该方法的钻杆体
28、石英玻璃的构造元件及其制造方法
29、石英玻璃坩埚的制造方法
30、石英玻璃管成型装置
31、石英玻璃管烧口装置
32、石英玻璃管自动定尺切割装置
33、石英玻璃光导纤维制造方法 路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 - 百度文库
3 34、石英玻璃及其制造方法
35、石英玻璃喷镀部件及其制造方法
36、石英玻璃熔炼炉水冷电缆供电装置
37、石英玻璃体和石英玻璃支持部件的制造方法
38、石英玻璃液体电加热管
39、石英玻璃制品及其制备方法
40、石英玻璃组合物
41、石英玻璃组合物以及使用它生产石英玻璃的方法
42、石英及玻璃材料中二阶极化率产生与增强的新方法
43、双效蒸发高酸后重稀土反萃液浓缩石英玻璃设备
44、透明石英玻璃产品的制备
45、透明石英玻璃厚壁管制造方法及装置
46、无羟基透明石英玻璃的连续电熔法
47、析晶温度高于石英玻璃的高温玻璃的制造方法
48、一种立式合成石英玻璃沉积炉
49、一种耐碱玻璃球的生产方法
50、一种石英玻璃的氢氧焰燃烧器
51、一种石英玻璃管的切割装置
52、一种石英玻璃管拉制成型方法
53、一种石英玻璃管拉制成型装置
54、一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法
55、用来制造石英玻璃体的方法
56、用溶胶-凝胶过程制造石英玻璃的方法
57、用于半导体制造的石英玻璃构件 路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 - 百度文库
4 58、用于标记石英玻璃灯的方法和用其所制造的石英玻璃灯
59、用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法
60、用于制造石英玻璃基底材料的方法
61、圆柱形石英玻璃部件的制造方法及其适用的装置
62、在石英玻璃管制造中撤出芯棒的方法和装置
63、制造石英玻璃板的方法和设备
64、制造石英玻璃体的装置和方法
65、制造石英玻璃预制件的方法
66、制造一种石英玻璃的方法和装置
67、制作石英玻璃的方法-
68、制作石英玻璃的方法
热性能 电性能 机械性能
石英玻璃热膨胀系数是：5.5x10-7cm/cm. ℃,是铜的1/34，是硼硅酸盐的1/7，这一特性，使其用于光学镜头，高温窗口以及要求对热变化敏感达到最低的光学应用。石英玻璃具有良好的抗热冲击性能，将1毫米厚的石英玻璃片加热的1200度，迅速投入冷水中数次，也不会产生损坏。 电性能1,h
石英玻璃仅含有微量的碱金属离子，属不良导体。它的介电损失对全部频率都很小。作为固体绝缘体，其电气和机械性能远较其他材料优越。在常温下，透明和不透明石英玻璃的固有电阻分别为1019和1016ohm cm，相当于普通玻璃的103-106倍。在常温下，透明和不透明石英玻璃的绝缘耐压分别是43千伏/毫米和32千伏/毫米。。 机械性能W
石英玻璃的机械性能和其他玻璃相似，其强度取决于玻璃中的微裂纹。弹性模数，抗拉强度,抗折强度随温度增加而增加，1050-1200度达到最大值。推荐用户使用的设计抗压强度为1.1×109Pa, 抗拉强度4.8×107Pa. 二步法工艺：分两步工艺生产石英玻璃制品的方法。典型方法是第一步用真空电阻炉法或气炼法生产的石英坨，再将石英坨放入电阻炉中二次拉管。 透明石英玻璃由于具有从紫外区到红外区优良的光透过性和耐热性，所以广泛使用于水银灯、超高压水银灯、氙灯、紫外线灯、碘钨灯、卤素灯、气体激光用灯、金属卤化物灯等电光源。w
中国照明用石英玻璃按行业标准：Al、Ca、Mg、Ti、Fe五种元素，优等品<50ppm，一等品<70ppm，合格品<1000ppm，羟基含量优等品<3ppm，一等品<5ppm，合格品<10ppm。 路漫漫其修远兮，吾将上下而求索 - 百度文库
5 天然石英的质量评估1
天然石英的主要成分为SiO2，属三方晶系，有 α?C石英，β?C石英，α?C鳞石英，β1?C鳞石英，β2?C鳞石英，α?C方石英，β?C方石英，柯石英，斯石英等同质多象变体。其中α?C石英在自然界分布极广，是许多火成岩、沉积岩和变质岩的主要造岩矿物。α?C石英，又是花岗伟晶岩脉和大多数热液脉的主要矿物成分。在伟晶岩脉晶洞和变质岩系中的石英脉内，α?C石英，能形成结晶完好的晶体——水晶。 人类对石英的认识和利用可谓由来已久，古人称水晶为“千年之冰”，将其作为饰品和宝物。随着工业技术的发展，石英因具有优越的性能在许多领域得到了广泛应用。比如：水晶用来制作压电元件、石英玻璃的原料等，应用于电子、光学材料等行业；石英砂是玻璃、陶瓷、铸造、耐火材料、冶金等行业的主要原料；石英粉是陶瓷、无碱玻璃纤维、电子塑封填料、耐火涂层、塑模涂层、高技术隐瓷等行业的主要原料。当然，不同粒度的石英在磨料、涂料等行业也得到了广泛的应用。 1.石英的地质产出类型 石英在各种地质条件下都有产出，具有工业价值的矿床有海相沉积的石英砂矿、湖相沉积石英砂矿、风成石英砂矿、变质成因的石英岩矿、热液成因的脉石英矿、岩浆分异形成的伟晶岩石英矿等。不同成因的石英质量不同，应用领域也不同。不同类型的石英矿床的地质类型及应用领域见表1。
表1 不同石英矿床的石英质量及应用领域
序 号 地质成因 分类 产出特征 T=I/Io (100%) KA1=Cal/C (100%) ∑Me (PPm)
∑Mc (PPm) 1 内生岩浆岩 伟晶岩 稀有金属矿 47 79 519 29 2 内生岩浆岩 伟晶岩 含水晶矿 69 75 499 12 3 内生岩浆岩 伟晶岩 含水晶矿 34 72 292 21 4 内生岩浆岩 热液矿床（脉） 乳白色脉石英 3 54 409 33 5 内生变质岩 伟晶岩 含云母玻璃状石英 41 65 228 15 6 内生变质岩 伟晶岩 颗粒（粒化）石英 66 55 220
14 7 内生变质岩 伟晶岩 颗粒（粒化）石英 68 53 215 12 8 内生变质岩 热液石英脉 颗粒（粒化）石英 65 16 91 8 9 内生变质岩 热液石英脉 透明石英 72 30 42
10 内生变质岩 热液石英脉 再结晶乳白色石英 15 41 78 11 内生变质岩 热液石英脉 再结晶石英 32 42 75 5 12 内生变质岩 热液石英脉 水晶矿 72 38 71 4
13 外生沉积岩 热液石英脉 石英岩 12 40 970 47 14 外生沉积岩 再结晶石英岩
石英岩 33 48 600 81 15 外生沉积岩 砂 岩 6 41 9% 414 16 外生沉积岩 石英砂
3 43 4~3% 693 序 号 地质成因 分类 产出特征 用 途 产 地 1 内生岩浆岩
伟晶岩 稀有金属矿 光学玻璃 中国阿尔泰、芬兰、阿根廷 2 内生岩浆岩 伟晶岩 含水晶矿 压电水晶 江苏东海、马达加斯加、巴西 3 内生岩浆岩 伟晶岩 含水晶矿 熔炼石英 河北灵寿、安格拉 4 内生岩浆岩 热液矿床（脉） 乳白色脉石英 非均质熔炼石英 5 内生变质岩 伟晶岩 含云母玻璃状石英 透明石英玻璃
印度、乌拉尔 6 内生变质岩 伟晶岩 颗粒（粒化）石英 透明石英玻璃 乌拉尔 7
内生变质岩 伟晶岩 颗粒（粒化）石英 透明石英玻璃 中乌拉尔、印度 8 内生变质岩 热液石英脉 颗粒（粒化）石英 透明石英玻璃 乌拉尔 9 内生变质岩 热液石英脉 透明石英 透明石英玻璃 乌拉尔、中亚 10 内生变质岩 热液石英脉
再结晶乳白色石英 11 内生变质岩 热液石英脉 再结晶石英 熔练水晶 乌拉尔
12 内生变质岩 热液石英脉 水晶矿 压电水晶 马达加斯加、巴西 13 外生沉积岩 热液石英脉 石英岩 硅 铁 14 外生沉积岩 再结晶石英岩 石英岩 透明石英玻璃、 平板玻璃 乌拉尔、天山、安徽凤阳 15 外生沉积岩 砂 岩 玻璃、陶瓷 德