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纳米薄膜的制备方法


五 纳米粒子的性质与应用
纳米粒子表面因其形态而不同,表面活性 和表面能也很高,能有效活化烧结。在烧 结陶瓷时,加入AlN纳米粉可提高烧结体密 度和导热率。 纳米粒子因表面活性中心多而催化效果好, 此外,纳米粒子还可作磁性材料,其性能 依赖于粒子尺寸及其表面。
六 纳米粉体材料表面研究进展
实际生产中,纳米材料表面修饰技术严重 地影响了纳米材料在高分子,如:塑料、 合成纤维方面的应用。由于纳米粉体颗粒 表面与高分子材料之间的相容性问题还没 解决,纳米颗粒没有达到纳米级分散等。
真空溅射原理及方法

方法: ① 直流溅射:溅射沉积各类金 属 薄膜 ② 射频溅射:溅射沉积非金属材 料(导电性差) ③ 磁控溅射:提高沉积速率 ④ 反应溅射:在溅射过程中实 现物 质之间的化学反应制备所需 要 的物质薄膜。 本实验采用射频磁控溅射法在石 英衬 底上沉积ZnO(靶材)薄膜 。
射频溅射沉积装置示意图
五 纳米碳管制备技术
1 2 3 4 石墨电弧放电法 化学气相沉积法(CVD)(催化裂解法) 激光蒸发(烧蚀)法 太阳能法
第三节 纳米材料表面修饰和改性
一 纳米粉体表面结构及状态 二 纳米粉体的表面及其形貌 三 纳米粉体材料的制造方法及其对表面状态 的影响 (1)机械粉碎法及其纳米粉的表面特点 (2)化学法及其纳米粉的表面特点
四 纳米颗粒表面修饰和改性方法
(1)高分子材料对表面进行包覆 如:纳米药物磁粒子载体 (2) 偶联剂与纳米粒子表面反应,强化纳 米粒子与高分子材料的相容性,如:有机 硅偶联剂 (3)无机材料对纳米粒子进行包覆,有效解 决纳米颗粒的单分散性,如:纳米二氧化 钛粉末中加入锆的盐溶液,可得到包覆一 层二氧化锆的纳米二氧化钛粒子
二 纳米薄膜的制备方法
1 还原法 2 溅射法 利用直流或高频电场使惰性气体发 生电离,产生辉光放电等离子体,电离产 生的正离子和电子高速轰击靶材,使靶材 上的原子或分子溅射出来,然后沉积到基 板上形成薄膜。

原理: 真空镀膜是借助高能粒子轰 击所产生的动量交换,把镀 膜材料的原子从固体(靶) 表面撞出并放射出来。放在 靶前面的基材拦截溅射出来 的原子流,后者凝聚并形成 镀层。 阴极发射电子在电场的作用 下加速飞向基片的过程中与 溅射气体原子发生碰撞,电 离出大量的正离子和电子, 电子飞向基片, 正离子在电 场的作用下加速轰击靶材, 溅射出大量的靶材原子,呈 中性的靶原子(或分子)沉 积在基片上成膜。

图1胶态晶体法组装得到的CdSe量子点超晶格的高分辨电 镜照片(图中量子点尺寸为4.8nm) (A) fcc排布的(101)面的图像及特征电子衍射图(B) fcc 排布的(100)面的图像及特征电子衍射图
自组装单分子膜
自组装单分子膜:通过表面活性剂的头基和基 底之间产生化学吸附,在界面上自发形成有序 的单分子层,是一种新型的有机成膜技术。
-H2O
polymerization
Si Si O O substrate
O
翟怡、张金利等,化学进展,2004,16(4):477-484
பைடு நூலகம்
二 厚模板合成纳米阵列
模板合成是在含有高密度纳米孔洞的模板上进行的纳米 组装。有电化学沉积法、化学聚合法、溶胶凝胶法、化学气 相沉积法、无电镀合成法等。 厚模板有: (1)氧化铝模板 (高纯铝在退火后于低温草酸或硫酸溶 液中经阳极腐蚀得到氧化铝多孔板。 特点:孔洞为垂直于 板面的六角有序排列,孔径可在5-20nm调节。 (2)金属模板 (在氧化铝模板上镀一层金属膜得到的模 板) (3)高分子模板(通过核裂变轰击高分子膜使之产生裂痕, 然后再用化学腐蚀法使痕迹变为孔洞得到高分子模板)
第四节 纳米结构材料制备技术
一 纳米结构材料自组装和分子自组装合成 1 纳米结构材料自组装合成 2 分子自组装条件 (1)反应体系中有有序的共价键,先结合成复杂 完整的中间分子体; (2)中间分子通过弱键(氢键、范德华力)与其 他非共价键的协同作用形成稳定的大分子聚集体。 (3)一个或多个分子聚集体作为结构单元,多次 重复自组装排成纳米结构体系。
优点:原位自发形成,较高的有序性和取向 性,高密度堆积,缺陷少,结构稳定
有机硅烷SAMs在基底表面的自组装过程示意
X
H 2O
X
adsorption
Cl Si Cl Cl
X H X
hydrolyzation
HO Si OH OH
X
X
O Si OH HO Si O H O O H H H H O O substrate
四 纳米微囊制备技术
(一)纳米高分子微囊制备方法 1 乳化聚合法 2 天然高分子法 3 液中干燥法
什麼是乳化聚合?
在乳化剂(表面活性剂)存在下,将单体分散于水中,此时 溶液呈乳液状,再加入水溶的引发剂进行聚合反应。
1. 合成聚苯乙烯核。
HMEM: 2-[p-(2-Hydorxy-2-methylpropiphenone)]ethyleneglycol
三 高分子纳米材料的制备方法 (无机-有机杂化技术)
1 原位聚合 以纳米颗粒与高分子单体进行混 合,单体聚合生成纳米颗粒与聚合物的杂 化化材料或在与高聚物混合中生成纳米颗 粒的方法。 2 插层复合 利用层状无机物(硅酸盐粘土等) 作为主体,将有机高聚物作为客体插入主 体的层间,从而得到有机-无机纳米复合 材料。
磁控溅射原理



磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径,改 变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利 用电子的能量。 电子在加速的过程中受到磁场洛仑兹力的作用,被束 缚在靠近靶面的等离子体区域内。 F=-q(E+v×B) 电子的运动的轨迹将是沿电场方向加速,同时绕磁场 方向螺旋前进的复杂曲线。即磁场的存在将延长电子 在等离子体中的运动轨迹,提高了它参与原子碰撞和 电离过程的几率,因而在同样的电流和气压下可以显 著地提高溅射的效率和沉积的速率。
磁控溅射靶表面的磁场和电子运动 的轨迹
JGP450型多靶磁控溅射仪 (控制 箱)
真空溅射室及氮气等离子体辉光放 电图
磁控溅射装置示意图
3 化学气相沉积法 (CVD) 利用含有薄膜元素 的一种或几种气相化合物或单质在基底表面上 进行化学反应生成薄膜的方法。
特点: CVD技术可以通过精确控制反应温度 和反应时间来控制晶粒的大小,从而获得纳米 复合薄膜材料。
2. 於核外面覆蓋一層光起始劑-HMEM。
3. 用UV光照射溶液中的粒子,開始行光乳化聚合。

1. 將Ag salts加入之前製備好之高分子稀溶液中, 生成銀離子。 2. 再加入 NaBH4 於上述溶液中,生成金屬銀。

PS
Ag
Rps:75nm
RAg<5nm
(二)纳米脂质体制备方法
1 2 3 4 5 超声波分散法 薄膜分散法 注入法 冷冻干燥法 逆向蒸发法
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