ｔ ｎ ｌｄ ￣ ｎ ｅ，ｐ ｅ ｉｅ ａ ｐ ｒｔ ， ｓ ｅ ｉ ｌｉ ｄ ｓｒ ｎ ｎ ｉｏ ｍ ｅ ｔｄ ｔｃｉ ｎ Ｔｈ ｈ ｒ ｃｅ ｓｏ ｈ — ｉ ａ ｅ ｃ ｏ ｒ ｃｓ ｐ ａ ａｕｓ ｐ ｃａ ｎ ｕ ｔｙ ａ ｄ ｅ ｖｒ ｎ ｎ ｅｅ ｔｏ ． ｅ ｃ ａ ａ ｔ ｒ ｆｔ ｅ ｍｉ
（ ｈ ９ｈＲ ｓａｃ ｎｔｕｅｏ Ｃ Ｔ ， ａｂ ５０ １ Ｃ ｉａ Ｔ ｅ４ ｔ ｅｅｒ Ｉｓｔｔ ｆ Ｅ Ｃ Ｈ ｒｉ １０ ０ ，ｈｎ ） ｈ ｉ ｎ
Ａ ｓｒｃ ： ｈ ｅｈ ｏ ｇ ｆＭｉ ｏＯ ｔ— ｌ ｔ — ｃ ａｉａ Ｓｓ ｍｓ（ Ｅ ）ｉ ｔｅｆｒｌ ｄ ｒ ｉｇ ｂｔａ ｔ Ｔ ｅｔ ｎｌ ｙｏ ｃ — ｐｏＥｅ ｒ Ｍｅｈ ｎｃｌ ｙｔ ｃ ｏ ｒ ｃｏ ｅ ＭＯ ＭＳ ｓ ｈ ｏｅ ｎ ｉ ｎ ａ ｓ ｔ ｈ ｏ ｇ ｆ ｌ ｕｊｃｓ ｍ ｌ ｍ ｔ ｇ ａ ｄｔｅｍｉ ｏｐ ｒｅｔ ｎｔ ｈ ｏ ｇ ｈｃ ａｅ ｎＭＯ ｅ ｎｌ ｏ ｔｓｂｅｔ ａ ａ ａ ａ ｎ ， ｎ ｃ ｅｃｐｉ ｅ ｎｌ ｙｗ ｉ ｉ ｂ ｓｄｏ — ｃ ｏ ｙ ｍｕ ｉ ｇ ｉ ｈ ｒ ｏ ｃ ｏ ｈｓ
Ｔｈｅ Ｍ ｉｒ ｒ ｅ ｔｏ ｃ ｃ ｏ Ｐｅ ｃ ｐ ｉ ｎ Ｔｅ ｈｎｏ ｏ ｙ Ｂａ ｅ ｎ ｉ ｒ － ｐ ｏ－ ｅ ｔ ｏ・ ｌ ｇ ｓ ｄ ｏ Ｍ ｃ ｏ－ ｔ － ｃ ｒ － Ｏ Ｅｌ
Ｍ ｅ ｈ ｎ ｃ ｌＳ ｓｅ ｃ ａ ｉａ ｙ ｔ ｍｓ
Ｃ Ｅ ｉｉ，Ｈ ｉ ，Ｕ Ｎ Ｊ ｎ ＨＵ Ｎ Ｓ ｕ ｉ Ｈ Ｎ Ｌ—ｅ Ｓ Ｉ ｎ Ｌ Ａ ｉ ， Ａ ｈ ａ ｊ Ｘ ａ
第 ６期
２１ ０ ０年 １ ２月
中目 舛譬 阪学瓤 露； 研雹
Ｊ ｕ ｎ ｌ ｆＣ Ｉ ｏ ｒ ａ ＡＥ Ｔ ｏ
Ｖ０ ． １５ Ｎｏ． 一 萎 ｜
＼ ！ 石 ｌ 石 、 ；
基 于 微 光 机 电 系统 的 微 感 知 技 术
ＥＭＳ ｉ ｎ ｆｔ ｅ ｆ ｔ ｒ ｃ ｏ ｓ ｓｅ ｋ ｒ ｅ ｅ ｈ ｏｏ ｉｓ Ｓｏ ｅ ｏ ｈ ｕ ｕ ｅ ｍｉｒ ｙ ｔ ｍ ｅ ｎ ｌｔｃ ｎ ｌｇｅ ．Ｂｅ ａ ｓ ｆｔ ｅ ｔｎ ｃ ｕ ｅ ｏ ｈ ｉ ｙ．ｃ ｍｐｏ ｉ ｖ ｎ ｎ ｅｌ— ｏ ｓｔ ｅ ａ ｄ ｉ ｔｌｉ ｉ ｇ ｎ ｈ ｒ ｃ ｅｉｔｃ ｅ ｔｃ ａ ａ ｔｒｓｉｓ，ｔ ｅ ｍｉｒ ｒ ｅ ｔ ｎ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ａ ｒ ａ ｐ ｌｃ ｔｏ ｒ ｓ ｅ ｔ ｎ ｔ ｅ ｆ ｌ ｓ ｏ ａ ｈ ｃ ｏ ｐｅ ｃ ｐ ｉ ｅ ｈ ｏｏ ｈ ｓ ｂ ｏ ｄ ａ ｐ ｉａ ｉｎ ｐ ｏ ｐ ｃ ｓｉ ｈ ｉ ｄ ｆｎ — ｏ ｙ ｅ
的挑 战 。通过 对发展 微 感知技 术 需要 关 注 问题 的 思考 ， 我 国微 感知 技 术的发展 提 出了建议 。 对
关键 词 ： 机 电 系统 ； 光机 电 系统 ； 感 知技 术 微 微 微
中图分 类号 ： Ｐ １ Ｔ ４ １ Ｔ ２ ２；Ｎ ０
文 献标识 码 ： Ａ
文章编 号 ：６ ３５ ９ （ ０ ０ ０ －９ ￣６ １７ —６ ２ ２ １ ）６５ ９
ｃｏ ｐ ｒ ｅ ｔｏ ｅ ｈ ｏｏ ｙ ｈ ｖ ｅ ｎ ｄ ｓ ｒｂ ｄ．Ａｔｔ ｅ ｓ ｍｅ ｔｍｅ，ｔ ｅ ｏ ｅ ｓ ａ ｎ ｎｅ ｎ ｌｒ ｓ ａ ｃ ｎ ｒ ｅ ｃ ｐ ｉｎ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ａ ｅ ｂ ｅ ｅ ｃ ｅ ｉ ｈ ａ ｉ ｈ ｖ ｒ ｅ ｓａ ｄ ｉｔ ｒ ａ ｅ ｅ ｒ ｈ ｉ — ｓａ ｃ ｂ ｕ ｈ ｃ ｏ ｐ ｒ ｅ ｔｏ ｅ ｈ ｏｏ ｙ ｉ ｎ ｒ ｄ ｃ ｄ Ｓ ｖ ｒ ｌｐ ｏ ｌ ｍｓ ａ ｏ ｔＭＯＥＭＳ ｗｈ ｃ ｒ ｔ ｎ ｅ ａ ｏ ｔｔ ｅ ｍｉ ｒ ｅ ｃ ｐ ｉｎ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ｓ ｉ ｔｏ ｕ ｅ ． ｅ ｅ ａ ｒ ｂ ｅ ｂ ｕ ｉｈ ａ ｅ ａ ｘｏ ｓｔ ｅ ｓ ｌ ｅ ｒ ｕ ｎ ｉｕ ｏ ｂ ｏｖ ｄ ａ ｅ ｓ ｍｍａ ｚ ｄ，ａ ｄ ｔ ｅ ｃ ａｌ ｎ ｅ ｈａ ｈ ｅ ｈ ｏｏ ｌ ｂ ｎ ｆｃ ｆａ ｅ ｐ ｉ ｔ ｉ ｒｅ ｎ ｈ ｈ ｌ ｇ ｓ ｔ ｔｔｅ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ｗｉ ｅ ｉ ａ ｅ ｏ ｒ ｏ ｎ — ｅ ｙ ｌ ｅ ｄ．Ｂｙ ｃ ｎｓｄ ｒｎ ｈ ｒ ｂ ｅ ｈ ｔ ｄ ｖ ｌ ｐ ｎ ｈ ｅ ｈ ｏｏ ｅ ｓ ｔ ｅ ｎｏｉｅ ｏ．ｔ ｅ ｕｇ ｅ ｔｏ ｏ ｉｅ ｉ ｇ ｔ ｅ ｐ ｏ ｌｍｓ ｔ ａ ｅ ｅｏ ｉ ｇ ｔ ｅ ｔｃ ｎ ｌ ｇ ｎｅ ｄ ｏ ｂ ｔｃ ｄ ｔ ｙ ｈ ｓ ｇ ｓｉｎ
陈丽洁 ， 史 鑫 ， 剑 ， 帅 栾 郇
（ 中国电子科技 集 团公 司第 ４ ９研 究所 ， 尔滨 哈 １００ ） ５ ０ １
摘
要 ： 光机 电 系统技 术是在 微机 电 系统技 术基础 之 上发 展 起 来 的具 有 多种 学科 交 叉融合 特 征 微
的前 沿 高新技 术 ， 该技 术上 建立 的微 感知技 术是 未 来微 系统技 术 的核 心 技 术之 一 。 由 于微 感知 在 技 术具 有微 型化 、 集成化 和智 能化 的特 点 ， 未来在 国 防军 工、 密仪 器 、 殊 工业 ， 精 特 以及 环 境检 测 等 领 域将 有广 泛的应 用前 景 。首先描 述 了微 感知技 术 的技 术特 征 ， 同时对 当前 国 内外 的微 感 知技 术 研 究情 况进行 了介 绍 ， 总结 了微 光机 电 系统 的几个 亟待 突破 的技 术 问题 ， 并指 出了微 感知技 术 面 临