微电子工艺课程设计

提供光学光刻分辨率的方法研究

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目录

摘要................................................................................................................................ 5

关键词............................................................................................................................ 5

引言................................................................................................................................ 5

正文................................................................................................................................ 5

一、 提高分辨率的方法................................................................................... 5

1. 影响图形光刻分辨率的主要因素........................................................... 5

1.1掩膜（Mask） .................................................................................... 6

1.2 照明系统（Illumination system） ................................................... 6

1.3 投影（Projection） .......................................................................... 7

1.4发射和过滤特性 ................................................................................ 7

1.5成像(Image) ........................................................................................ 8

1.6曝光（Expose） ................................................................................. 9

1.7烘烤（Bake） ................................................................................... 10

1.8显影（Develop） ............................................................................. 10

1.9一些效应的影响 .............................................................................. 12

2. 提高分辨率的措施................................................................................. 14

2.1掩膜 .................................................................................................. 14

2.2照明系统 .......................................................................................... 15

2.3投影（Projection） .......................................................................... 16

2.4发射和过滤特性 .............................................................................. 17

2.5成像（Image） ................................................................................ 18

2.6曝光（Expose） ............................................................................... 18

2.7烘烤（Bake） ................................................................................... 19

2.8显影（Develop） ............................................................................. 20

2.9一些常见且有效的技术 .................................................................. 22

2.10采用先进的光刻技术 .................................................................... 28

二、 一个优化的工艺组合方案的各参数的确定......................................... 31

1 掩膜版和照明窗口的设计 ....................................................................... 31

仿真1 ..................................................................................................... 33

仿真2 ..................................................................................................... 35

仿真3 ..................................................................................................... 36

仿真4 ..................................................................................................... 37

仿真5 ..................................................................................................... 39

仿真6 ..................................................................................................... 40

结论......................................................................................................... 41 3

2 数值孔径 ................................................................................................... 42

3光照波长 .................................................................................................... 42

仿真1： ................................................................................................. 42

仿真2： ................................................................................................. 43

仿真3： ................................................................................................. 44

仿真4： ................................................................................................. 45

结论......................................................................................................... 46

4 照明系统与光轴的角度和离轴照明技术的结合使用 ........................... 46

仿真1： ................................................................................................. 47

仿真2： ................................................................................................. 47

仿真3： ................................................................................................. 48

仿真4： ................................................................................................. 49

仿真5： ................................................................................................. 49

结论：..................................................................................................... 50

5 光刻胶的厚度、光照强度和曝光剂量 ................................................... 50

仿真1 ..................................................................................................... 50

仿真2 ..................................................................................................... 51

仿真3 ..................................................................................................... 52

仿真4 ..................................................................................................... 52

仿真5 ..................................................................................................... 53

仿真6 ..................................................................................................... 54

仿真7 ..................................................................................................... 54

仿真8 ..................................................................................................... 55

仿真9 ..................................................................................................... 56

仿真10 ................................................................................................... 56

结论......................................................................................................... 57

6 耀斑数 ....................................................................................................... 57

仿真1 ..................................................................................................... 58

仿真2 ..................................................................................................... 58

仿真3 ..................................................................................................... 59

结论......................................................................................................... 60

7 损伤因子 ................................................................................................... 60

仿真1 ..................................................................................................... 60

仿真2 ..................................................................................................... 61

仿真3 ..................................................................................................... 63

结论......................................................................................................... 64

8反射的次数和POWER MIN ....................................................................... 64

仿真1 ..................................................................................................... 64