第五章 太赫兹成像
太赫兹辐射作为一种光源和其他辐射如可见光、X射线、近/中/远红外、超声
波等一样，可以作为物体成像的信号源。而且现在，太赫兹成像技术已经成为了X
射线成像、毫米波成像、超声成像等成像技术的有力补充。太赫兹成像技术分类有
很多种，从大体上它可分为相干成像技术和非相干成像技术；而从成像系统对样品
成像的方式又可分为透射式成像和反射式成像。在本章我们重点介绍一下太赫兹相
干成像技术如：太赫兹时域光谱成像、太赫兹电光取样成像、太赫兹层析成像以及
太赫兹近场成像等。而对非相干成像技术如太赫兹连续波成像只做原理性的介绍。
5.1 太赫兹成像系统
由于太赫兹辐射的独特性质，以及太赫兹成像系统能够在合理的时间内对物体
成像，所以太赫兹成像技术在近几年间引起了世界范围内的广大相关科技工作者的
极大关注与兴趣。另外，太赫兹成像技术已经初步覆盖了广泛的应用领域，这其中
包括：生物医学诊断、包装食品中所含水分的监测和封装集成电路的缺陷检测等
等。
图 5-1 用作透射成像的太赫兹时域光谱仪结构示意图 太赫兹成像的基本原理是：利用成像系统将所记录下来的样品的透射谱或反射
谱信息（包括振幅和相位的二维信息）进行分析和处理，最后得到样品的太赫兹图像。太赫兹成像系统的基本结构与太赫兹时域光谱相比，多了图像处理装置和扫描
控制装置。利用反射扫描或透射扫描都可以对物体成像，选取那种成像方式主要取
决于样品及成像系统的性质，根据不同的需要，可使用不同的成像方式。如图 5-1
所示，它是一套典型的基于太赫兹时域光谱仪的太赫兹透射成像系统。这套系统是
由飞秒激光器、光学延迟台（由计算机控制）、光学选通（optically gated）太赫兹
发射极（transmitter）、太赫兹准直和聚焦系统、用于成像的样品、光学选通探测器
（receiver）、电流前置放大器和同样由计算控制的数字信号处理器（DSP）等组
成。其中， 要求被测样品放在透镜的焦平面上，以便于实现对其二维成像。
5.1.1 飞秒激光源
在绝大多数的太赫兹成像系统中，所用的光源大都是800nm的近红外锁模钛
蓝宝石激光器。这种激光器之所以使用地如此广泛主要是因为从它的激光参数（脉
宽、波长和输出功率）来看，这种激光器是驱动（drive）以砷化镓（GaAs）和辐
射损伤蓝宝石上硅（RD-SOS）材料为衬底的太赫兹发射极和探测器的理想之选。
另外，它的脉冲重复率和脉冲稳定性都很好，并且操作起来也相对比较容易。而且
世上首套商用的THz-TDS系统的光源就是锁模钛蓝宝石激光器。
尽管锁模钛蓝宝石激光器有如此之多的成功应用，但由于它的噪声性能以及抗
震性能等方面还有欠缺，有待改进，而且如果要设计制造便携式的太赫兹成像系
统，就得需要有那种抗震性能更好的飞秒激光器。所以还需寻求一种更理想的飞秒
光源，而锁模光纤激光器（波长在1550nm附近）则是目前最为理想替代之选。这
种激光器所发的激光脉冲完全是在一根光纤中传输的，而且它已经实现了商业化。
另外，大量的工作业已开始研究适合这种激光器所能驱动的太赫兹发射和接收天
线。如果成功的话，到那时就无需使用GaAs了，这是因为光纤激光器所发出的激
光光子能量低于GaAs材料的能带隙。而且现已发现了许多适合光纤激光器的候选
材料如：砷化镓(GaAs)的三元和四元合金、砷化铟（InAs）、和离子注入的锗。
5.1.2 光学延迟系统 THz-TDS系统要求两束光（泵浦光和探测光）之间的时间延迟能够改变，由
此来改变取样脉冲与太赫兹波形的交叉点（取样点），从而对波形的这一点进行取
样。这种通过改变其中一束光的光程而达到改变两束光的相对延迟的方法在几乎所有的实际实验中都有所应用。由于探测光路较之于泵浦光路对光线的准直更灵敏些
而且，尽管对于不同结构的天线，泵浦光路的灵敏度会有所差异，但总的来说还是
探测光路对准直度的要求要比泵浦光路的要高，所以延迟系统通常都是安置在泵浦
光路中的。典型的光学延迟系统通常是将一对反射镜加装在一个机械扫描台（平移
台）来实现的。
平移台的移动速度决定着整个装置对数据获取速率。在许多的成像实验中，为
了提高波形获取率，都希望延迟系统的扫描速度能够尽可能得快。要做到这一点现
在还存有许多困难，其中之一就是，还没有什么延迟系统能够在频率高于几十赫兹
的情况下保持有足够的延迟窗口，同时速度又高于几十赫兹。例如，要获取100ps
的延迟窗口，那么反射镜组必须能以1.5cm的振幅振动，也就是说在理想状况下，
在这个时间窗口范围内，反射镜组的位移变化应尽可能随时间呈线性变化。
5.1.3 信号获取
获取太赫兹波形传统的方法是利用光导取样技术。这里的泵浦脉冲在被延迟之
后又被相应的探测脉冲所扫描，最后测得的在探测器中所产生的平均光电流是关于
时间延迟的函数。而最终获得的信号是取样脉冲的时域波形和太赫兹波形的卷积。
在实际的实验当中，为了消除大多数的外部噪声，则会使用一个锁相放大器来获取
信号。而且，探测脉冲（或太赫兹脉冲）会被一个斩波器所调制。由于锁相放大器
的时间常数在几十到几百毫秒之间，所以延迟台的扫描速度非常慢，对一个数据点
进行采样就得需要上百毫秒甚至更多的时间。如果以这种扫描速度，要获得一个1024点的太赫兹波形得需要几分钟的时间。
图 5-2 利用光学延迟线（a）和锁相放大器（b）所测得的波形
，这时它的信噪可达到1000甚至更高，而这对于大多的
够了。
5.1.4
不切实际的。也是由于这个原因，每种成像模式会对应有各自的数据处理
5.2 太
已经面世了。接下来我们就介绍一下太赫兹成像，展示一下它们那神奇的魅
5.2.1如图5-2所示，分别用了ODL和锁相放大器两种方法来获取信号波形。（a）
波形是通过ODL的平均多次扫描所得到的太赫兹波形；（b）波形为用锁相放大器
对同一波形所测得的结果。其中，所测得的这两个波形的信号级是几乎相等的。如
果要对物体进行成像，这时需对整个波形进行测量，而且还要对其进行逐个像素的
分析，这就要求必须大大缩短数据的获取时间。为实现这一目标，可使用扫描光学
延迟线（ODL）。利用ODL所提供的同步信号作为周期性的触发信号，就能直接
探测到所要测量的光电流（是延迟时间的函数）。在大多情况下，天线是被直接接
到一个电流电压前置放大器上，所以用示波器就可以观察到电压波形，或是将它转
化为数字化信号。这样就省去了用锁相放大器来滤噪的过程，而且在某种程度上还
降低了信噪比（SNR），但这样做能够获取更快的数据采集速度。如果用ODL进行
单次扫描来测得信号波形
成像应用已经足
数据处理
太赫兹成像应用中的最关键步骤就是处理图像中每个像素的波形。实验所得
的每个波形都含有大量的信息，而后根据这些信息，再用某一特定的色彩来对应标
识每个像素。由于所研究的样品及其特性各有不同，所以只是发展某一种信号处理
的算法是
方法。
赫兹时域光谱成像
太赫兹成像系统是理想的检测系统，它有许多优点。例如THz-TDS成像系统
就可以做到小型、高效，并且价格还相对便宜等。与众多的远红外成像系统所不同
的是，它不需要使用低温系统。另外，由于太赫兹的脉宽只有亚皮秒的量级，再加
上其相敏探测的特性，两者结合能够产生出许多独特的成像模式。正是由于这些优
势，大大促进了T-ray成像系统的发展。早在2000年，第一套商用化的太赫兹成
像系统
力。
振幅和位相成像 如果要对物体进行成像，可以将物体放置在THz-TDS成像系统（见图 5-1），
的中间焦点上，测量透过物体的太赫兹波。当太赫兹脉冲透过物体时，我们就能测
出其波形来。通过平移物体，而后测量透过物体每处的太赫兹波形，就可以逐个像
素的构建出这个物体的太赫兹图像，由此所得到的太赫兹图像可以提供所测波形的
振幅信息，也可以是相位信息，或是两者都有。因此对于给定物体的成像，可以采
用多种不同的方法来实现，而且每种方法还可以揭示出样品的各种不同的特性。
图 5-3 对2cm2大小的装有谷物的小盒子所成的太赫兹透射图像
兹波透明的包装材料，例如硬纸板、塑料制品、较薄的干木材等等，
效果太赫兹成像系统的潜在应用十分广泛，其中最具前景的是对封装物品的质量检
测。如图 5-3所示，它是对一个装有谷物的小盒所成的太赫兹透射图像。其中，这
个小盒重有1-3/8 盎司，大小约为2平方厘米，而做盒子的材料是硬纸板，它对太
赫兹辐射几乎是透明的。在太赫兹图像中黑色部分代表葡萄干，这是因为它们的含
水量很高，所以与周围的材料相比能显示出很高的对比度来。在这幅图中，样品的
厚度大约为5cm，略大于太赫兹光束的共焦焦斑（约为1cm），因此这些葡萄干
（没有放置在太赫兹光束的焦点之上）在图像中显得比它们的实际尺寸要大。不过
这个问题不足以限制太赫兹成像技术的发展应用，这是因为从理论上讲， 太赫兹
成像系统可以选用各种光路。这种成像技术很适合来检测被密封包装的物品，特别
是那些对太赫
更好。
如图5-4所示，这是太赫兹成像技术在质量监控方面应用的又一实例，它是对
汽车挡泥板的一部分所成的太赫兹图像。这种挡泥板是由两块平行的黑色塑料板做成的，而且它们中间填充有橡胶海绵。在制作过程中，先将橡胶海绵泡沫喷溅到两
块塑料板之间，等到泡沫干了之后，它们也就粘合在一块了。但是，有时候在泡沫
中会出现气泡或空洞，而且有时它们的直径能达到一英寸甚至更大。探测这些空洞
是质量监控所面临的重大问题，目前还没有简单的探测方法存在。即使用X射线
进行透射成像，也不能在塑料－橡胶海绵和空气之间提供很高的对比度；但是用X
射线检测存在着健康和安全的问题。而超声波检测只有在使用折射率匹配的液体情
况下才非常有效，另外的一些探测技术如磁共振成像技术价格既昂贵而且又笨重。
利用微波成像是一个不错的选择，但是当空洞的直径小于微波波长时，利用它是很
难能够探测到这些空洞的。由此，太赫兹成像技术显示除了它那独特的魅力来了，
他可以方便、快速的发现它们。
图 5-4 部分汽车挡泥板的太赫兹透射图像
固态塑料制品
和其由于橡胶海绵之间充满了很多很小的气眼，这些气眼能够对0.5mm的波长产
生有效的散射。前后表面都是固态的塑料板，它们对太赫兹辐射几乎是透明的。正
是由于这些，太赫兹成像技术能够有效的发现样品中的空洞。如图5-4所示，很明
显有个空洞（直径1.5cm）位于太赫兹图像之中。太赫兹成像技术对
他绝缘的复合材料中的空洞或一些形态变化的检测极其有效。
上文中的两个例子，都是利用利用太赫兹脉冲穿过物体的透射振幅来成像
的。而THz-TDS成像系统能够综合利用振幅和相位信息，因此它是一款用于质量
监控很棒的工具。如图5-5所示，它们是对巧克力棒所成的太赫兹图像。其中
（a）图的灰度级是由太赫兹脉冲在每个像素点的峰峰振幅来决定的（图5-3、5-4