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全固态激光器产业发展的趋势

激光器与技术

其主要

特点体现

在如下几个

方面:

(1)LD

价格正在大幅度下

降1

980

前L

D

价格昂

贵高达10万美元/W

随着

技术的不

断进

步LD

的价格逐

年以60%

率下

降目

前已降至10

美元/W

但价格

仍然偏高

未来还

有下

降的

余地预

计205

将降至1

美元/W

(

2)各类DPL

利即

将过

期国际上

多激光

公司

掌握多

种关键技术知

识产权

或少地

控制着DPL

产品的开发和

销售随

时间的推移各种专利逐

渐过

期对发展

应用DPL

制约因

素将逐

渐减少D

PL

将得到

快速发展进一步

推动应用

市场的扩

(3)

大能量

高功

率器件正走向

实用

化用于工业

能源

科研和

军事等领域的连

续准连

续和脉

冲DPL

研究是当前重要

方向

之一国际上包括美国

德国

日本和

俄罗

等在

内的许多国

家正在开展此

类器

件的

化研

(4)各类

应用产业正在起步

以D

PL

重要组

成部分的高

技术产业

受到DP

L

发展

推动正在得到

发展

例如国外

已经用红

绿

蓝三原色DP

L

开发出激光

大屏

幕显示样机;

研制出实用化的355

nm

DP

L

用于

高密

度光

盘的写人;

制出

紫外光源用于激光微加工

和三维

成型

等但尚未形成生

产规模

对DPL

产业化

前期的

特点和发展趋

世界上发达国

家正在

加紧DPL

件技

术工

艺和

应用的

研究开

发为迎

接DPL

化的高潮做准

2D

PL

产业的研发热点

DPL

的应用前景十分

光明在推动

传统

激光器更新换

代的同时也不断地开

拓出新

的应用产业生长

点下面

叙述目

前DPL

产业的研发

热点

21

功率的DPL

献报道的国

外LDA

泵浦的Nd:YA

G

激光器

在10

64nm

续输出达33kw

532nm

连续

输出达sl3w

基模运

转可达

20OW以上

据按比

例放

大原

则其输出功

率可

超过5kw

达到万瓦量级并有可能成

激光核聚变

的驱

动器

能源

日本已完成利

用大功

率DP

L

建立

高阳

激光核聚变发电

的可行性研究工

作认为

从原

理上

已经没有

障碍

仅仅有待于

技术上的

改进和

降低成

本另外

高功

率二

倍频DPL

可以取

代Ar

激光器和

铜蒸汽

激光器进行同

位素分离该

激光器体积小易制作

在制造业上德国美国等发达国家已

将Zkw和

26kw

大功率DPL

应用

于汽车

部件的焊

接它比同功

率的CO:

激光焊

接机

体积小

速度快在微电子领域

单模Nd:

YAGDPL

已广泛用于

激光

微调机

高功

率的DPL

科学研究

中也有很多

用户如

作为锁

模掺钦蓝宝

石激光器的泵浦

源已基

本取

代Ar

激光器

22

事应用目

的的DPL

事应用一

直是

激光行业的重要用

户激光武器

具有能量集中传输速度快作

用距

离远

命中精度高转移火力快抗电

干扰能多次重

复使用和

作战效

费比高

等优

点是

完全不同

于导弹火炮等火器的新概

武器激光武器通过近

距离毁

伤壳体制

系统燃料箱天

线整流

罩远距

离使光

感系

统致盲拦截人

侵的飞

机和

精确制

导炸弹炮

弹导

弹等有可

能成为军事防御

进攻的

重要

手段在

保卫

指挥中心机

舰艇

等重要目标

方面发挥重要

作用

时大功

率激光器在远

距离测距定位瞄准

地形地貌测量

等领域也有重要应用

D

PL

有的

高效稳

定长寿

命体积小

光机电信息12/

201

OM

EI

NF

ORMA

TION

No12

20()l.

光器与技术叫

等优点使它将成为一

种很

有发展潜力的

高争其关键技术就是

大功

率的三

基色DPL

能激光武器DPL

正在被

越来越广泛地用于了显示领

域外三

基色DPL

本身还有

众多的

激光制导激光跟踪定位瞄准地形

地貌测

市场例如取

代Ar

离子Kr

离子和He-

远距离测

距地面重点目

标防护

激光致Cd

激光

器每年也

将有上

亿美元的

市场

盲水下

成像海

底探潜精密测量目

标摧毁目

前三

基色DPL

研究成果中有

代表性

等军事领域的包括:

德国Kalser

slautem

大学用

锁模Nd:

前美国

俄罗斯

德国

等发达国

家已Yv04

DPL

做泵浦源经KTA

LBOBBO

等非

经或正

在把大功率DPL

系统用于地

基和天

线性晶体

变频产生7IW红

光6gW

绿光

基激光武器系

统中5

OW蓝

光;

美国Q一Peak公司用调

QNd:

23

大功率三

基色DPLYLF

DPL

倍频

做泵浦源采用

参量振

荡和

经过倍频混

频和参量振荡等技术DPL

技术获得6W红

光5SW绿

光和4W蓝

在红(如波

为670nl66Onl)

绿(

如波长为

光;

美国

新罕布尔州激光光学

研究公司

采用

532nm

)

蓝(

如波长为47

3nm

457nm

)等

基调QNd

:YAe

倍频泵浦

掺钦蓝宝石经BBo

色波段

均已

获得功率瓦

级以上

激光输

出可晶

体腔

内倍频产生7W

平均功率的蓝光

广

泛用于显示

科研

疗等领域激光彩

色划用于

声光调

制投影显

大屏

幕显示即为

热点之一24

紫外与深紫

外波段的DP

L

按显示业

发展的

趋势阴极

摄线管DPL

经过三

倍频

四倍频后

已经获

得功

(CRT)

显示

已经

是成熟产业

的后

期平均

年率数瓦

的紫外激光DPL

向紫

外深

紫外波

增长约为63%

20

2

年年产值

将达到300

发展将为微电

子微机

械的光刻激

光清洗

亿美

元本世纪

是平板显示(FPD)

代其年

激光

加工和

激光三

维成型

提供关键的激光

增长

率已

经达到162%

20

2

年可

与CRT

例如第三

代光盘高密

度写

人必须使用

值相当约295亿美元/

年目

前已经

有很

紫外DPL

才可

以达到10OGB

超大容量

种平板大屏

幕显示

技术问

世。

激光彩

色大现下一

代高清晰

电视记录和

宽带信息网

络传

幕显示

与前两

种彩色显示

技术

相比其显

输记录

的目

示性

能最

佳由于

采用红

绿蓝三

基色激光另一

个突出的

例子

是193nm

光刻这是

做显示

光源在色

度三

角形中所包含的面积

当前微电子发

展的

前沿

技术可

以刻出

比以荧

光粉发

光和

液晶为

基础的

其他显示技180nm

甚至更细的线宽虽然准分子激

光器

术所

包含的面

积大23倍

相当于色彩

丰富已经

能够提供20W1

93nm

的平均功

率输出

233

倍更加接近

自然

色但目

前仍

然需要一

种全固态

单横模窄线宽

从显示

效果上

看激光彩色大屏

幕显示to01pm

)

的调整光

路用的

光源

实现这一目

其他显示

技术相比

具有色彩亮丽

分辨率标最

简单的

方法

是使用KBBF

体产生Ti

:

高对比度

高和

投影显示屏

幕大小不限

等优SaPpire

激光的

四倍频(输出

波长

为Zoonm-

势据相

关行业权威人士预测2005

激光185nm

)

假如这一研究

获得

成功

将给紫外

彩色大屏

幕显示

将作为大屏

幕显示201

0

年光刻技术带来

重大进展

后可

进人

家庭其市场将是数百

亿美元/

当前国际上

紫外DPL

在商品

化的器

年因

此目

前国际上已

经展开了

激烈的竞件有准连

续三

频(355nm

)IW

一Zw

平均功

.光机电信息12

/2001

OM

EI

NF

ORMATI

ONNo122

001

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