真空泵维护保养规程
1 总则
通过对真空泵正确地日常维护，周期保养和维修，确保设备正常、安全、可靠、经济运
行，保证工艺要求、生产出合格产品。

2 各类泵的技术性能
2.1 机械增压泵──罗茨泵
2.2 滑阀泵
2.3 复合分子泵
3 结构简述
3.1 ZJP型罗茨泵
该型泵是一种容积式真空泵，带溢流阀，它是利用一对8 子形转子在泵壳中保持一定的
间隙作等速反向旋转而产生吸气和排气作用的，且进排气口连通，在通道上垂直地装置着一
个自重阀，其作用是当排气口和进气口的压力差和阀的有效作用面积的乘积超过阀头的自重
时，阀头就会自动顶开阀座，使排气口和进气口的压力差始终保持在一个可控制的数值内。

两个转子被支承在泵壳侧面端盖的滚动轴承中，依靠一对可调的同步齿轮使二个转子在高速
旋转时始终保持着一定的相互位置，而转子与端盖之间的端面间隙是靠固定端轴承座下面的
可调金属垫片来保证，使泵在工作时因受热而转子只能向一面膨胀。

端盖内的四组内轴封是为了防止两侧润滑油进入泵壳，出轴处油封是为了防止气体漏入泵体内。

该型泵采用卧式结构，采用联轴器与电机直联，动力由联轴器传给主动轴，再通过同步齿轮传动从动轴。

3.2 滑阀泵
该型泵主要由泵体、滑阀、滑阀导轨、偏心轮、带轮等零件组成。

上部设有六组圆盘形排气
阀。

排气阀主要由弹簧和被弹簧压紧的阀片等零件组成。

当泵内气体和油，从排气阀排出时，经过化雾器，然后由方油箱内的油气分离器进行油气分离，气体排至大气，油经过滤油口过滤，然后通过压差由固定隔板、滑阀隔板的油孔输送至偏心轮，滑阀、泵腔等活动部分，随着泵
的运转，被压缩的气体和油又由排气阀排出，因此本型泵的润滑均是自动进行。

泵的转动部分及进气的结合面采用橡胶密封，泵体与泵盖纸垫用描图纸或青壳纸。

3.3 复合分子泵
复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵
4 运行中的注意事项
4.1 运行中必须严格按照各类泵的技术规格使用，泵不允许长时间超过允许最高入口压力情
况下工作。

4.2 注意电动机负荷和泵的各部位温升情况。

在正常情况下，泵的最高温升不得超过40℃，最高温度不得超过80℃。

4.3 运转中不应有不规则的异常振动。

4.4 如发现在运转中有电机过载，温升过高，声音异常，振动大等情况应立即停机检查原因，
排除故障。

5 维护保养
5.1 定期检查
5.1.1 每日检查
a 油位检查：机械泵油位由运行工每班巡检，维修工每日巡视一次，复合分子泵油位由维修工每日巡视一次。

b 温度检查：运行工每班手感检查。

c 电动机负荷检查：运行工每班检查。

d 保持泵房及泵的清洁、干燥。

5.1.2 每月检查
a 联轴器及垫片是否损坏和松动，皮带的松紧地脚螺丝是否松动。

b 复合分子泵法兰连接口螺丝是否松动，水冷却流量是否正常。

5.1.3 每三个月检查
a 润滑油是否变质或结碳，放清泵内原油，清洗泵体、清除污垢更换新油。

b 清洗滑阀泵滤油器中的铜丝网，确保油泵供油正常。

c 复合分子泵油质。

5.1.4 每六个月检查：油封、密封件是否损坏。

5.1.5 每一年检查
a 罗次泵轴承是否磨损
b 罗茨泵活塞环及活塞环衬套是否磨损。

c 罗茨泵齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响，是否需要调整。

d 滑阀泵的阀片。

e 复合分子泵滤网清洗，更换新润滑油；罗茨泵、滑阀泵清洗。

f 检查冷却水路是否畅通。

5.1.6 新泵工作150小时后换油一次，以后油一般3～6个月换一次。

5.2 拆装
5.2.1 罗次泵进行拆卸和重新装配时，须根据以下注意事项进行：
a 未拆卸前，先测量并记录转子各部分间隙。

b 尽量避免用重锤敲打，拆下的零件不得碰伤，要妥善保管好。

c 将需要更换的零部件的更换原因及使用情况详细记录下来。

d 重新装配前须把各零部件清洁干净，毛刺修光。

e 无密封垫衬或密封圈的静密封面用汉高乐泰“515”（510）厌氧密封胶涂抹，用于静密封的橡胶密封件需涂上真空考克脂，溢流阀上的密封圈及平面上不得涂任何油脂。

f 根据间隙一览表调整转子各部分间隙。

位置电机端转子与端面主动轮与从动轮齿轮端转子与端面转子与腔体间隙（mm）0.15～0.2 0.18～0.25 0.10～0.15 0.18～0.2
g 全部装好后须进行检漏。

h 重装后须进行试运转和必要的性能测试，等正常后才能安装使用。

j 泵在重新安装时须校准水平。

k 装配前必须注意螺旋套方向，主动轴上靠近电机一侧为左旋，齿轮箱一侧为右旋，从动轴上则相反。

5.2.2 滑阀泵
5.2.2.1 拆卸顺序(应先放水及油)：
a 防护罩
b 泵三角皮带轮。

c 轴承盖及密封装置。

d 甲、乙泵盖(连轴承一并拆卸)。

e 滑阀及滑阀导轨组件。

f 偏心轮、平键及轴。

5.2.2.2 排气阀拆卸程序
a 方油箱组件
b 罩式化雾器
c 弹簧及主阀体
d 导管
e 排气阀片
装配时则次序相反。

5.2.2.3 注意事项
a 不能直接用榔头敲打加工面（密封面）。

b 装入时要仔细清洗零件。

c 注意密封面不能漏气及漏油。

5.2.3 复合分子泵
5.2.3.1复合分子泵清洁步骤
a 关断电源并切断电源插头。

b 关断水管并卸下冷却水管。

c 拆下入口法兰和前级连结螺丝。

d 清理泵口防护网罩内杂物，严禁有异物从泵口掉入。

e 疏通并清除冷却水管内的水垢，保持冷却水流量充作。

f 拆下泵底储油杯，倒出陈油，清洗油杯更换新油，检查油杯口密封圈良好后安装上油杯，确保密封口不能漏油漏气。

6 故障原因及其消除方法
6.1 罗茨泵
故障现象原因分析处理方法油杯油量消耗快联轴器轴端油封坏更换骨架密封
泵震动大、噪音大轴承坏更换轴承
泵抽速下降漏检漏，找出漏点后处理溢流阀坏或各间隙增大更换溢流阀或调整间隙
泵体温度高前级漏或油位高检查并处理
6.2 滑阀泵
故障现象原因分析处理方法滑阀咬死泵内进入异物或积碳检查并处理
泵抽气能力下降漏检漏并处理排气阀坏检查并更换油质差换油
泵磨损严重各组件间间隙大换泵
油量消耗大油气分离挡油帽坏更换处理
轴端油封损坏漏油更换轴端骨架密封
6.3 复合分子泵
故障现象原因分析处理方法
OC过电流前级真空差，加速时间过快延长加速时间
输出短路检查电缆或电机是否短路泵卡死或超载检查并更换
OU过电压输入电压不正常检查并处理减速过快延长减速时间
OL变频器过载加速时间过快延长加速时间泵负荷大检查并更换
冷却水冷却不正常检查并疏通管道
EF外部端子闭合外部控制继电器动作按“复位”或关断电源重启。