三、LED外延片的制作
2、MOCVD设备工作原理
反应通气装置 反应腔
载流气体
金属有机反应源
阻断装置
压力控制 一、LED芯片制造设备
真空泵
2、MOCVD设备工作原理说明
MOCVD成长外延片过程 载流气体通过金属有机反应源的容器时， 将反应源的饱和蒸气带至反应腔中与其 它反应气体混合，然后在被加热的基板 上面发生化学反应促成薄膜的成长。 因 此是一种镀膜技术，是镀膜过程。
一、LED芯片制造设备
二、LED芯片衬底材料的选用

LED芯片首要考虑的问题：衬底材料的选用。 选择衬底依据：根据设备和LED器件的要求进 行选择。

二、LED芯片衬底材料的选用
三种衬底材料

目前市面上一般有三种材料可作为衬底 蓝宝石（Al2O3） 硅 (Si) 碳化硅（SiC） 除了以上三种常用的衬底材料之外，还有 GaAs、AlN、ZnO等材料。 下面分别介绍三种材料的特点
1、蓝宝石作为衬底存的一些问题

（3）成本增加：



通常只能在外延层上表面制作n型和p型电极。在上表 面制作两个电极，造成了有效发光面积减少，同时增 加了器件制造中的光刻和刻蚀工艺过程，结果使材料 利用率降低。 GaN基材料的化学性能稳定、机械强度较高，不容 易对其进行刻蚀，因此在刻蚀过程中需要较好的设备。 蓝宝石的硬度非常高，在自然材料中其硬度仅次于金 刚石，但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行 减薄和切割（从400nm减到100nm左右）。
三、LED外延片的制作
MOCVD参数实例
该设备承担并完成国家“863”、国防 “973”计划项目和江苏省自然科学基金等多 项研究任务。首次用MOCVD方法在LiAlO2衬 底上实现非极化GaN/InGaN量子阱生长和 LED器件制备，成果达到同期国际水平；研制 的新型半导体InN材料其相关技术达到国际先 进水平；制备高质量的用于紫外探测器结构材 料性能指标达到国际先水平。
三、LED外延片的制作
国产MOCVD设备

中国电子科技集团公司第四十八研究所

上游产业
一、LED芯片制造设备
2、国产MOCVD设备指标

产品描述：GaN-MOCVD设备是集精密机械、 电子、物理、光学、计算机多学科为一体，是 一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高 的尖端电子专用设备，用于GaN系半导体材料 的外延生长和蓝色、绿色或紫色LED芯片的制 造，是国家半导体照明（白光LED）工程实施 中最为关键的芯片制造设备，也是光电子行业 最有发展前景的专用设备。


LED芯片制造工艺分三大部分 外延片——按1.1节的LED芯片的结构：选衬底， MOCVD在衬底上制作外延层（也叫镀膜），n区， 发光区，p区，透明导电层。 电极——对LED外延片做电极（P极，N极） 。 芯片——用激光机切割LED外延片成。
内容

一、LED芯片制造设备 二、LED芯片衬底材料的选用 三、LED外延片的制作 四、LED对外延片的技术要求 五、LED芯片电极P极和N极的制作 六、LED外延片的切割成芯片
1、LED芯片制造用设备


外延片的制备： MOCVD：是制作LED芯片的最重要技术。 MOCVD外延炉：是制造LED最重要的设备。一台 外延炉要100多万美元，投资最大的环节。 电极制作设备：光刻机、刻蚀机、离子注入机等。 衬底加工设备：减薄机、划片机、检测设备等。
一、LED芯片制造设备
三、LED外延片的制作
MOCVD参数实例




设备参数和配置： 外延片3×2 英寸/炉 反应腔温度控制：1200℃ 压力控制：0～800Torr（1 Torr≈133.32Pa ） 激光干涉在位生长监测系统 反应气体：氨气，硅烷（纯度： 6N=99.9999% ） 载气：氢气，氮气；（纯度：6N） MOCVD源：三甲基镓(TMGa)，三甲基铟 (TMIn), 三甲基铝(TMAl)，二茂基镁(Cp2Mg)
三、LED外延片的制作
MOCVD方法



反应气体在衬底的吸附 表面扩散 化学反应 固态生成物的成核和生长 气态生成物的脱附过程等 注意：反应速率最慢的过程是控制反应速率的 步骤，也是决定沉积膜组织形态与各种性质的 关键。
三、LED外延片的制作
MOCVD反应系统结构


进料区 反应室 废气处理系统
1.2 LED芯片制造的工艺流程
LED芯片制造的工艺流程 属LED上游产业 靠设备
引言


LED是二极管，是半导体。 本节讨论的LED的制造=LED的芯片制造。 LED的制造工艺和其它半导体器件的制造工艺 有很多相同之处。 除个别设备外，多数半导体设备经过改进可以 用于LED的制造。
引言
二、LED芯片衬底材料的选用
1、蓝宝石衬底

蓝宝石衬底的优点： 生产技术成熟、器件质量好； 稳定性很好，能够运用在高温生长过程； 机械强度高，易于处理和清洗。
二、LED芯片衬底材料的选用
1、蓝宝石衬底

蓝宝石衬底应用 GaN基材料和器件的外延层。 对应LED：蓝光（材料决定波长）
二、LED芯片衬底材料的选用
6、清洗机
一、LED芯片制造设备
7、划片机
一、LED芯片制造设备
7、划片机
同一功能有不同型号设备选择
一、LED芯片制造设备
8、芯片分选机
一、LED芯片制造设备
9、LED芯片的制造



从以上的的仪器设备可以看出，LED芯片的制 造依靠大量的设备，而且有些设备价格昂贵。 LED芯片质量依赖于这些设备和操作这些设备 的人员。 设备本身的制造也是LED生产的上游产业，一 定程度上反映国家的光电子的发展水平。
1、蓝宝石作为衬底的LED芯片
芯片也叫晶粒
题


（1）晶格失配和热应力失配，这会在外延层 中产生大量缺陷，同时给后续的器件加工工艺 造成困难。 （2）无法制作垂直结构的器件，因为蓝宝石 是一种绝缘体，常温下的电阻率大于 1011Ω·cm。
二、LED芯片衬底材料的选用
一、LED芯片制造设备
MOCVD方法

影响蒸镀层的生长速率和性质的因素：

温度 压力 反应物种类 反应物浓度 反应时间 衬底种类 衬底表面性质等

参数由MOCVD软件计算，自动控制完成，同 时要实验修正摸索。
三、LED外延片的制作
MOCVD方法

外延片生长中不可忽视的微观动力学问题 反应物扩散到衬底表面 衬底表面的化学反应 固态生长物的沉积 气态产物的扩散脱离
三、LED外延片的制作
四、LED对外延片的技术要求

1、外延材料具有适合的禁带宽度 2、外延材料的发光复合几率大 3、 p型n型两种外延材料的电导率要高 4、外延层的完整性
四、LED对外延片的技术要求
1、外延材料具有适合的禁带宽度


禁带宽度决定发射波长： λ=1240/Eg λ——LED的峰值发射波长（nm） Eg——外延材料的禁带宽度（eV） Eg由材料性质决定，可以通过调节外延材料 的组分调整Eg。
三、LED外延片的制作
MOCVD反应系统的技术要求



提供洁静的环境。 反应物抵达衬底之前应充分混合，以确保外延 层的成分均匀。 反应物气流需在衬底的上方保持稳定的流动， 以确保外延层厚度均匀。 反应物提供系统应切换迅速，以长出上下层接 口分明的多层结构。
三、LED外延片的制作
MOCVD参数实例
南京大学省光电信息功能材料重点实验室使用
三、LED外延片的制作
MOCVD参数实例
系统简介 本系统为英国Thomas Swan公司制造，具 有世界先进水平的商用金属有机源气相外延 (MOCVD)材料生长系统，可用于制备以GaN 为代表的第三代半导体材料。在高亮度的蓝光 发光二极管(LED)、激光器(LD)、日盲紫外光 电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电 子器件领域中具有广泛的应用。
2、MOCVD设备

MOCVD——金属有机物化学气相淀积（MetalOrganic Chemical Vapor Deposition）
一、LED芯片制造设备
3、光刻机
一、LED芯片制造设备
3、光刻机
一、LED芯片制造设备
4、刻蚀机
一、LED芯片制造设备
5、离子注入机
一、LED芯片制造设备
二、LED芯片衬底材料的选用
4、蓝宝石衬底与碳化硅衬底的LED芯片
二、LED芯片衬底材料的选用
4、三种衬底的性能比较
二、LED芯片衬底材料的选用
三、LED外延片的制作



外延片制作技术分类 1、液相外延：红色、绿色LED外延片。 2、气相外延：黄色、橙色LED外延片。 3、分子束外延 4、金属有机化学气相沉积外延MOCVD
设备的操作与维护及其重要
一、LED芯片制造设备

3、重要的MOCVD



MOCVD已经成为工业界主要使用的镀膜技术。 使用MOCVD这种镀膜技术制作LED的外延片， 即在衬底上镀多层膜。 外延片是LED生产的上游产业，在光电产业中 扮演重要的角色。 有些专家经常用一个国家或地区拥有MOCVD 外延炉的数量来衡量这个国家或地区的光电行 业的发展规模。
四、LED对外延片的技术要求
2、外延材料的发光复合几率大


LED的发光原理：pn结处的空穴和电子的复 合发光，同时伴有热产生，复合几率大，则发 光效率高。 InGaAlP材料，调整Ga-Al组分，改变Eg，得 到黄绿到深红的LED波长。但改变组分的同时 使得直接跃迁半导体材料变为间接跃迁，影响 发光效率。