皮拉尼真空计
皮拉尼真空计
VSP62 真空变送器 绝对压力从 1000 mbar 到 1 x 10-4 mbar (1mbar=1hPa), 750 - 1 x 10-4 Torr. VSP62 真空计基于超前专利皮拉尼测量原理,延伸其测量范围,同时保证高的分辨率。此真空计带温度补 偿,输出对数关系的电压信号 0-10V. 优点 高可靠性,卓越的重复性 结构非常紧凑,工业应用设计 宽的测量范围,高分辨率即使在抽象的真空范围 金属滤网保护灯丝,好的抵抗力针对于油和蒸汽 低功耗 减少测量腔的自热 由于金属密封的不锈钢传感器,非常适合于 UHV 应用 典型应用 分析仪器喷涂车间 冷冻干燥,冷冻法 真空炉 真空泵和真空设备 泄漏测试 过程工艺
技术参数:
测量原理 真空接触材料 测量范围
精度
热传导( Pirani 推动), 依据气体种类 不锈钢 1.4307, 镍, 钨, 玻璃 1000 - 1 x 10-4 mbar (750 - 1 x 10-4 Torr), 最大耐压 4bar 绝对压力 < 30% 读数: 1000 - 20 mbar: < 10% 读数: 20 - 2 x 10-3 mbar < factor 2: < 2 x 10-3 mbar
重复性 响应时间 供电电压 电气连接 Electrical Connection 功耗 工作温度 储藏温度 最大烘烤温度
2% 最大 200 ms 15 - 30 VDC 赫斯曼,6 针 接近 10 mA 5...+50°C -20...+70 °C 80°C 法兰处
输出信号
真空过程连接 防护等级 重量
Hale Waihona Puke 0 - 10 VDC, 测量范围 1.5 - 8.5 VDC, 对数, 1V / 十进制, 阻抗 > 10 kOh
不锈钢小法兰 DN 16 ISO-KF (VSP62MV), 附加的奶管喷嘴 9.5mm (VSP62M VSW), 不锈钢法兰 DN 16 CF (VSP62MVCF) IP40 接近. 120 g