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睿宝复合真空计说明书20101221150413
ZDF-5201 1×105-1×10 ZJ-52T ZJ-12 阳极极电压:200V 阴极电压:50V 发射电流: 4mA/400
测量范围 配接 规管 电气 参数
阳极极电压:225V 阴极电压:25V 发射 电流: 1mA/100 μA
显示方式
LED 数字显示:科学计数法(1.0E 5 帕表示 1 ×105 帕) ±5% 4 路、6 路点控或区域控制 全量程控制 两路测量 两窗口显示 0-5V 和 4-20mA(用户选配) RS232 和 RS485(用户选配) AC/50HZ 220V±10%
后自动回到测量状态。 如果想提前完成除气, 可再按下除气 键,便可提前回到测量状态
刚好显示为:“1.0E 5”或者“9.9E 4”,当高于电阻规的测量范围时,系统显示“1. E
节仪器前面板板对应的“零点”电位器,使其刚好显示为:“1.0E-1”或者“1.1E-
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一、综述
该系列复合真空计是由一路皮拉尼电阻真空计和一路热阴极电离真空计组合而成 热阴极电离规管不同,从而衍生成 ZDF-5227、ZDF-5210、ZDF-5201 三种型号。 该系列复合真空计采用了单片机系统来对测量数据进行非线性处理及误差修正
采用皮拉尼电阻规管 ZJ-52T 系列和热阴极电离规管 ZJ-27、ZJ-10 、ZJ-12 系列。
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;设置完后按 功能 自动/手动) 进入第一
路控制点的上限设置,真
空计显示 -” 按照设置 -” “1 , “1 的方法设置好 -” 再按同样的方法设置完 “1 ; “1、 3……” 2、 …”控制点的数字出现
路控制点, (具体看“1、2
在哪个窗口则由哪个窗口 )所有的控制点都设 , ★控制方式分为点控和区域控制两种。 点控:设置控制点时,将上下限两组控制值设定相等(如 1-的值为 1.0E 2 Pa 的值为 1.0E 2 Pa) 。当测试真空度高于设定值(真空度的值小于 1.0E 2 Pa) 继电器动作,对应的面板上的灯亮;当测试真空度低于设定值(真空度的值大 1.0E 2 Pa)时,继电器还原,对应的面板上的灯灭。 区域段内,使两组值不相等(注:下限的值小于上限的值,如 1-的值为 1.0E 1 Pa
-
显示的真空度控制继电器
置好后, 再按功能(自动/手动) 则保存设置并进入正常的测量状态。 以后不需要再设置
区域控制: 设置控制点时,将 1-和 1-,2-和 2-,3-和 3- ,4-和 4-……分别设置在一个
1 的值为 1.5E 1 Pa),当测试真空度高于下限设定值时(真空度的值小于 1.0E 1 Pa) ,继电器动作,对应的面板上的灯亮;当测试真空度低于上限设定值时( 度的值大于 1.5E 1 Pa) ,继电器还原,对应的面板上的灯灭。
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后面板接线说明 名称 电阻规 通讯接口 模拟输出& 外控输出 特征说明 五芯电缆 三芯电缆 三芯电缆 接线说明 插座与规管的对应关系:{1-1,2-2,3-3,4-4} RS232/RS485 1:(0-5V 输出) 2:接地 3:4-20mA 输出或外控输出 插座与规管的对应关系: {1-7,2-2,3-5,4-4} 为 ZJ-27 规管接线; 电离规 四芯电缆 {1-4,2-5,3-2} 为 ZJ-10 规管接线; {红色插针接加速极,黑色插针接灯丝} 为 ZJ-12 管接线。 (详见规管说明书) (玻璃规管)夹子接电离玻璃规的管帽; 收集极 高频头 ZJ-27 金属规接第 1 脚(规管接头引出的金属圈 ZJ-10 金属规接第 7 脚(规管接头引出的金属圈 ZJ-12 金属规接直径的中间脚。 (详见规管说明书 真空计配 4 组控制点时: (第一组接线端) J1: 1 常开 2 中心头 3 常闭 J2: 4 常开 5 中心头 6 常闭 (第二组接线端) J3: 1 常开 2 中心头 3 常闭 控制点输 出接口 两组六位 接线端 J4: 4 常开 5 中心头 6 常闭 真空计配 6 组控制点时: (第一组接线端) J1: 1 常开 2 中心头 J2: 3 常开 4 中心头 J5: 3 常开 4 中心头 电源插座 三芯插座 标准 J3: 5 常开 6 中心头 J6: 5 常开 6 中心头 (第二组接线端) J4: 1 常开 2 中心头
首先感谢您的信赖并选择了我公司的真空计产品,我公司是从事研发、生产和销售 真空测量仪器的专业制造厂家。是通过并运行 ISO9001 质量体系的企业。我们希望通过 我们的产品能为您带来更大的效益,通过我们的服务能更好地满足您的需求。请在使用 我公司产品前仔细先阅读本用户手册。 请关注您所使用的那一款真空计的各种文字条款 和图片解释,以帮助您更好地使用我公司产品。如果您在使用本公司产品时,还有什么 问题或疑虑,请及时和我们联系。再次感谢您的使用!
零点漂移
控制方式
控制范围
测量路数
显示路数
模拟输出
通讯输出
输入电源
PDF 额定功耗
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三、特点
力强,外型美观大方。 采用数字滤波和光电隔离技术,具有较高的测量精度和抗干扰能力。 四组或六组控制信号输出,并有指示灯指示。 一个独立的控制系统,可以同时测量、控制和显示两路测量信号。 采用单片机系统进行非线性补偿和误差修正,并对被测压强进行全程数字显示 动换挡,具有多种控制功能输出。 的准确度和调节方便。 前面板“查询”可实时查询控制点信息。
通道以便与 PC 通讯,如“01”、 “02” ,请不要把两路通道地址设置成一样,否则影响
出的阀值,按功能(自动/手动) 时,真空计显示“1-” ;表示设置第一路控制点的下限
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以上左右两个窗口的功能(自动/手动) 、置数(电离开关) 两个按键在设置通讯 启动方式:
地址和控制点时与功能 、置数 两个按键作用相同。
该系列真空计采用全自动工作方式,在真空计正常工作时不需要操作,两个真空
规管将自己判断启动与关闭。
当真空计为 ZDF-5227 时,电阻单元测量的真空度高于“1.0E 0”Pa 时,系统自动
板上的功能(自动/手动) 将进入相对应的功能设置菜单:
通讯地址,按功能(自动/手动) 进行选位,选中位的数码管会闪烁提示,按置数(
般初始值为“00” )此系
列的真空计需要设置两路 。 设置完后再按功能(自动/手动) 保存设置并进入下一个菜单。 以后不需要再设置 )当仪器显示“P” : 按下 功能(自动/手 进入真空计控制点输 设置菜单,设置控制输 功能(自动/手动)
豪华喷塑机箱,欧姆龙轻触开关,绿色或红色高亮 LED 显示,机箱结构合理,抗振能
前面板电阻测量部分设有“零点”和“满度”电位器能保证仪器在低真空段测量
四、机箱结构及接线方式
机箱尺寸 我公司该系列真空计设计为标准 B 型机箱尺寸:
前面板图示
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外控功能由用户自行选配,具体功能见 p8(5.6 外控功能) 。 PDF 文件使用 "pdfFactory Pro" 试用版本创建
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ZDF-5227/5210/5201 五、操作指南
接线:
按照“4.5 后面板接线说明”把后面板上的所有线连接完整,再把规管安装连接到
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前面板图示说明 序号 名称 显示窗口 功能按键 置数按键 除气按键 查询按键 手动指示灯 电离指示灯 除气指示灯 控制点指示灯 电阻指示灯 功能按键 置数按键 查询按键 电源开关 后面板图示 功能 显示真空计实时测量的真空度 a 电离部分设置功能的选位按键, b 电离规管工作状态(手动/自动转换) a 电离部分设置功能的数值加减按键(从 0 到 b 真空计手动状态时,开关电离规管 对电离规管除气 查询电离部分所设置的控制点 当真空计处于手动工作状态时,灯亮 电离规管工作时,灯亮 电离规管除气时,灯亮 对应控制点动作时,对应指示灯亮 电阻规管工作时,灯亮 电阻部分设置功能的选位按键, 电阻部分设置功能的数值加减按键(从 0 到 9) 查询电阻部分所设置的控制点 开关真空计
ZDF-5227 ZDF-5210 ZDF-5201
复合真空计 使用说明书
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尊敬的客户:
该系列后面板接线请按照图示连接。为能保证仪器的正常工作,请务必正确插接各
种电缆,仪器所配线材都为防错设计,错误接法将不能插入,请勿强力插接,避免损
接插件。
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启动电离规管工作, 电离单元测量的真空度低于“2.0E 0” Pa 时, 系统自动关闭电离
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当真空计为 ZDF-5201 时,电阻单元测量的真空度高于“1.0E-1”Pa 时,系统自动