110 ~170GHz

在厘米波段，接头标准各厂商较为一致 在毫米波段，各厂商采用的接头有差异 我国可能采用的接头为：N型、7mm、 3.5mm、2.4mm、1mm。


4 微波毫米波测试仪器中的微波 测试技术
4.1 微波毫米波信号源
一般经济型扫频发生器将退出历史舞台 （1）频率合成技术


频率合成器：已有专用集成块，且具有高 分辨率 锁相式频率合成器DDS频率合成器
（2）宽带同轴信号发生器

YIG振荡器+倍频方案

双YIG振荡器+倍频方案
（3） 毫米波信号发生器

倍频方案的相位噪声有恶化趋势
在3mm或更高频段也可直接用基波振荡器， 可提高功率输出，抑制杂波

（4） 提高信号发生器的频谱纯度

YIG跟踪滤波器 双YIG跟踪滤波器


开关滤波器
（5）调制方式

AM、FM和PM
MG3690B系列信号源
Highest Output Power :
MG3694B, 40 GHz :+17/+15 dBm
Faster Switching time :
5ms/1 GHz step
4.2 微波毫米波信号分析仪

分析仪种类（主要讨论频谱分析仪）
频谱分析仪的需Biblioteka 频谱分析仪的本振：高性能谱仪采用锁相 频率合成技术
技术性能：扩展到了毫米波；110~135dB 的动态范围； 值得注意的动向： （1）频率扩展问题 ：已达到1mm频段 （2）高速计算机技术的应用：测试和数 据处理速度大幅提高 （3）矢量网络分析仪的应用极为广泛 （4）射频矢量网络分析仪的发展特点： 够用为原则，以降低成本

Agilent 8363B 矢量网络分析仪
网络测量
时域测量、 频域测量
标量参数测量 矢量参数测量
2
国内外微波测试仪器的现状

射频和微波频段已成熟，重点转向毫米波 频段的研究
向高频率、宽频段和高性能方向发展，打 破西方的封锁

2 微波测试仪器的分类
传统的分类方法：a)信号源；b)信号 分析仪；c)噪声分析仪；d)功率计； e)频率计；f)网络分析仪 从测试技术角度来分，可分为： a) 信号分析；b) 网络分析
4.11.3 调制域分析仪的应用领域



应用： 测量数字系统中的信号抖动 用于VCO阶跃响应分析 脉冲编码数据分析 直接观测线性调频脉冲的线性度 检验蜂窝状无线电的信道切换特性 捷变频信号的分析 雷达、电子战和监视系统分析 扩频通信中的性能分析


4.5 微波毫米波频率计



测试方法（谐振腔法，计数法） 频率计数法的工作方式 发展现状（技术基本成熟） 关键技术（宽带取样变频技术） 毫米波频率计（谐波混频技术拓宽频带）
4.6 微波毫米波功率测量仪器

微波毫米波功率检测传感器：肖特基检波 二极管功率头
计算机技术用于功率测试（对温度、频率 和功率在三维空间上采用软件修正） 连续波功率计的动态范围：-70~20dBm 峰值功率计

3 微波毫米波测试用传输线和射 频连接(Radio frequency joint)

微波毫米波测试用连接器已标准化，国际 化
同轴测试仪器
波导测试仪器 波导 频率范围
同轴连接器 N型
频率范围
DC ~18GHz
WR ~42
18 ~26.5GHz
7mm
3.5mm K (2.95mm) 2.4mm V (1.85mm)


4
4.7 宽带取样示波器

特点：直观，方便 需求：高速数字通信
关键技术：高速宽带取样器技术；窄脉冲 形成电路；电荷放大器和滤波器；精密时 基和触发电路；数据采集和处理技术等
4.8 微波毫米波网络分析仪
4.8.1 微波毫米波矢量网络分析仪

历史 误差模型 校准技术（已知的标准件） 测试方式（扣除方式） 校准常用方法：12项误差校准方法；TRL 校准方法
3
多端口微波矢网
平衡传输线
ME7808B 毫米波 VNA 系统


波导解决方案 频段范围：



V-Band (50 - 75 GHz) E-Band (60 - 90 GHz) Extended E-Band (56 - 94 GHz) W-Band (75 - 110 GHz) Extended W-Band (65 - 110 GHz) Higher frequency bands (up to 325 GHz)
1 引言
1.1 微波测试技术的地位和作用

重要性：测试是认识客观事物的基本方 法；测试技术是信息技术的源头和重要 组成部分 现代微波测试技术与传统微波测试技术 的主要差别：自动测量；宽频带；用软 件技术修正误差；多参数测量

测量线系统、自动 网络分析仪、六端口 测量系统、阻抗桥
反射、传输 参数测量 元件参数测量
1 2 4 8 12 18 26 40 50 60 75 110 170 300 短波 L S C X Ku K Ka U V W 米波 厘米波 毫米波 毫米波信号传输的几个低损耗窗口： 35GHz（8mm）、94GHz(3mm)、140GHz(2mm)、220GHz(1mm）
1000
亚毫米波
无线通信

预选频混频技术：26.5GHz以下采用单 YIG, 26.5GHz以上采用双YIG。 基波混频 毫米波波导频谱仪：采用外加混频器模 块，用YIG滤波器滤掉杂波






7.1 GHz 手持便携频谱分析仪 坚固的 6.4 磅设计 优异的性能 大而亮, 阳光下可看清的 TFT 彩色显 示 通过 USB 2.0 或 LAN 容易远控
T/R组件测试系统
天线测试系统
RCS测试系统
雷达吸波材料反射系数测试系统
4.10 VXI总线测试系统

VXI总线标准 VXI总线的特点 VXI总线微波测试系统
4.11 调制域分析仪
4.11.1 概述
调制域
4.11.2 调制域分析仪


调制域分析仪：上世纪九十年代推出的用 于测量频率与时间关系的仪器 典型仪器：安捷伦5371A，53310，5372A， 5373A等
DC ~18GHz
DC ~26.5GHz DC ~40GHz DC ~50GHz DC ~60GHz
WR ~28
WR ~22 WR ~19 WR ~15 WR ~10
26.5 ~40GHz
33 ~50GHz 40 ~60GHz 50 ~75GHz 75 ~110GHz
1.0mm
DC ~110GHz
WR ~ 6
5
4.3 微波毫米波相位噪声分析仪


微波毫米波相位噪声的两种测试方法： (a)直接频谱分析法 (b)先解调（下混频），后分析法 相位噪声测试仪的关键技术： (a)频率变换技术 (b)相位解调技术 (c)相位噪声特性曲线的测试技术
4.4 微波毫米波噪声系数测试仪

噪声系数定义
噪声系数测试仪的用途 噪声系数测试仪现状
同轴校准参考面
4.8.2 标量网络分析仪


特点：适用于标量测试的情况；价格低于 矢量网络分析仪 性能：60~75dB的动态范围；采用脉冲调制 技术降低了外界的干扰
4.9 微波毫米波测试系统(Test
system)



意义：用于现代复杂电子系统的多参数快 速测量 构成：系统集成、接口技术和测试软件 应用：a）相控阵技术；b）有源相控阵雷达； c）测试用仪器；d）GPIB总线(Bus)、MMS模 块化仪器、VXI总线
微波仪器设备及测试技术
微 波
微波——波长很短的电磁波
频率f： 300MHz ~ 300GHz 波长： 1m ~ 1mm
毫米波高端: 亚毫米波段 1~0.1mm 远红外: 0.3mm~0.01mm
微波毫米波的应用
短波超短波 通信、超视 雷达、卫 雷达、侦 雷达、侦 距雷达、广 雷达、微 星电视、 察、通信 察、通信 波通信、 微波通信 精确制导 播电视 精确制导 预警雷 卫星通信 目标RCS 目标RCS 达、导 星间通信、 航、移 遥 音 机载火 遥感、弹道 动通信 感 控雷达 频 轨迹、汽车 通 防撞 信 电子侦察 目标RCS 弹道轨迹 无源成像 射电天文
多端口微波矢网
On Wafer 在片平衡传输线测量
GSGSG 在片校准件
Short
Open
Load
Thru 1-2
Thru 1-4
Thru 1-3 and 2-4
Thru 3-4
Thru 2-3
双端口植入/剥离
• 剥离测量夹具
– 夹具的插入损耗不能被忽略
VNA Port 1
VNA Port 2