小知识
如何看电镜照片及其它
电镜照片具有直观、通俗的特点,一般大家都能看明白。
但从电镜专业的角度来说,多了解一些电镜成像的基础知识,对于更好地从电镜照片中得到更多的信息是非常有好处的。
图1是一张电镜照片,在图中标出了亮、暗、黑不同的部位,并对形成亮、暗、黑的原因进行了解释。
上面电镜照片是由亮(白)、暗(灰)、黑几种不同色素集合而成,对于正常的二次电子图象来说:
(1)亮是代表样品高凸部位、面向检侧器的部位、具有高原子序数元素的部位,导电性能好的部位。
(2)暗则反之。
(3)不同程度的亮暗,即为不同的差异,那些孔洞、缝隙、底下部位呈现黑色。
由于样品的电磁性能、荧光性能,边缘和尖端效应造成的亮度差异,了解、综合这些样品信息,然后才能获得有关该样品形貌的正确断论,从中得到更多的信息。
在区分图象上,还应该注意,对于样品有透明膜的表面或透光外壳等情况,在光学显微镜下可以无妨碍地看清下面或内部的细节形态,虽然有时常常难以分清该细节是在外表还是在内部。
但在扫描电镜中情况就不一样,由于电子显微镜只能“看到”5-10nm厚的深度,所以它只反映外表的形态,外表既使覆有很薄的透光层,电镜也是看不到下面细节的。
附:扫描电镜的优点及与光学和透射电镜的比较
扫描电镜的优点很多,其中最重要的一点是景深特别大。
同样的放大倍数,扫描电镜的景深一般是光学显微镜的100倍,是透射电镜的1000倍左右。
景深大,拍摄出来的照片立体感强,具有更多细节。
表1列出了扫描电镜、光学显微镜和透射电镜的主要不同点。
表1 扫描电子显微镜与光学和透射电镜比较表项目光学显微镜(OM) 扫描电镜(SEM) 透射电镜(TEM) 1、分辨本领:
最高
熟练操作容易达到0.1um(紫外光显微镜)
0.2 um
5 um
0.5nm
10nm
100nm
0.1~0.2nm
0.5~0.7nm
5~7nm
2、放大倍数1~2 000倍10~150 000倍100~800 000倍
3、景深短:
0.1mm(约10倍时)
1um (约100倍时)
长:
10mm (约10倍时)
1mm (约100倍时)
10um (约1000倍时)
1um (约10000倍时)
短:
接近扫描电镜,但实
际上为样品厚度所限
制,一般小于100nm
4、视场100mm(1倍时)
10mm (10倍时)
1mm (100倍时)
0.1mm (1000倍时)
10mm (10倍时)
1mm (100倍时)
0.1mm (1 000倍时)
10um (1 0 000倍时)
1um (1 000 000倍时)
2mm (100倍时)
其它同扫描电镜
说明:现在某些光学显微镜,经过光学系统特别是数字化处理后,据报到,其景深可以到达SEM的效果,但实际是否完全一样,尚待验证。