一、目的
1.1规范生产现场的插片操作流程，确保硅片插片的效率和质量。
1.2降低由于人员操作不当而引起的硅片质量问题，如隐裂、崩边、缺角等。
1.3杜绝生产中异常事故的发生，保证生命和财产安全。
二、范围
适用于硅片部的硅片插片工序。
三、职责
3.1基层管理人员职责
3.1.1负责硅片插片工序的各项指导工作。
3.1.2制定和完善插片相应的标准流程，确保各项工作顺利开展。
3.1.3负责工作中涉及的必需品的领取和管理。
3.1.4维护生产现场的工作纪律。
3.1.5负责现场5S检查工作。
3.1.6负责新进员工的培训。
3.1.7做好下班时的交接班工作。
3.2直接操作员的职责
3.2.1必须穿戴好劳保防护用品。
3.2.2严格按照插片标准作业指导书进行硅片的插片操作。
3.2.3在作业过程中，必须经常检查清洗设备的运行情况。
发现异常情况及
时处理，如无法处理，应及时上报。
3.2.4负责设备的维护和保养工作。
3.2.5负责作业过程中，数据的记录和检查，应避免错记、漏记、不记的现
象出现。
3.2.6团结同事，互帮互助，大家同心协力完成各项工作任务。
3.2.7务必按时完成本班的工作任务，不能无故把本班的工作留到下个班。
四、作业内容
4.1插片作业流程
4.2工具准备及耗材准备
4.2.1 专用工具：晶片盒。
4.2.2个人工作防护用品：一次性乳胶手套，防水围裙等。
4.2.3 记号笔，中性笔。
4.3穿戴劳保用品
4.3.1作业前戴好干净的乳胶手套，系好防水围裙。
4.4核对随工单
4.4.1在取片的时候，必须确保每张随工单与预清洗出片时的顺序相对应。
4.5安装晶片盒
4.5.1检查晶片盒，将变形或者破损的晶片盒挑选出来，作好禁用标示
4.5.2根据硅片规格准备好相对应的晶片盒，晶片盒有两种规格：125*125、156*156。
4.5.3在操作面板上按“上行”按纽，使晶片盒固定架升起。
4.5.4把晶片盒装入固定架中。
4.6.1小水槽水位开关调节，要确保小水槽水位到达溢流出口。
将小水槽进
水开关调至约1/4开启状态。
控制溢流水流量不能太大。
4.6.2取适量的硅片在手中，最多75片。
4.6.3调节润滑水流开关，防止硅片粘结在一起，利于取片。
然后向滑台内
一片一片轻放硅片，硅片在水流带动下滑入晶片盒；在硅片经过感应
器后，晶片盒架自动上升一格，仪表计数一次。
插完第一个晶片盒的
第24片时，报警器提示这盒即将插满，插完第25片时暂停插片，待
固定升降架自动升到第2个晶片盒时再进行插排片，直到第3个晶片
盒插满硅片，设备进行提示，“当前数量”显示75。
4.6.4将插满片的晶片盒取下，放在水缸里。
把空的晶片盒放入固定架的夹
具内，启动“下行”开关后晶片盒固定架自动降到最下点，仪表“当
前数量”自动清零，即可进行下一次排片了。
若硅片受阻滞留于倒向
槽并超过一定时间（由程序设置），系统会发出警告。
4.7.1 设备启动。
将主电源开关打开.按下‘电源’按纽。
4.7.2 输入密码后进入主画面。
当前数量为当前排片数（最大数为75），日累计数量为当天累计数，该数量可根据需要进行清除。
如有异常仪表将显示“水位异常”“工位异常”。
点击“系
统菜单”可进入如下界面。
4.7.3操作画面
4.7.3.1自动排放水
设定排水片数为5000，排水时间为120S。
点击排水开关，使之处于“换水开”状态，即可按所设置程序运行。
4.7.3.2手动排放水
将设定排水片数数量设为“0”，将设定排水时间设为“0”点击排水开关，
使之处于“换水开”状态，即可进行手动进排水。
4.7.4参数设置画面
片25张距离：在晶片盒中，第1片和第25片之间的距离，为109mm。
间隔一距离：第一个晶片盒与第二个晶片盒之间的间隔距离，可以进行微调。
间隔二距离：第二个晶片盒与第三个晶片盒之间的间隔距离，可以进行微调。
原点偏移量：三个晶片盒整体的移动量，可以进行微调。
可以设置三组密码
五、注意事项
5.1 硅片搬运需小心轻放；
5.2 严格按工艺文件操作；
5.3 硅片篮装入插片机固定架上不可装反，并需安装到位；
5.4 从插片机取出硅片篮时务必双手顺势取出；
5.5 插片机暂停工作时，请及时关闭进水阀及相关电源;
5.6 发生异常或机器故障时可及时按“急停开关”停止作业；
5.7 非指定人员，请勿擅自更改工艺或设置；
5.8 随时保持工作场所的清洁，做好5S；
5.9 晶片盒位置检测传感器，可防止晶片盒放置不到位而发生意外，当传感器光路被遮挡，升降架将停止运行；
5.10原点传感器，可用来调整升降架的原点位置，当装片起始位置有误差时，根据情况上下微调传感器位置；再运行几次“回原点”/“下行”，将位置调准。
5.11 滑台水流量、储片水槽水流量、各排水阀的调节均在机器右侧；水箱水位可由溢流管、溢流孔进行微调；
5.12 当出现水流量明显减少时，应及时停机清理水过滤器；清理过滤器时应在停机状态下进行，先关闭进出水阀门，由过滤器底阀排空过滤器内存水，再打开过滤器，取出滤芯清理；滤芯使用大约半个月后会失效，应及时更换；
5.13 装片水箱排水口设有挡污滤网，排空存水后，可取出碎硅料、杂物等。
六、异常情况
碎片处理。
正常插片至任意片数时，出现碎片。
第25片，50片除外；处理方式：按“上行”按钮，但拉盒不能至上位，再按“急停”，拿掉碎片，按“下行”按钮，自动停止上此碎片处，可继续插片。
若出现在最后几片时，因为很难判断
拉盒是否上升至上位，所以应直接取出晶片盒，然后手动插片。
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11 七 设备的维护与保养
7.1定期清洁机身、控制电柜表面、操作屏及工作现场。
7.2定期清理插片缓冲槽内的沉积物，以防堵塞水管。
7.3清除无关物品，相关工具，附件等摆放整洁。
八、设备安全
8.1不能湿手触碰电控柜，以防触电。
8.2不能违章操作。
九、相关文件
9.1插片设备操作说明书。
9.2插片机维修说明书。
十、相关表格
10.1插片设备保养表。
10.2插片机运行记录表。