5.10-12
分流式 2
HLT 572 (Dry)
5.10-12
分流式 7.5
5.10-12
分流式 5
启动时间(min)
反应时间(s) 最大进口压力(mbar) 内部校准泄露 自动校准功能 附小车
3
<0.5 25 标准 有 无
3
<0.5 25 标准 有 有
3
<0.5 25 标准 有 无3<0.5Fra bibliotek25 标准 有 有
DUO 5A: 机械泵
TMH 071: 分子泵
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检漏仪显示面板
此控制面板包含了controller、 display，对于使用者而言，操作 简单(one touch) 。 Controller：Start、Stop、 Zero、 Setup…. Display：漏率显示、状态显示 、操作显示、参数显示….
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产品结构及功能介绍
RC260：显示屏幕 Mass spectrometer：质谱仪 Oil mist filter：油雾分离器 Test port：测试口 Valve block：阀组模块 Test leak：标准漏率棒 EVV：讯号放大器 V1~V6：valve block 阀组
产品设计优点
模块化设计便于维护和维修
操作简单,一个按钮启动,3分钟内进入工作状态 专利型的双流设计,高灵敏度能对检漏仪及被检 件提供保护 灯丝寿命长（铱/钇材质、两组切换使用设计) 产生
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灵敏度高,侦测到漏气 0.5 秒钟内即会有警报
售后服务
维修保养能力：工程师受德国原厂技术训练且认 证，并且设备最重要组件 turbo pump 亦为 Pfeiffer 生产，所以对设备的保养及维修具备丰 富的经验及效率之保障。
分子泵、阀组分解图
turbo pump
valve block
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TMH 071 拆解图
buttom, coil turbo drag spacing ring housing rotor mag bearing
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stators
参考客户
• 深圳南玻、优利讯、中芯国际、台积电、3 M
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产品设计优点
业界最高的入口压力 25 mbar，即可进入检漏状态 独一无二的外接真空计功能，可直接在检漏仪面板 上显示系统真空度 Roughing pump 选择性高 Vacuum + Sniff 为标准配备 内置标准漏率棒,可自动校准
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Helium Leak Detector
产品规格介绍 产品结构及功能介绍 测试方式介绍 产品设计优点
售后服务
HLT 拆解 参考客户
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产品规格介绍
HLT 560
最小测漏率(mabr l/s)
分子泵型式 前级抽速(m3/h)
HLT 565
5.10-12
分流式 30
HLT 570(Dry)
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分子泵 / Turbo pump
独特的 PFEIFFER TMH 071 Split-flow turbo pump 之设计可承受更高之进气压 力，并且保持最佳之抽气效 率，同时可大幅度降低因进 气压力突然增大而对 turbo pump 所造成的损坏。
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维修保养时效性：全产品均由 Pfeiffer 生产组装， 上海伯东作为德国原厂设立的产品维修服务中心， 能够及时提供备件的支持及快速反应能力。
技术支持能力：因产品应用广泛,上海伯东可依 据客户实际使用状况,提供相应的教育培训及应 用建议。
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氦检漏仪拆解图
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Mass spectrometer 180° 离子轨域及 filter 设计，不 但提高对于侦测气体之灵 敏性，更加强了漏率之准 确性。
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油雾分离器 / Oil mist filter
在前级搭配油式机械泵(Rotary vane pump)，氦气测漏仪之型号 中 (HLT 260 、HLT 265) ，配置 油雾分离器(oil mist filter) 可以 分离油气,避免造成工作环境之污 染。
• 绵阳九院、兰州物理所、航天部、等离子研究 所 • 成都无极真空、兰州真空、沈阳科仪
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希望我们能够合作成功！
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离子源 / Ion source
材质为 iridium / yttrium 使用寿命长。 (其他品牌材质为 wolfram) 2 cathodes 设计，若其 中一组损毁机台会自动 切换至第二组。
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质谱管 / Mass spectrometer
测试方式介绍 (Vacuum & Sniff)
正压测试 (Sniffer mode) 将待测物体利用示踪气体 (4He，3He，H2) 施加内压， 并利用 Sniffer probe 于待测物体外侧检漏可能之漏点。 负压测试 (Vacuum mode) 将待测之腔体连接上氦气测漏仪之 test port，以真空 装置或氦气检漏仪 (本身为 vacuum sysytem) 对待测 系统做抽真空，使其压力低于25 mbar,再于可能的泄 漏点喷少许示踪气体检漏。
真空阀组 / Valve block
Valve block 与 Split-Turbo pump 之搭配设计，在于最大工作 压力可达 18 mbar(业界最高)， 提升待测之时效性。
对于使用者之误操作(破大气)， 提供保护功能，避免 turbo pump 造成损坏及氦气测漏仪内部严重 污染。
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