《微机电机械系统》
学习心得
众所周知，21世纪是一个信息经济时代。

为适应时代的发展，作为一名当代大学生，所受的社会压力将比任何时候的大学生都要来得沉重，因此在校期间，我们必须尽可能的利用好学习时间，尽可能地学习更多的知识和能力，学会创新求变，以适应社会的需要。

毕竟，不管将来是要从事什么样的相关行业，都需要掌握较为全面的电子知识，因为小到计算机的组装维修，大到器件的设计与制造，知道的更多更全面，那么对于自己以后找工作以及参加工作帮助就越大。

在知识经济时代，没有一个用人单位会傻到和知识作对。

基于这样对社会现状的认识，让我积极、认真地对于学习微机电机械系统有了较为良好的心理基础。

而我在第一次接触电子就觉得很新鲜，觉得很奇妙，但随着需求的变化，自己对电子接触的不断深入，认识越来越深，特别是进到大学，专业要求学习电路分析，模拟电路，数字电路，微机电机械系统等等之类。

通过学习微机电机械系统，我了解到：微机电系统是一种先进的制造技术平台。

它是以半导体制造技术为基础发展起来的。

MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。

但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。

它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。

微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点。

、性能稳定等。

微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果，使微观尺度制造技术的演进与革命。

微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域，涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程，将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。

MEMS(微机电系统)最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子、医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

MEMS的特点是：
1）微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

微机电系统微机电系统
2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。

3）批量生产：用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装臵或完整的MEMS。

批量生产可大大降低生产成本。

4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。

微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

5）多学科交叉：MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。

MEMS发展的目标在于，通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域和产业。

MEMS可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。

21世纪MEMS将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、国防和科学发展产生重大影响。

微机电系统基本上是指尺寸在几厘米以下乃至更小的小型装臵，是一个独立的智能系统，主要由传感顺、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。

微机电系统涉及物理学、化学、光学、医学、电子工程、材料工程、机械工程、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。

微机电系统在国民经济和军事系统方面将有着广泛的应用前景。

主要民用领域是医学、电子和航空航天系统。

美国已研制成功用于汽车防撞和节油的微机电系统加速度表和传感器，可提高汽车的安全性，节油10%。

仅此一项美国国防部系统每年就可节约几十亿美元的汽油费。

微机电系统在航空航天系统的应用可大大节省费用，提高系统的灵活性，并将导致航空航天系统的变革。

例如，一种微型惯性测量装臵的样机，尺度为2厘米×2厘米×0.5厘米，重5克。

在军事应用方面，美国国防部高级研究计划局正在进行把微机电系统应用于个人导航用的小型惯性测量装臵、大容量数据存储器件、小型分析仪器、医用传感器、光纤网络开关、环境与安全监
测用的分布式无人值守传感等方面的研究。

该局已演示以微机电系统为基础制造的加速度表，它能承受火炮发射时产生的近10.5个重力加速度的冲击力，可以为非制导弹药提供一种经济的制导系统。

设想中的微机电系统的军事应用还有：化学战剂报警器、敌我识别装臵、灵巧蒙皮、分布式战场传感器网络等。

学习是辛苦的，但我认真的去把内容学好，认真完成每一节的学习任务。

但是，微机电机械系统知识更新是很快的，只有不断地学习，才能掌握最新的知识。

因此，在以后的学习工作中，我还要继续学习、操作，熟练运用这些知识，不断完善和充实自己，争取做一个合格的当代大学生，将来做一名对社会有用的人。

不管是现在还是将来，每个大学生都应不断地加强学习，不断地给自己“充电”，才能不断的开拓进取，勇于创新，才不至于被社会淘汰。

这就是我这期学习微机电机械系统课程的心得体会！。