一、单项选择题（每题 2 分，共10 分）
3．表面形貌分析的手段包括【 d 】
（a）X 射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）(b) SEM 和透射电镜（TEM）
(c) 波谱仪（WDS）和X 射线光电子谱仪（XPS）(d) 扫描隧道显微镜（STM）和
SEM
4．透射电镜的两种主要功能：【b 】
（a）表面形貌和晶体结构（b）内部组织和晶体结构
（c）表面形貌和成分价键（d）内部组织和成分价键
二、判断题（正确的打√，错误的打×，每题2 分，共10 分）
1．透射电镜图像的衬度与样品成分无关。

（×）2．扫描电镜的二次电子像的分辨率比背散射电子像更高。

（√）3．透镜的数值孔径与折射率有关。

（√）4．放大倍数是判断显微镜性能的根本指标。

（×）5．在样品台转动的工作模式下，X射线衍射仪探头转动的角速度是样品转动角
速度的二倍。

（√）
三、简答题（每题5 分，共25 分）
1. 扫描电镜的分辨率和哪些因素有关？为什么?
和所用的信号种类和束斑尺寸有关，因为不同信号的扩展效应不同，例如二次电子产生的区域比背散射电子小。

束斑尺寸越小，产生信号的区域也小，分辨率就高。

1．透射电镜中如何获得明场像、暗场像和中心暗场像？
答：如果让透射束进入物镜光阑，而将衍射束挡掉，在成像模式下，就得到明场象。

如果把物镜光阑孔套住一个衍射斑，而把透射束挡掉，就得到暗场像，将入射束倾斜，让某一衍射束与透射电镜的中心轴平行，且通过物镜光阑就得到中心暗场像。

2．简述能谱仪和波谱仪的工作原理。

答：能量色散谱仪主要由Si(Li)半导体探测器、在电子束照射下，样品发射所含元素的荧光标识X 射线，这些X 射线被Si(Li)半导体探测器吸收，进入探测器中被吸收的每一个X 射线光子都使硅电离成许多电子—空穴对，构成一个电流脉冲，经放大器转换成电压脉冲，脉冲高度与被吸收的光子能量成正比。

最后得到以能量为横坐标、强度为纵坐标的X 射线能量色散谱。

在波谱仪中，在电子束照射下，样品发出所含元素的特征x 射线。

若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距 d 的晶体，入射X 射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时，这个特征波长的X 射线就会发生强烈衍射。

波谱仪利用晶体衍射把不同波长的X 射线分开，即不同波长的X 射线将在各自满足布拉格方程的2θ方向上被检测器接收，最后得到以波长为横坐标、强度为纵坐标的X射线能量色散谱。

3．电子束与试样物质作用产生那些信号？说明其用途。

（1）二次电子。

当入射电子和样品中原子的价电子发生非弹性散射作用时会损失其部分能量(约30～50 电子伏特)，这部分能量激发核外电子脱离原子，能量大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。

二次电子对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。

（2）背散射电子。

背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子。

既包括与样品中原子核作用而形成的弹性背散射电子，又包括与样品中核外电子作用而形成的非弹性散射电子。

利用背反射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可以用来显示原子序数衬度，进行定性成分分析。

（3）X 射线。

当入射电子和原子中内层电子发生非弹性散射作用时也会损失其部分能量(约
几百电子伏特)，这部分能量将激发内层电子发生电离，失掉内层电子的原子处于不稳定的较高能量状态，它们将依据一定的选择定则向能量较低的量子态跃迁，跃迁的过程中将可能发射具有特征能量的x 射线光子。

由于x 射线光子反映样品中元素的组成情况，因此可以用于分析材料的成分。