真空镀膜机安全操作规程
一．开机前作到：
1.检查工作环境清洁、干净。

2.检查电线无破损，接地牢固。

3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。

4.机械泵、罗茨泵油位过半。

5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真
空脂。

6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。

7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％
的铝丝。

8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。

二．操作要点：
1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预
热1-1.5小时。

2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温
度、时间符合工艺）。

3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转
动平稳无异常振动。

4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开
启复合真空计。

5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。

6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3，
开阀1。

7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺），
分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关
复合真空计。

8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。

9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待
镀产品，装上铝丝，进行下次工作。

10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。

11.生产中注意产品安装到位牢固。

12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。

13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。

三．关机及保养：
1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3，
关机械泵。

2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。

3.每星期检查清洁镀膜转架工装。

4.每三个月检查更换机械泵油。

5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。

制定：王思忠审批：
时间：2002.09.10 时间：。