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激光器介绍


6、Nd:YVO4激光器 、 激光器
工作物质: 工作物质:掺钕钒酸钇 ( Nd:YVO4 ) 发光的激活粒子: 发光的激活粒子:Nd3+ 激光波长:1.06um、 激光波长:1.06um、 1.342um 特点: 特点:低激光阈值和高斜 率效率、 率效率、大的受激发射截 面、在泵浦波段有很强的 吸收、属于单轴晶体, 吸收、属于单轴晶体,能 够射出偏振光。 够射出偏振光。 适合中低功率的激光器
几种主要的激光器
1. 2. 3. 4. 5. 6. 半导体激光器 光纤激光器 二氧化碳激光器 全固态激光器 YAG激光器 YAG激光器 Nd:YVO4激光器 Nd:YVO4激光器
1、半导体激光器 、
半导体激光器, 半导体激光器,又称激光 二极管( LD) 二极管(即LD) 工作物质: 工作物质:半导体材料 特点:波长范围宽, 特点:波长范围宽,制作 简单、成本低、 简单、成本低、易于大量 生产,并且体积小、 生产,并且体积小、重量 寿命长。 轻、寿命长。 激光波长:1064nm、532nm、 激光波长:1瓦到几 808nm 功率从几瓦到几 千瓦不等
3、二氧化碳激光器
工作物质:CO2、N2和 工作物质:CO2、N2和 He的混合物 He的混合物 激光波长:10.6um、 激光波长:10.6um、 9.6um(远红外光) 9.6um(远红外光) (利用基态的不同振动 态的转动能级之间的跃 故光子能量小) 迁,故光子能量小) 特点:激光器效率高、 特点:激光器效率高、 输出能量大、功率高。 输出能量大、功率高。
红、绿、蓝三种激光器
激光的特性
方向性好:激光器发出的激光发射角很小, 方向性好:激光器发出的激光发射角很小,接近 于一毫弧度, 于一毫弧度,只有一般探照灯发射角的一百万分之 一。 单色性好:激光具有很好的单色性, 单色性好:激光具有很好的单色性,是普通光源 完全达不到的。 完全达不到的。 相干性好:就氦氖激光而言, 相干性好:就氦氖激光而言,其相干长度可达 400km。 。 能量密度大:激光的亮度是普通光源的上百万倍。 能量密度大:激光的亮度是普通光源的上百万倍。
应用区域 激光波长 刻划幅面 刻划线宽 刻划速度 分光数 死区面积 300-500µm a-Si/µ-Si, CIGS, , , CdTe 1064nm,532nm,355nm 1100×1400mm, × , 635mm×1245mm × 30-60µm 最大2000mm/s 最大
3、LPKF 、
半导体激光器的应用范围覆盖了整个光电子学领 已成为当今光电子科学的核心技术: 域,已成为当今光电子科学的核心技术: 激光测距、激光雷达、激光通信、激光模拟武器、 激光测距、激光雷达、激光通信、激光模拟武器、 激光警戒、激光制导跟踪、引燃引爆、自动控制、 激光警戒、激光制导跟踪、引燃引爆、自动控制、 检测仪器等方面; 检测仪器等方面; 光通信、光变换、光互连、并行光波系统、 光通信、光变换、光互连、并行光波系统、光信 息处理 激光打标机,因其使用寿命长、激光利用效率高、 激光打标机,因其使用寿命长、激光利用效率高、 热能量比YAG激光器小、体积小、性价比高、 YAG激光器小 热能量比YAG激光器小、体积小、性价比高、用电 省等一系列优势,正在取代YAG激光打标机。 YAG激光打标机 省等一系列优势,正在取代YAG激光打标机。
5、YAG激光器 、 激光器
工作物质: 工作物质:掺钕钇铝石 榴石(Nd:YAG) 榴石(Nd:YAG) 发光的激活粒子: 发光的激活粒子:Nd3+ 四能级系统) (四能级系统) 激光波长: 激光波长:1.06um 特点:振荡阈值低, 特点:振荡阈值低,容 易实现连续运转, 易实现连续运转,但在 连续工作时, 连续工作时,热效应将 引起热光畸变。 引起热光畸变。 YAG基质上 基质上, 在YAG基质上,还可以 掺入Er3+ Tm3+等其他 Er3+、 掺入Er3+、Tm3+等其他 杂质。 杂质。
激光器的工作原理
如果一个系统中处于高能态的粒 子数多于低能态的粒子数, 子数多于低能态的粒子数,就出 现了粒子数的反转状态。 现了粒子数的反转状态。那么只 要有一个光子引发, 要有一个光子引发,就会迫使一 个处于高能态的原子受激辐射出 一个与之相同的光子, 一个与之相同的光子,这两个光 子又会引发其他原子受激辐射, 子又会引发其他原子受激辐射, 这样就实现了光的放大; 这样就实现了光的放大;如果加 上适当的谐振腔的反馈作用便形 成光振荡,从而发射出激光。 成光振荡,从而发射出激光。
2、光纤激光器 、
工作物质: 工作物质:掺稀土元 素玻璃光纤 特点:高功率、 特点:高功率、无需 热电冷却器、 热电冷却器、很宽的 泵浦波长范围、 泵浦波长范围、效率 高可靠性。 高、高可靠性。
光纤激光器应用范围非常广泛: 光纤激光器应用范围非常广泛: 激光光纤通讯、激光空间远距通讯、 激光光纤通讯、激光空间远距通讯、汽车制造 激光雕刻、激光打标、激光切割、印刷制辊、 激光雕刻、激光打标、激光切割、印刷制辊、金 属非金属钻孔/切割/ 属非金属钻孔/切割/焊接 光纤激光器具有其他激光器无可比拟的技术优越 在短期内, 性。在短期内,光纤激光器将主要聚焦在高端用 途上,随光纤激光器的普及, 途上,随光纤激光器的普及,成本的降低以及产 能的提高, 能的提高,最终将可能会替代掉全球大部分高功 CO2激光器和绝大部分YAG激光器 激光器和绝大部分YAG激光器。 率 CO2激光器和绝大部分YAG激光器。
Nd:YAG激光棒具有高增益、激光阈值低、 激光棒具有高增益、激光阈值低、 激光棒具有高增益 功率高、 光波吸收少、 功率高、1064光波吸收少、热传导性和热 光波吸收少 冲击性好的特性, 冲击性好的特性,适用于多种工作方式 连续、脉冲、 开关 锁模) 开关、 (连续、脉冲、Q开关、锁模)常用于近远 红外固体激光及其倍频、三倍频。 红外固体激光及其倍频、三倍频。 广泛应用于科研、医疗、工业、军事、 广泛应用于科研、医疗、工业、军事、新 能源等领域。 能源等领域。
激光器的分类
按 工 作 物 质 分 类
固体激光器: 固体激光器:把金属离子掺入晶体或玻璃基质中
红宝石激光器,YAG,Nd:YVO4, 红宝石激光器,YAG,Nd:YVO4,全固态激光器
气体激光器:原子气体、 气体激光器:原子气体、分子气体和离子气体
氦氖激光器, 氦氖激光器,二氧化碳激光器
半导体激光器: 半导体激光器:半导体材料
中小功率的激光器多采用端面泵浦方式, 中小功率的激光器多采用端面泵浦方式,可得到 端面泵浦方式 比较好的光束质量;而高功率的激光器多采用侧 比较好的光束质量;而高功率的激光器多采用侧 面泵浦或混合泵浦方式 但光束质量比较差。 方式, 面泵浦或混合泵浦方式,但光束质量比较差。 激光波长:可实现红、 蓝等可见光, 激光波长:可实现红、绿、蓝等可见光,紫外甚 至深紫外,中红外的输出, 至深紫外,中红外的输出,因此具有非常广阔的 输出波段。 输出波段。 应用范围遍及材料加工、信息业、医疗、 应用范围遍及材料加工、信息业、医疗、生物工 环保和能源等重要领域。 程、环保和能源等重要领域。
激光波长 刻划幅面 刻划线宽 刻划速度 分光数 死区面积
2、ARGUS 、
采用半导体端面泵浦光纤耦合 全固态激光器(Nd:YV04) 全固态激光器(Nd:YV04), 性能指标包括脉冲的稳定性、 性能指标包括脉冲的稳定性、 脉宽、 脉宽、峰值功率等参数均达到 世界先进水平。 世界先进水平。 膜面朝上非接触式工作台设计 不但能有效的解决玻璃运行中 的平稳性, 的平稳性,还能解决玻璃摩擦 问题。 问题。 采用全自动控制, 采用全自动控制,包括自动进 出料、自动识别、自动跟踪、 出料、自动识别、自动跟踪、 自动校正和自动定位。 自动校正和自动定位。
1960年 美国人梅曼(T. Maiman)发明了世界上 1960年,美国人梅曼(T. H. Maiman)发明了世界上 第一台红宝石激光器。 第一台红宝石激光器。 1962年 He-Ne气体激光器在美 1962年,He-Ne气体激光器在美 国贝尔实验室研制成功。 国贝尔实验室研制成功。 这两次发明开创了传统的固体激 器和气体激光器的时代,自此, 器和气体激光器的时代,自此,激光 走上了高速发展的道路。此后, 走上了高速发展的道路。此后,半导 体激光器、染料激光器、 体激光器、染料激光器、自由电子激 光器都在相应学科的支持下出现。 光器都在相应学科的支持下出现。特 别是八十年代, 别是八十年代,随着光电子学和半导 体技术的发展, 体技术的发展,光纤激光器和孤子激 光器相继出现, 光器相继出现,将激光引入以光电子 和微电子为主的信息时代。 和微电子为主的信息时代。
采用半导体泵浦固态 激光器(Nd:YVO4)。 激光器(Nd:YVO4)。 自动调整电池宽度和 不同的电池尺寸。 不同的电池尺寸。 P1完成后的电阻测量 完成后的电阻测量。 P1完成后的电阻测量。 动态对焦。 动态对焦。 可以P1进行动态跟踪, P1进行动态跟踪 可以P1进行动态跟踪, 来决定P2 P3划线轨 P2、 来决定P2、P3划线轨 迹。
4、全固态激光器 、
DPL是指以半导体激光器 是指以半导体激光器 是指以 LD)作为泵浦源的固体 (LD)作为泵浦源的固体 激光器。 激光器。 工作物质:固体激光材料。 工作物质:固体激光材料。 激光工作物质、 激光工作物质、激励源等 部分均由固体物质构成。 部分均由固体物质构成。 特点:体积小、重量轻、 特点:体积小、重量轻、 效率高、性能稳定、 效率高、性能稳定、可靠 性好、寿命长、易操作、 性好、寿命长、易操作、 运转灵便(连续/重复率/ 运转灵便(连续/重复率/ 短脉冲)、易智能化、 )、易智能化 长/短脉冲)、易智能化、 无污染等优点。 无污染等优点。
Nd:YVO4晶体与 晶体与LBO,BBO,KTP等高非线 晶体与 等高非线 性系数的晶体配合使用, 性系数的晶体配合使用,可以制成输出近 红外、绿色、 红外、绿色、蓝色到紫外线等类型的全固 态激光器。 态激光器。 Nd:YVO4激光器已在机械、材料加工、波 激光器已在机械、 激光器已在机械 材料加工、 谱学、晶片检验、显示器、医学检测、激 谱学、晶片检验、显示器、医学检测、 光印刷、数据存储、 光印刷、数据存储、太阳能电池等多个领 域得到广泛的应用。 域得到广泛的应用。
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