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8、半导体材料吸收光谱测试分析
导体:(导)价带电子
绝缘体:无价带电子,禁带太宽
半导体:价带充满电子,禁带较窄
(3)半导体材料禁带宽度的测量
本征吸收:半导体吸收光子的能量使价带中的电子激发到导带,在价带中留下空穴,产生等量的电子与空穴,这种吸收过程叫本征吸收。
产生本征吸收的条件:入射光子的能量(hν)至少要等于材料的禁带宽度Eg。即hν≥Eg
光栅——衍射和干涉分出光波长等距。
c.吸收池:玻璃——能吸收UV光,仅适用于可见光区;石英——不能吸收紫外光,适用于紫外和可见光区。
要求:匹配性(对光的吸收和反射应一致)
d.检测器:将光信号转变为电信号的装置。如:光电池、光电管(红敏和蓝敏)、光电倍增管、二极管阵列检测器。
紫外可见分光光度计的工作流程如下:
4.在主菜单中选择“数据处理”,按“F2”调用刚刚存贮的图谱,用“多点采集”采集370~410nm内每隔2nm的透射率T数据(即372、374、376、…408、410nm),记录之。
五、数据处理
根据公式 和 计算α、hν和(αhν)2,用(αhν)2对光子能量hν作图(用Origin作图)。然后在吸收边处选择线性最好的几点做线形拟合,将线性区外推到横轴上的截距就是禁带宽度Eg,即纵轴Y为0时的横轴值X。
UV762双光束紫外可见分光光度计外观图:
(1)仪器构造:光源、单色器、吸收池、检测器、显示记录系统。
a.光源:钨灯或卤钨灯——可见光源,350~1000nm;氢灯或氘灯——紫外光源,200~360nm。
b.单色器:包括狭缝、准直镜、色散元件
色散元件:棱镜——对不同波长的光折射率不同分出光波长不等距;
半导体材料吸收光谱测试分析
一、实验目的
1.掌握半导体材料的能带结构与特点、半导体材料禁带宽度的测量原理与方法。
2.掌握紫外可见分光光度计的构造、使用方法和光吸收定律。
二、实验仪器及材料
紫外可见分光光度计及其消耗品如氘灯、钨灯、绘图打印机,玻璃基ZnO薄膜。
三、实验原理
1.紫外可见分光光度计的构造、光吸收定律
光源单色器吸收池检测器显示
双光束紫外可见分光光度计则为:
双光束紫外可见分光光度计的光路图如下:
(2)光吸收定律
单色光垂直入射到半导体表面时,进入到半导体内的光强遵照吸收定律:
(1)
I0:入射光强;Ix:透过厚度x的光强;It:透过膜薄的光强;α:材料吸收系数,与材料、入射光波长等因素有关。
透射率T为: (2)
则
即半导体薄膜对不同波长 i单色光的吸收系数为:
(3)
2.吸收光谱、半导体材料的能带结构和不同波长 i单色光入射半导体ZnO薄膜(膜厚d为593nm),测量透射率Ti,由式(3)计算吸收系数αi;由 计算光子能量Ei,其中, 是频率,c是光速(c=3.0×1017nm/s), i是波长(nm),h是普朗克常数=4.136×10-15 。
附Origin作图方法示例(在Origin上的具体操作):
1.先用data selector键选择吸收边上的最好的几点。本次从右到左,(本例选取第10,11,12三点。)
2.在Tools菜单键中选用Linear Fit键,弹出一个选择框,在Points改为3,在Range改为11,并在Span X Axis框中打勾,在点击Fit键,即可。如下图所示:
根据半导体带间光跃迁的基本理论(见有关半导体物理书籍),在半导体本征吸收带内,吸收系数 与光子能量hν又有如下关系:
(4)
式中hν为光子能量;Eg为带隙宽度;A是常数。
由此公式,可以用(αhν)2对光子能量hν作图,如下:
然后在吸收边处选择线性最好的几点做线形拟合,将线性区外推到横轴上的截距就是禁带宽度Eg,即纵轴(αhν)2为0时的横轴值hν。如下图所示:
四、实验步骤
1.开机并自检
2.将制备的ZnO薄膜和空白样置光路中,在主菜单中选择“光谱测量”
3.在“光谱测量”菜单中设
测量模式:T
扫描范围:370~410nm
记录范围:0.000%~120%
扫描速度:中
采样间隔:0.1
扫描次数:1
显示模式:连续
按“Start”键。扫描。显示图谱后按“F3”存贮图谱并命名。按“F4”。
然后以吸收系数α对光子能量E作图,得到如下的吸收光谱图:
(2)半导体材料的能带结构
满带:各个能级都被电子填满的能带;
禁带:两个能带之间的区域——其宽度直接决定导电性,禁带的宽度称为带隙;
价带:由最外层价电子能级分裂后形成的能带(一般被占满);
空带:所有能级都没有电子填充的能带;
导带:未被电子占满的价带。
3.在Find Y输入0;点击Find X键即可得知横轴截距Eg。
所以ZnO的禁带宽度Eg=4.23501eV。