非层流式
≧5
65（ 2.3 ） 2.5
30000
≧ 20 次/h
100000
（ 0.0884 ） （ 323000）
（ 3500）
700(25)
三、不同用途所要求的洁净度
如前所述， 净化间的级别一般分成 M3.5（100）、M4.5（ 1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）
4 个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造
表 7 美国联邦规格 No.209B
净化间 粒子
室内压力
温度
湿度
气流
照度
级别
粒径 累计
Pa
范围
推荐值 差
高
最 误差 换气次数
um
粒子
mmH2O
（℃） （℃） （℃） （%） 低 %
数
%
100
≧ 0.5 100
+13
19.4 — 22.2
± 2.8 45
30 ± 10 层流方式 1080-
1000
≧ 0.5 1000
工厂等里边，根据作业内容，要求有 M1（10）— M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，
根据产品的纯度、作业工序，需有从 M3.5 到 M6.5（ 100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此
说，各种产业所需要的净化间， 其要求的洁净度是不同的。 就一般级别而言， 表 11 可以作为参考。
级别名称 **
级别上限值
粒径
粒径
粒径
粒径
SI***
English
0.1um
0.2um
0.3um
(m3)
(ft 3) (m3)
(ft 3) (m3)
(ft 3)
0.5um (m3)
Unit
* (ft 3)
粒径
5um (m3)
(ft 3)
MI
1
M1.5 10
M2 100
350 9.91 75.7 1240 35.0 265 3500 99.1 757
3
0.1
103
4
0.1
104
5
0.1
105
6
0.1
106
7
0.1
107
8
0.1
108
表 10，美国航空宇宙局规格主要内容
生物 粒子
生物粒子
室内 温 湿 气流
照
净化 粒 累计
浮游量
沉降量 压力 度 度 换气次 度
间级 径 粒子数 个 /ft
Pa
℃ %数
Lx
别
um 个/ft
( 个/l)
mmH2O
( 个/l)
2.14 30.9 7.50 106 21.4 309
0.875 10.0 3.00 35.3 8.75 100Leabharlann 0.283 ----
1.00 --
--
2.83 --
--
M2.5 1000 M3 10000
12000 350 2650 75.0 1060 30.0 353 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000
10.0 --
--
28.3 --
--
M3.5 100000 --
M4
--
M4.5
--
--
26500 750 10600 300 3530
100
--
--
--
75700 2140 30900 875 1000035300 283
--
--
--
--
--
--
--
100000
1000 247 7.00
M5 M5.5
表 11，各产业所要求的净化间级别一览
领域和产业
洁净度标准（级别） 内容
SI Englishunit
半导体工业
掩模板对准工艺
M3.5 100
（ IC、 LSI 等）
刻蚀工艺
M3.5 100
腐蚀加工
扩散工艺
M3.5 100
高纯度扩散
蒸着工艺
M3.5 100
高纯度电镀
涂布工艺
M3.5 100
--
--
--
--
--
--
353000
2380 618 17.5
--
--
--
--
--
--
1000000
10000 2470 70.0
M6 M6.5 M7
--
--
--
--
--
--
3530000
28300 6180 175
--
--
--
--
--
--
100000 24700 700
--
--
--
--
--
--
283000 61800 1750
（ +1.3 ） 25
特别
特别 0.45m/s -1620
10000 ≧ 5
10
以上
时为
时为 ±0.1m/s
100000 ≧ 0.5 10000
± 1.4
± 5 非层流方
≧5
65
式
≧ 0.5 10000
≧20 次/h
≧5
0
700
表 8, 美国联邦规格 No.209E 的洁净度级别分类
级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
精心整理
无尘车间洁净度如何确定详细分析
一、净化车间的规格
净化 车间的规格一般适用于美国联邦规格 No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净
度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规
格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为 No209E，名称也进行了变更。 No.209E 的级别表示是把 0.5um 以上的颗粒数为 10x 个 /m3，把 X 表示成级别，同时加上米制 M的意
思，表示成 M3.5 等等。在表 7 里表示的是美国联邦规格 No.209B，表 8 表示的是美国联邦规格
No.209E。在日本，相应的规格是 JISB9920。JIS9920 的级别表示是把 0.1um 以上的颗粒数规定为 10X 个，用 Y 表示级别。表 9、图 2 表示了 JISB9920 的级别的主要内容。
100
≧ 0.5 100
0.1
1200
+13
推
40 层流方式
1080
10000 ≧ 0.5 （ 3.5 ）
（ 0.0035 ） （ 12900） （ +1.3 ） 荐
— 0.45m/s
—
100000 ≧ 5
10000
0.5
6000
以上
值
50 ± 0.1m/s
1620
≧ 0.5 （ 350）
（ 0.0176 ） （ 64000）
* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
精心整理
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。 粒子直径 /m3=10M(0.5/d) 2.2，其中， M:SI 单位里的级别名称， D:粒径（ um）
*** 国际单位（ SystemeInternationald ’ Unites 的缩写）
图 1， 209E 的洁净度级别（图略） 图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用 Englishunit 表示级别。
图 2， JISB9920 的洁净度级别的上限浓度
表 9， JISB9920 主要内容
净化间级别
标准粒径（ um）
累计粒子数 ( 个
/m3)
1
0.1
101
2
0.1
102