目录一、国内外mems 传感器生产厂商介绍 (2)1 国内生产厂商 (2)2国外生产厂商 (8)二、MEMS产业竞争格局 (11)1. 产品结构 (11)2、中国半导体传感器市场整体竞争格局 (13)3、全球重点厂商分析 (14)三、MEMS传感器的生产工艺介绍 (18)1 设计 (18)2加工 (19)3 封装 (25)4 测试 (28)四、MEMS传感器的材料与设备 (35)一、国内外mems 传感器生产厂商介绍1 国内生产厂商还有其它的，例如上海巨哥电子科技有限公司，深圳市卡默莱电子科技有限公司，烟台睿创微纳技术有限公司Raytron，上海三鑫科技发展有限公司（Lase no微型激光投影仪）目前，国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现高校和研究所：北京大学、1000m2 MEMS 洁净室中科院上海微系统与信息技术研究所，1600m2MEMS 洁净室河北半导体研究所（13所）1000m2MEMS 洁净室厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心600m2洁净室中国工程物理研究院微系统中心1000 m2洁净室中国科学院微电子研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所代工服务：中芯国际：上海8inch无锡华润上华科技有限公司台湾的TSMC和UMC封装：南通富士通：晶方半导体科技有限公司：拓展至微电机(MEMS)，无线射频识别芯片(RFID) 华天科技：开发MEMS封装技术长电科技：已掌握MEMS封装技术，并以实现量产通富微电：国内最早研究开发MEMS封装，也是国内最先实现MEMS量产的厂家，客户包括意法半导体、美新等国内外知名的MEMS企业工业园：苏州，无锡造苏州工业园区生物纳米科技园，希望使其成为生物科技的创新平台无锡市积极建设中国微纳国际创新园，并将微纳米产业作为重点发展对象国内FAB代工厂1. TSMC 台积电（台湾）中文简称：台积电中文全称：台湾积体电路制造股份有限公司英文全称：Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited总部：台湾网址： /schinese/default.htm可获工艺（2007年10月）：0.5um, 0.35um, 0.25um, 0.18um, 0.13um, 0.09um 0.065 um, 0.045um2. CSM 或称Chartered 新加坡特许（新加坡）中文简称：新加坡特许中文全称：特许半导体制造公司英文全称：Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd总部：新加坡网址： /可获工艺（2007年10月）：0.35um, 0.25um, 0.18um, 0.13um, 0.09um, 0.065um, 0. 045um3. SMIC 中芯国际（上海）中文简称：上海中芯国际中文全称：中芯国际集成电路制造股份有限公司英文全称：Semiconductor Manufacturing International Corporation总部：上海网址： /website/cnVersion/Homepage/index_1024.jsp可获工艺（2007年10月）：0.35um, 0.25um, 0.18um, 0.13um, 0.09um4．HJTC或称HJ 和舰科技 (苏州)中文简称：苏州和舰中文全称：和舰科技(苏州)有限公司英文全称：HeJian Technology (Suzhou) Co., Ltd.总部：苏州网址： /Chinese/index.asp可获工艺（2007年10月）：0.35um, 0.25um, 0.18um5．CSMC 华润上华（无锡）中文简称：无锡上华中文全称：华润上华科技有限公司英文全称：CSMC Technologies Corporation总部：无锡网址： /csmc/s_chinese/index.asp可获工艺（2007年10月）：3.0至0.5微米6、GSMC 宏力 (上海)中文简称：上海宏力中文全称：宏力半导体制造有限公司英文全称：Grace Semiconductor Manufacturing Corporation总部：上海网址： /cnhtml/index.jsp?id=7可获工艺（2007年10月）：0.25um, 0.18um, 0.15um7、HHNEC 华虹 (上海)中文简称：上海华虹中文全称：上海华虹NEC电子有限公司英文全称：Shanghai Hua Hong NEC Electronics Company, Ltd.总部：上海网址： /web_cn/index.htm可获工艺（2007年10月）：0.35um, 0.25um, 0.18um8、SinoMOS 中纬 (宁波)中文简称：宁波中纬中文全称：中纬积体电路(宁波)有限公司英文全称：SinoMOS Semiconductor (Ningbo) Inc.总部：宁波网址： /portal/page?_pageid=34,1&_dad=portal&_schema=PO RTAL可获工艺（2007年10月）：0.8um/1um其它的芯片制造代工厂有：UMC---联华电子公司United Microelectronics CoporationASMC---上海先进半导体制造有限公司Advanced Semiconductor Manufacturing Corp.of ShanghaiBCD---BCD半导体制造有限公司BCD Semiconductor Manufacturing LimitedBelling---上海贝岭股份有限公司Shanghai Belling Co., Ltd.IC Spectrum-德芯电子集成电路制造有限公司IC Spectrum Co., Ltd.Hynix-ST---海力士-意法半导体有限公司Hynix-ST Semiconductor Ltd.CSWC---华润晶芯半导体有限公司China Resources Semiconductor Wafer & Chips Ltd.GMIC---南通绿山集成电路有限公司Nantong Green Mountain Integrated Corp., LtdSilan---杭州士兰集成电路有限公司Hangzhou silan integrated circuits Co., Ltd.SGNEC---首钢曰电电子有限公司Shougang NEC Electronic Co.,LtdTJSemi---天津中环半导体股份有限公司Tianjin Zhonghuan Semiconductor Joint-stock Co.,Ltd.Founder IC---深圳方正微电子有限公司Founder Microelectronics Inc.ACSMC---珠海南科集成电子有限公司Advanced CMOS Semiconductor Manufacturing Corp.XiYue---西岳电子技术有限公司XiYue Electronics Technology Co., Ltd.WXIC---武汉新芯积体电路制造有限公司2国外生产厂商据IHS iSuppli公司的研究，意法半导体(STM)在2010年仍然是最大的ME MS传感器生产商，营业收入几乎是排名第二的德州仪器的五倍。
IHS iSuppli把MEMS厂商分为两类，一类是“纯”MEMS生产商，不为自己生产MEMS;另一类是“混合模式”厂商，即整合器件制造商(IDM)，除了为自己的核心业务提供MEMS器件以外，还提供MEMS合同制造服务。
STM连续第四年排名第一，而且是营业收入超过一亿美元的唯一一家ME MS厂商。
为惠普生产喷墨晶片(Inkjet wafer)，占STM营业收入的大多数。
尽管惠普喷墨营业收入不断萎缩，但STM最近四年通过提高在惠普喷墨生产中的份额而设法扩大了这项业务。
STM还开始与柯达等其它喷墨打印机厂商合作，并在生物MEMS领域赢得了一些代工项目，如为瑞士Debiotech生产胰岛素注射器。
STM公司2010年MEMS制造服务营业收入为2.286亿美元，而美国德州仪器只有4740万美元。
德州仪器尽管保持第二的排名，但受其大客户Lexmark喷墨打印机业务锐减的影响，其MEMS营业收入自2004年以来持续急剧下降。
但德州仪器最近与一家消费MEMS厂商签署了代工协议，预计将从2011年开始为德州仪器带来营业收入。
该消费MEMS厂商在业内排名前15。
另外两家比较突出的混合模式厂商是挪威的Sensonor Technologies，排名第三，营业收入是3800万美元;排名第四的索尼，营业收入3190万美元，借助其主要客户Knowles Electronics在MEMS麦克风领域的出色表现，营业收入大增了51.2%。
MEMS生产市场模式总体来看，混合模式厂商在MEMS市场占有的份额大于纯粹模式。
10大混合模式厂商2010年合计营业收入为3.96亿美元，其中最大的两家STM和德州仪器合计的合计份额就高达70%。
相比之下，10大纯粹模式厂商的营业收入为2.053亿美元，其中头号厂商Silex Microsystems的营业收入为3600万美元。
但是，纯粹模式厂商的2010年营业收入增长较快，强劲扩张48.4%，而混合模式供应商只有2.4%。
2010年：纯粹模式厂商表现出色2010年，有四家纯粹模式MEMS厂商的营业收入超过了3000万美元，以前该阵营的厂商没有一家达到过这个关口。
该领域排名第一的Silex，其半数MEMS营业收入来自工业与科技应用，医疗应用与光学MEMS占有剩余的相当大部分。
2010年营业收入超过3000万美元的其它三家纯粹模式厂商包括：加拿大Micralyne，营业收入增长50%至3130万美元;台湾亚太优势微系统公司排名第三，营业收入为3120万美元;上一年排名第一的Dalsa Corp.，也是加拿大公司，2010年排名第四，营业收入是3090万美元。
半导体晶圆代工厂跨足微机电系统(MEMS)代工业务的比例已愈来愈高，包括台积电、联电、全球晶圆(GlobalFoundries)，甚至中国大陆中芯半导体，都积极扩大布局。
市场研究机构Yole Developpement认为，尽管目前大多数MEM S元件仍由整合元件制造商(IDM)内部自行生产，但随着特殊MEMS元件代工需求的增加，半导体业者未来在MEMS代工市场的重要性将日益显著。