安全规则
• 不允许放入：液体、有机、生物、不耐热 、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物 样品！（电镜镜筒最怕污染，无VP模式） • 凡是不导电样品必须镀导电膜。
安全规则
• 样品台一定要卡紧在样品室基座上，左右 不得晃动！
样品台背面：卡槽 样品台的安装：请注意图片上箭头方向
安全规则
• 样品观测结束后，一律将高压关掉（EHT OFF），否则会影响灯丝寿命。
图像的冻结是以手动 形式还是扫完整幅图 片后
积分次数或者是 平均次数
操作软件简介
• SEM Control：Stage界面
样品台目前所在的位 置 双击数据区，输入你 想要去的位置。输入 后，样品台移动到你 输入的位置。 点击功能块，输入 你要移动的距离。 例如：现在样品台 X，Y的位置在 64.125，64.485 你想让X和Y方向 各移动2mm，你可 在XY 激活后输入 2，2后点击OK即 可。
放在红外灯下烘干
银纳米结构材料制样
用导电胶把样品固定在样品台上
放入SEM腔室观测
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 10k×,Inlens探测器
5KV, 25k×,Inlens探测器
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 40k×,Inlens探测器
5KV, 100k×,Inlens探测器
• 测试时须换鞋，不得携带任何食物入内， 测试完后打扫卫生，保持扫描电镜室干净 整洁。 • 测试完后必须进行登记！
电镜室隔间
隔间放有高纯氮气钢 瓶、水循环机、UPS 电源、干泵、空气压 缩机。 由于隔间内无空调， 水循环机给机器降温 散热量很大，所以隔 间门要打开，不得关 闭，尤其在夏天，否 则水循环机负荷太大 会损坏。
操作软件简介
快捷键： 详细说明 见下。
操作软件简介
操作软件简介
操作软件简介
操作软件简介
数据区：显 示电镜当前 的一些参数
控制真空，灯 丝开关，EHT 的开关。当 Gun或者EHT 出现绿勾时， 代表正在工作。 Vac出现绿勾时， 代表真空已经 达到工作要求
操作软件
• 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘 目录中。 • 关闭高压，泄真空，取出样品。
操作电镜的基本流程
样品台控制器： 当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。 当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。 当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左 右移动。
当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。
蔡司场发射扫描电镜 操作培训
微纳科学技术研究院
Zeiss Ultra 55场发射扫描电镜（SEM）
SEM的特点
• 表（界）面形貌分析； • 分辨率高，可达纳米级；
• 放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十 万倍，连续可调，使用非常方便; • 三维立体效果好，扫描电镜图像景深大；
• 样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适 于样品台安装，可以直接观察，非导电样 品通过表面镀导电膜层处理即可。
操作软件简介
• 自检完毕后，在EM server log on 对话框中 输入用户名和密码，进入SmartSem软件。
操作软件简介
• 软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键 Ctrl＋g)
操作软件简介
SEM Control: Gun 界面
点击此处，可以 选择灯丝的开关 和高压的开关
操作电镜的基本流程
点击Import TIFF后， 跳出以下对话框
选择要调入图 片的文件夹
选择要调入的 图片
实验举例
观察银纳米结构材料的表面形貌 SEM的各项功能演示
银纳米结构材料制样
Ag微球水溶液
将Ag微球水溶液超声处理2分钟
银纳米结构材料制样
用移液枪取10 ul分散均匀的Ag微 球涂在清洁的硅片表面
注意事项
• 制样过程中，手不能直接接触小样品架及 样品台，防止手上的油脂等杂质污染真空 系统，要戴手套。 • 需要倾斜样品时，需经电镜管理老师同意 ，不得自行倾斜样品！
• 放置电镜的台子不能放置其它物体，不能 将身体靠在台子上！ • 电镜室温度范围：214C；湿度65％。
• 使用者不得更改计算机内之任何设定或私 自加载任何软件，不得将样品台、小样品 架等电镜室内的物品携出SEM实验室。 • 样品台须放在干净的培养皿中操作，不能 直接放在桌子上或其它不洁净物体上面。 用完后，样品台放入培养皿中盖好。
激活此处：样品台泄真空 时，Z方向自动下降到最低 点 激活此处：样品的上升 时，SEM的工作距离自 动进行更改。 激活此处：样品台控制 器失效
操作软件简介
• SEM Control：Vacuum界面
点击Pump，样 品室开始抽真空。 激活此处：当机 器在Standby状态 时，真空泵停止 工作。
点击Vent，泄掉样 品室内的真空。
Weight% 100.00 100.00
Atomic% 100.00
样品能谱分析： 线扫描
样品能谱分析：面分布图
谢谢！！
操作软件简介
激活对话框后调出用户工具栏
激活对话框后调出状态栏
操作软件简介
数据区控制
激活后，屏 幕上显示米 字准线
操作软件简介
常见问题：当使用AsB探 头时，如果看不见影像。 请先检查一下左图的设置 是否在“high”,然后检查 工作距离，EHT是否过低。 光阑尺寸是否过小。
操作软件简介
样品台进行初始化。 常见问题：当水冷 机出现不正常工作 后，重新启动水冷 机并使之正常工作。 有时会发生样品台 不能动，重新启动 电镜，EM Server 提示样品台没有初 始化。这时需要初 始化样品台
操作软件简介
• SEM Control: Aperture 面板
选择不同的尺寸的光阑 激活此处，可进行 光阑对中 观察六孔光阑 的位置和形状 光阑对中 灯丝对中 像散校准
电子束移动
高电流模式
操作软件简介
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的 分辨率 扫描速度 图像噪音去除的六种方 式选择：帧平均，帧积 分，线平均，线积分， 像素平均，连续平均。
安全规则
• 平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆， 以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头 和探测器！
安全规则
• 开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震 动极易损坏探测器。
安全规则
• 样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应 基本一致，样品表面平整，样品大小不得 超出大样品台边缘（3英寸硅片一次只能放 入一片），高度不得超过30mm,重量不得 超过500g。
双击或者拉动滑块 可以改变不同的 EHT
严禁擅自更改 Fil I和Extractor V处的数值。如 需更改，请先 取得服务工程 师的同意。
操作软件简介
• SEM control: Detector 面板
选择SE2 探头收集极电压 值 选择不同的探头 选择两种不同探头的信号 进行混合 混合信号时，两个 探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度
操作电镜的基本流程
图片保存：当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择 Send to，然后选择需要保存图片的格式
操作电镜的基本流程
选中需要保存 的图片格式后， 跳出左边的对 话框
选择你要保存 的目录 输入要保存 图片的名字
保存图片
操作电镜的基本流程
调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动 到屏幕中央。点击鼠标右键，点击Import Tiff
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 150k×,Inlens探测器
5KV, 200k×,Inlens探测器
用不同探测器观测样品的表面形貌
二次电子Inlens探测器
二次电子SE2探测器
用不同探测器观测样品的表面形貌
背散射ESB探测器
背散射CZBSD探测器
样品能谱分析: 点扫描
Element Ag L Totals
操作软件简介
基本 介绍
操作软件简介
导出保存设定 保存设定 预览或更改保存设定 保存设定管理 导入注解 保存注解
操作软件简介
点击Display LUT 跳出对话框
可以对图片的明亮对比度，三元色进 行修改
操作软件简介
双击或者Ctrl+A
跳出注解对话框
操作软件简介
选择注解对象 撤销上次更改 保存注解 导出区域选择 导出参数 注解区直线 圆型注解区 放大区域 固定长度标尺 角度测量 圆测量 上下宽测量 可移动上下宽测量 选择鼠标控制 导入注解 删除所有注解 加入文字注解 插入用户bmp格式图片 长方形注解区 粘帖面板 微标尺 点对点距离测量 正四边形测量 左右宽测量 可移动左右宽测量
操作软件简介说明
• Smart软件的启动 • 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中 选择START PROGRAMS������ SMARTSEM ������ SMARTSEM USER INTERFACE
操作软件简介
• 软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。 当设备出现硬件问题时，软件将自动出现 提示。
• 综合分析能力强。可安装多种附件，分别 检测不同的信号，可以分析成分、含量及 分布，如能谱仪（EDS）。 • 操作方便、快捷。
安全规则
• 设备的电源一定要确保持续和稳定。
• 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时， 切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图 红圈
安全规则
• 当样品台移动的时候，一定要在TV模式下， 确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品 台上升的过程中）要求WD>8mm
• 如需要回收样品，则取出样品后必须抽真 空，否则会增加抽真空的时间和难度。 • 关上氮气瓶阀门。 • 把重新设定的参数改回。