19.994)/2=0.0015inch=1.5mil.
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靶偏的表现形式﹐如下图﹕
靶偏表现为三个靶孔同向一个方向偏移﹐有一个或多个靶孔未能打中MARK中心的异常﹐通常延X方向偏 移时3个孔会同时偏移﹐延Y向偏移时会根据补偿设定不同偏移的孔数一到三不定﹐针对此状况钻靶人员 必须遵守SOP作业﹐在固定频率内增加对机器的校正﹐并规范作业姿势﹐以减少靶偏异常的出现。
b.鑽孔異常,當部分孔有切破內層pad時需要修改鑽孔程式﹐修改程式時要根據偏孔程度分step進 行修改﹐修改后經首件確認OK后量產﹐如發現首件有漲縮偏破現象﹐先確認壓合是否有做撈槽 區分標記﹐沒有做標記的料號須開異常反饋單會簽壓合﹑中測﹑PE等相關部門,對已有撈槽標記 的料號無須開單。
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✓漲縮的改善與預防
1.改善
1.1 改善流程﹕
鑽靶
無異常
成型
不同補償做 不同防呆標記
鑽孔首件
OK
NG
異 常
測量漲縮值
修改補償 鑽靶
修改程式
知會PE
量產
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OK
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1.2 改善方式 a.壓合異常.壓合鑽靶人員更換新料號后首先抽測10pnl板﹐發現有漲縮異常首先知會當班組長﹐ 組長要立即知會PE﹐漲縮嚴重的(如漲縮異常比例超過50%或漲縮R值超過8mil或漲縮最大值超過 10mil)開出異常反饋單會簽到PE及鑽孔﹑中測﹔如果為夜班﹐開好反饋單﹐交接給白班組長。 對于異常板須復測10pnl﹐根據測量數據選擇最佳補償值或篩選式鑽靶﹐補償規格每次放寬 2mil﹐成型時撈槽作區分標記﹐補償6mil撈2槽﹐8mil撈3槽﹐依此類推。
需要建立標靶進行監控﹐如下頁圖注。
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2.相對漲縮的測量﹕ 測量工程設定值數據與壓合后數據對比。 2.1 壓合后漲縮測量 壓合后產品可以選擇用X-Ray鑽靶機測量靶距或標靶距離來判定漲縮﹐ 也可以將靶孔用MARK方式鑽破后使用2D測量其數據。 2.2 鑽孔首件后漲縮測量 壓合鑽靶選用中央基准補償式鑽靶﹐當產品到鑽孔后靶孔已無法作為漲 縮測量的參考依據﹐此時可以選擇待鑽板用鑽靶機MARK方式鑽破外圍 孔﹐用X-Ray或2D測量孔距判定漲縮尺寸﹐8層以上有標靶的可以同壓 合測量方式。 2.3 中測漲縮的判定與測量 中測板因為加上外層線路﹐對漲縮的判定有一定遮蔽性。一般漲縮為批 量性異常﹐但也會有鑽孔首件等個別漲縮異常板流入﹐此時需要對異常 板蝕刻后造X-Ray﹐判定方式同鑽孔﹐中測板已無可供測量的孔﹐尺寸 漲縮 值不能測量。
例﹕某料號工具規格為 A1B1=20" B1C1=4.5" 壓合后實際測量靶距為Y=19.9928"﹐X=4.4991"﹐原內 層預放為X=Y=1.0003﹐請計算內層底片預放應改為多少﹖
Y向﹕根據R=r/Y=（19.9928-20）/20= -0.0072/20= -3.6/10000 X向﹕R= (4.4991-4.5)/4.5= -0.0009/4.5= - 2/10000 所以內層預放Y向增加0.00036﹐實際為1.0006﹐X向應增加0.0002﹐實際為1.0005。
压合中央基准补偿钻靶﹐发生3个靶孔同时延Y轴向内偏或外偏现象﹐为涨 缩补偿钻偏﹐其偏移标准看钻靶的补偿值﹐压合钻靶补偿≦6mil为我司目前 管控标准﹐其对靶偏的尺寸影响计算方法如下﹕
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CAM距离
孔位置
实际靶位
靶距中央
实际靶位
CAM距离 孔位置
中央基准补偿打靶的方式﹕产品因涨缩造成靶距的实际值和工程的CAM值不一致﹐因此钻靶输入固定值 时机器同时找不到两个靶心﹐也就无法下钻﹐必须设定补偿值﹐才可以生产。所谓补偿值就是实际值和 CAM值之间的允许误差。 如补偿值为6mil﹐就说明实际值和CAM值之间允许最大差异为6mil﹐超过规格则无法生产。 计算方法﹕中央基准补偿对孔距和CAM靶距造成差别值计算﹐假设靶距有缩﹐如上图﹔ 实际孔距离L= 实际靶距L1+(CAM靶距L2-实际靶距L1)/2,如果CAM靶距=20 inch﹐实际靶距比CAM靶距缩 6mil﹐则孔距离L=(20-0.006)+0.006/2=19.997inch﹐此时孔与实际靶位差别=(19.997-
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5.2.4 外偏与涨缩—看孔环与孔偏移 外偏导致原因一般有二﹐其一﹕外层底片对位失准﹔其二﹕底片涨缩。 由于外层曝光为单面曝光﹐底片对位为两面分开﹐如果有一面对位不准 即会造成单面曝偏﹐如有两面整体向一个方向偏移即可判定为涨缩。这 种判定是带有一些随机性﹐但应该可以COVER95%以上异常。
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Have a rest。
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✓涨缩发生的时机与原因
涨缩影响最大的是环境﹐而无论对环境做怎样管控﹐涨缩变化也同样不可控制﹐我们需要去做管控的是环 境以外的其它部分。
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✓漲縮的測量
1.絕對漲縮的測量﹕
測量內層底片曝光前數據與壓合后數據對比。
异常受影响的因素过多﹐生产中有任意参数变更都会引起涨异常的发生。
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3.引起涨缩异常的要因分析﹔
压机热盘温度 均匀性是否达标
内层底片检测是否 按标准进行
机
钻靶机钻 靶精度是 否达标
环 压机升温速 率是否均匀
季节﹑天气 变化
底片放置的 时间和条件
内层板棕化 后放置条件
压合冷压设置 的冰水温度
移
同心圆 一边正 常﹐另 一边同 时往一 个方向 偏移
以上归纳的为较为常见的几种涨缩与铆偏容易混淆的异常区分办法﹐而实际生产中会出现更多更复杂的现 象﹐那样就需要我们凭借经验去做层别﹐判定异常的真实归属。
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5.2.2 涨缩与内短—同心圆判定(查看是否存在层间偏移)。
内层短路一般由底片漏光或吸气不良﹑显影不洁等造成﹐压合及基板的铜粉铜屑和压合的铆钉屑也会引起内 短。而涨缩引起的内短则是因层间涨缩差异造成﹐只会存在于8层以上板﹐因此只需要观察同心圆是否有涨缩 即可判定涨缩对内短有多大贡献度。
1.1 4層板測量
因為4層板只有一張內層板﹐壓合前測量靶距﹐壓合后MARK中心鑽靶
后再測靶距﹐即是其絕對漲縮數據﹐至于層偏的影響一般可以不予考
慮。
1.2 6層板測量
6層板共有兩張內層板﹐基本上為對稱疊構﹐因此壓合后兩面漲縮差異
可以不考慮﹐測量方式與4層板類似。
1.3 8層以上板測量
8層以上板因為層次排列不同﹐內外層次壓合中會產生較大差異﹐因此
上
第一步﹑确定孔偏的程度及趋势﹔从孔密集区看起﹐某区域 全部与内层pad切破超过180°为非常严重﹐切破超过90°为严
重﹐偏切为异常﹐未切为正常。
右
第二步﹑判定原因﹔如整pnl或部分step有发生异常以上现象
左
﹐查看靶孔与外围孔状况﹐8层以上板首先确定同心圆状况。
第三步﹑如外围孔与靶孔表象不符﹐测量靶距﹐检测压合是
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两边板面孔对应孔环向同一方向偏移﹐可判定为涨缩。涨缩造成的外偏多为 整体性﹐板两边的偏移呈对称状﹐有一定规律。外偏形成取决与底片对位及 尺寸管控﹐表现规律不明显。
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5.2.5 涨缩与靶偏—X-ray看靶
钻靶过程中会因设备精度问题加上人员操作不当引起靶偏不良﹐涨缩的补偿钻靶也会引起靶偏﹐两种靶 偏是有分别的﹐详见下图﹕
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2.預防 預防流程圖 FA
量產 曝光
OK 壓合
鑽靶
出貨
NG
測量漲縮值
申請新底片
重設補償值
知會PE
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通知工程
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3.補償值的設定方式 Y向補償值(R)=漲縮值(r)/CAM值(Y) X向補償值(R)=漲縮值(r)/CAM值(X) 漲縮值(r)=壓合后靶距(L)-CAM值(Y or X) 計算結果精確到1/10000位﹐1/10000后的尾數一般使用棄尾法﹐也可以使用四舍五入法。
到线路﹐造成层间短路。
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5.2.3 涨缩与钻偏—X-Ray照孔确认
假设以上为4个PCS﹐以上孔偏方向如红箭头所示﹐孔偏方向为离心式扩张偏移﹐可以判定此 板有整板内缩现象﹔另有单PCS或部分PCS的孔偏呈现出扩张式﹐也可判定为涨缩异常。
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钻孔所有孔均向一个方向偏移﹐如果压合钻靶未偏移﹐即可断定为钻孔整体移位。当然﹐钻孔钻偏大多 数是BGA密集区部分孔偏移﹐判定人须根据具体情况做判断﹐不可和涨缩引起的钻偏混淆。
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✓CASE STUDY 1.異常判定﹕中測有一8層板﹐小片數4﹐其中固定為某一step導通孔密集區出現內層short﹐20%不良﹐同時無 法測量出其固定點﹐蝕刻后經照同心圓確認如下圖﹕
其造成內S的原因為何﹐怎樣導致定step內 S﹖請分析原因。
பைடு நூலகம்
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2.現有一大量產料號﹐E024E8018A1﹐內層未做FA﹐壓合后發現此料號批量性出現漲縮超規 格異常﹐每層靶邊設有標靶。請問壓合當班組長該如何處理此異常﹖
为 何
人
底片制作时是否按 抓好的补偿进行预
基板的厚 度以及铜
厚
压合参数设 置是否合理
涨 缩
板层多少及 板厚是否一致
放或预缩
P/P的物性与
残铜率及工
基板底片的 尺寸安定性