Alcatel 氦质谱检漏仪使用和维护基础By 姚晓荣, Aug., 2009Alcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍Self ContainedUnitsAlways the right solution for any leak detection application.Presentation Title —2All rights reserved©2004, AlcatelAlcatel 氦质谱检漏仪2代产品介绍与第一代产品比较后的改进和特点› 1.可检精度:5*10E-12mBar.l/s› 2.人机友好界面› 3.质谱室双灯丝结构› 4.氦本底清零功能› 5.可选配干泵/油泵做为前级泵Touch sceen panelColor graphic interfaceRecording modePresentation Title —3All rights reserved©2004, AlcatelAlcatel 氦质谱检漏仪3代产品介绍›ASM310 新功能:› 1.中文界面› 2.触摸屏幕› 3.重量轻:21Kg› 4.具备蓝牙通讯模块Presentation Title —4All rights reserved©2004, AlcatelPresentation Title —5All rights reserved ©2004, AlcatelH2000+型，平板式H2000-C PLUS型便携式H2000+型标准台式ILS500 高级系统，基于H2000+型Alcatel 氢/氮气检漏仪介绍Alcatel氦质谱检漏仪工作原理›检漏仪三大模块:› 1. 真空系统›前级泵+分子泵组合成真空系统,以获得高真空› 2.检测系统›阀门,内置漏孔,氦质谱室› 3.电路系统›主板,电源板,分子泵驱动板,通信板组成的电信号控制系统Presentation Title —6All rights reserved©2004, Alcatel真空泵的工作原理和维护›初抽泵的保养和维护:›ASM1142的前级泵为旋片泵既油泵,因此要注意润滑油的油位和颜色,油雾分离器的检查和更换›分子泵的保养和维护:›注意不要有粉尘/颗粒进入,会导致转子卡住Presentation Title —7All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱室工作原理介绍›为什么用氦气做为示宗气体?›氦的特性:›分子量小,活跃›空气中的含量小:5PPM›氦为惰性气体,无毒无害Presentation Title —8All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养›质谱室内的灯丝在长时间工作后,会产生氧化现象,使得整个质谱室腔壁留有氧化物,需要周期性的进行保养›保养时需要的工具:6mm内六角,尖嘴钳,长柄十字/一字小螺丝刀›保养所需材料:无水酒精,细砂皮纸,干净的布或纸Presentation Title —9All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养先拆卸下紧张固螺丝,再松开连接螺丝紧固螺丝连接螺丝Presentation Title —10All rights reserved©2004, AlcatelPresentation Title —11All rights reserved ©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养›拆卸电子收集器:拆卸紧固螺丝Presentation Title —12All rights reserved ©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养氦质谱室维护和保养Presentation Title —13All rights reserved©2004, AlcatelPresentation Title —14All rights reserved ©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养Presentation Title —15All rights reserved ©2004, Alcatel氦质谱室维护和保养电气系统注意事项›基于氦检漏仪的自身的工作原理,所以电子线路板的信号都以mA级进行传递›因此要注意环境温度对机器的影响›检漏仪的工作环境,确保工作环境的氦本底›检漏仪内的油泵的检查,是否有漏油造成线路板故障Presentation Title —16All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱检漏仪的检漏方式Presentation Title —18All rights reserved ©2004, AlcatelASM180 TDIALCATELHe喷枪喷氦时应当由上往下从被测件顶部开始检漏.Proprietary information -Ron Ligthart氦质谱检漏仪的检漏方法真空法（喷氦法）检漏（找漏点）Presentation Title —19All rights reserved ©2004, AlcatelHe200PSI HeASM 120HALCATEL检测时吸枪应当由下往上从被测件的底部开始检漏.限制大气环境中的氦本底为5ppm.无法测总漏率(无法累计)对操作者的水平有依赖性Proprietary information -Ron Ligthart氦质谱检漏仪的检漏方法正压法（吸枪法）检漏（找漏点）Presentation Title —20All rights reserved ©2004, Alcatel被测件处于氦正压下并非真空吸尘器不能吸液体吸枪滤芯限流装置流速@ 1 cc/sec.Alcatel 吸枪的响应时间和恢复时间取决于吸枪软管的长度(0.2 秒/米).注意: 尽可能使环境中的氦本底最小化.检漏时吸枪与被测表面保持一定夹角以确保流量和防止滤芯堵塞. 为了有最大的灵敏度，请确保检漏的速度不超过1 英寸/秒.Helium 5 ppm操作时需要由下至上Proprietary information -Ron Ligthart氦质谱检漏仪的检漏方法吸枪法基础和实际操作Presentation Title —21All rights reserved ©2004, Alcatel被测件HeHeASM 142A L C A T E LASM 142A L C A T E L被测件HeHe与吸枪法相比，喷氦式/真空法检漏的灵敏度更高，因为在大气中还含有5ppm 的氦气氦质谱检漏仪的检漏方法两种检漏方式的灵敏度比较Presentation Title —22All rights reserved ©2004, AlcatelHeASM 142A L C A T E L被测件HeÎ将被测件充氦，然后放置于一个与检漏仪相连的真空腔内主要的优点Î非常高的灵敏度Î可以连接辅助泵，从而提高生产量氦质谱检漏仪的检漏方法总漏率检测（真空法）Presentation Title —23All rights reserved ©2004, Alcatel被测件（内部为正压）01氦气辅助泵（用于缩短节拍时间）可选项真空计（到达检测压力后停辅助泵）01对被测件抽真空被测件放大气真空阀氦气打压阀真空打压辅助泵阀真空腔滤芯Proprietary information -Ron Ligthart氦质谱检漏仪的检漏方法总漏率检测（真空法）Presentation Title —24All rights reserved ©2004, AlcatelHe被测件HeASM 142A L C A T E LÎ将被测件充氦，然后放置于一个与吸枪探头相连的累积腔内主要的优点Î总漏率检测，可靠Î相对而言成本较低氦质谱检漏仪的检漏方法总漏率检测（吸枪式累积）氦质谱检漏仪检漏方法清洁与干燥He如果漏点被油脂，水或各种各样的沉积物，粉尘或颗粒覆盖的话，氦气将无法通过漏点被检漏仪捕捉！！！Î对被测件进行清洗Î清洗完后需要干燥Presentation Title —25All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱检漏仪的检漏方法其它准备工作Î对检漏仪进行灵敏度校准,并确定检漏系统的反应时间Î查看图纸,熟悉被检部件; 了解需检漏点及可能发生泄漏的部位Î检漏系统管路应良好密封连接,尽量避免使用真空脂.Presentation Title —26All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱检漏仪的检漏方法喷氦式检漏的注意事项Î应考虑被检件耐负压的性能Î掌握适当的喷氦时间.太短则灵敏度太低;太长则检漏工作速度太慢并浪费氦气.Î对大腔体或长管路检漏时, 可先用漏孔装于远端大致观测检漏仪氦信号响应时间,以确定观测等待时间.Î检漏次序:从上往下,由近往远逐点进行喷吹.Î粗检时用大口径喷嘴使氦气流的覆盖面积大些,找出漏点所在的区域后,改用小口径喷嘴寻找漏点的准确位置.Presentation Title —27All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱检漏仪的检漏方法喷氦式检漏的注意事项Î检出的大漏孔要经修补后再去找小漏孔.Î当存在两个相距很近的可疑漏点时,应先将一个点盖住,再用最细的喷嘴喷吹另一点.Î当喷嘴喷吹某一点时,如果检漏仪指示有变化,但其上升速度很慢且指示值很不一致,这表明临近的其它地方有大漏.Î检出漏孔后,还应再作几次复检.Î检漏场地要有良好的通风条件,但不应影响喷嘴喷出氦气流的方向. Presentation Title —28All rights reserved©2004, Alcatel氦质谱检漏仪的检漏方法吸枪式检漏的注意事项Î应考虑被检件耐正压的性能Î检漏次序:从下往上,由远往近.Î移动速度应缓慢;吸枪距表面1CM左右为佳,过远则灵敏度降低,过近则容易吸如表面附着的粉尘易造成吸枪过滤芯的堵塞.Î检漏仪指示有漏时, 漏孔不一定在吸嘴所对的位置, 在此范围内,减小吸枪移动速度及距离并反复查找以确定漏孔的准确位置.Î初检时,被检件勿充入高浓度/高压力氦气, 因如有大漏孔则大量氦气泄漏出被检件,造成较大浪费并严重污染环境本底,给检漏工作带来很大干扰.Presentation Title —29All rights reserved©2004, AlcatelPresentation Title —30All rights reserved ©2004, AlcatelÎ大漏修补后,再充入高浓度/高压力氦气,对小漏孔进行检查.Î吸枪置于未受氦污染的空气中时,检漏仪应显示5x10-6 mbar.l/s 的漏率值(此为空气中氦气浓度5PPM).Î吸枪法检漏时其灵敏度受诸多因素影响:漏孔的形状,吸枪相对于漏孔的距离,吸枪相对于漏孔的夹角,吸枪移动的速度,吸嘴的形状,吸枪的吸气能力,空气中氦本底浓度的大小及稳定情况等.Î检漏完毕后,应将被检件内的氦气回收或排出室外,并注意检漏场所的通风.Î为缩短反应时间,尽可能使用较短的吸枪软管.氦质谱检漏仪的检漏方法吸枪式检漏的注意事项氦气污染Presentation Title —32All rights reserved ©2004, Alcatel如果大量的氦气进入到检漏仪中，探测器有可能遭到污染，从而氦气本底就会比通常情况要高因此，清除检漏仪中的氦气相当重要. 但是，一般要怎么做呢?Î等待氦气被泵抽走Î用氮气或是用空气进行吹扫Î通过使用检漏仪上的“防止污染”功能避免大量氦气进入检漏仪；使用此功能后，当氦气信号太高时，就会自动停止测试。