氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：型号：ZQJ-542
一、设备组成及工作原理
1、设备组成框图
氦质谱检漏仪
加压罐
双级旋片真空泵
电阻真空计
氦气瓶
重氟油粗检装置
检漏盒
检漏托盘
氦气喷抢
2、设备工作原理
检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，
机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进
入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参
数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子
（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件
氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插
座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作
氦质谱检漏仪
图1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。
2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置；氦气瓶减压阀是否漏气现象。
3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。
重氟油粗检
图3
1、查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、在油箱中加入适量的重氟油
3、
插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。
四、详细操作启动检漏仪1、连接电源插头，打开检漏仪开关。
2、机械泵开始启动。
3、面板上的指示灯亮。
4、
液晶屏（LCD ）显示如下信息：
当分子泵达到正常转速（100%）后，LCD 显示：
当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：
如果检漏仪存放一段时间后的启动
如果检漏仪长时间不用后，再次开机会增加一额外的启动时间用来排出系统内的气体。
此时屏幕显示如下图所示：
PLEASE
WAIT
HIGH. AC PUMP:
1%
PLEASE
WAIT 00:09
PLEASE
WAIT
HIGH. AC PUMP:
OK
FILAMENT RAMP UP
#2
READY FOR CYCLE INLET VENT:
ON
PLEASE W AIT Storage days: Delay(mini:s): 08:40 ABORT?
PRESS RESET
检漏方法概述
根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图
4所示
是
是
是
（一）半检漏（喷氦法）的详细步骤：1、插上电源，打开检漏仪总开关。
等待2到3分钟，当听到一阵风
鸣声之后说明检漏仪已完全启动。
2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。
打开检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。
用无尘布沾上
酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；最后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。
3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。
在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，
然后点击检漏
按钮进行漏率检测。
等漏率值稳定之后，拿装好氮气的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这是漏率值都会有相应的变
被检件可以被连接在真空管路上？
被检件可以被抽真空？
全检（背压法）
被检件可以被抽真空？
半检漏（喷氦法）
化。
如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。
4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
(二)全检（背压法）
1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用
一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。
2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力0.2Mpa 的压力加压4h。
加压罐装置如下图所示：
3、在检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖板。
进行检漏。
检漏过程中不能揭开盖板。
4、将在检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进
一步的检漏。
主要原因是担心有些组件的漏率合格在检漏仪抽真空
时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影
响检测的结果因此才进行氟油粗检。
氟油粗检的时候通过肉眼观察气泡的泄露情况即可最终判断该组件的漏率是否合格。
5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。
写出设备的详细操作步骤，列出典型的工艺参数设置；如果需要编制程序，写出简要的编程过程和要领。
1、
2、
…
五、设备工作外部条件关断操作
（一）关闭检漏仪
仪器可以在任何情况关闭，但是建议如果检漏仪长时间不用，需要遵循下面的步骤进行关闭！
1、在检漏口上堵上盲板。
2、按下检漏按钮，使检漏仪处于检漏状态。
3、等到漏率达到最小可检漏率状态。
4、确认放气阀处于手动关闭。
5、按下检漏键停止检漏。
6、关闭检漏开关。
（二）重氟油检漏
关闭照明，加热拔下插头切断电源；当重氟油检漏长期不用时可等油冷却之后重新装入油桶里储存。
（三）加压罐
工作完成后关闭氦气减压阀，并把减压阀两个表中的气体排尽。
六、外部工作条件异常处理
1、气源供应不足时检查气瓶是否用完，还是有泄露情况，及时解决。
2、真空泵不能正常运行，检查泵油其否足够，不足时及时添加。
七、操作安全注意事项
1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。
必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。
由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在
加压罐上方贴一个警告标识。
2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。
以防气体冲击带来伤害。
3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。
以防气体冲击带来伤害。
4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。
以防止油飞溅烫伤。
八、日常保养及故障处理
设备日常保养：
1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油
呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。
此时，应放
出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2、定期清洗或更换机械泵的排气管。
如果发现排气管内积存了很
多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风
吹干或是自然晾干。
（二）常见故障处理。