水平单向流
1.侧送(送风墙满 布高效过滤器) 2.侧送(高效空气 过滤器占送风墙 面积≥40%) 1.回风墙满布回 风口 2. 回风墙局部布 置回风口
非单向流
1.顶送 2.上侧墙送风
非单向流
1.顶送 2.上侧墙送风
非单向流
1.顶送 2.上侧墙送风
1.单侧墙下部布 置回风口 2. 走廊回风(走 廊内均布回风口 或端部集中回风)
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非单方向流方式
适用洁净等级 1,000-100,000级
乱流式典型结构形式
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2.层流式
层流式空气气流运动成一均匀直线形，空气过 滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回 风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境 使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其 型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹 出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向 排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间内即可达到要 求，稳定运转。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩 充。 (2)垂直层流式：空气由上往下吹，可得较高之 洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可 快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳 定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天 花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻 烦。
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适用洁净等级 10-100000级并装
复合式典型结构形式
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洁净室设计基础
气流组织型式及换气次数
空气洁净度 100级 10000级 100000级 大于100000级
气流流型
气 主要 送风 流 方式 组 主要 回风 型 方式 织
垂直单向流
1.顶送(高效过滤 器占顶棚面积 ≥60%) 2.侧布高效过滤 器顶棚设阻尼层 送风 1.相对两侧墙下 部均布回风口 2.格棚地面回风
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人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染： （1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片 皮肤（平均大小为30*60*3微米） （2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。 （3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。 （4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。 （5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。 （6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。 （7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。 2、分析国外试验资料显示： （1） 无尘室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为10~300个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150~1000个/min.人 快步行走时的发菌量为 900~2500个/min.人 （2） 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人 （3） 喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人 （4） 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人 （5） 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 所以，洁净间的管理，关键是人员的管理，只有每位员工严格遵守洁净间管理规 定，才能真正发挥洁净间的作用，从而有效保证产线的正常运行，减少产品的人为不 良率，降低成本，提高企业产品的竞争能力。 25
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感性认知
一般微粒粒径对比
0.3μm 微尘粒径
肉眼可视 (5μm)
人类头发 (15μm)
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感性认知
一般自然界气体等级
外大气层
1,000
大气层 田园地带
100,000
10,000
街市区
1,000,000
工业地带
10,000,000
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洁净室之分类(按形式）
1.乱流式
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气 过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室 两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非 直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状 态。此型式适用于洁净室等级1,000100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本低，洁 净室扩充比较容易 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间 飘浮不易排出，易污染制程产品。另外 若系统停止运转再激活，欲需达到设定 要求之洁净度，往往须耗时相当长一段 时间。
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洁净人员管理
发尘源及量：
1、产品及设施 无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流 入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小， 可忽略； 由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少， 一般占10%以下。 2、人 发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料 和样式的改进，发尘绝对量也在不断减少。 A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为的确良、去静电纯涤纶、 尼龙； B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少； C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍； D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。
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洁净室管控手段
制定监测表
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测试采样
1、方法 计数浓度法 2、仪器 光散射粒子计数器 3、采样点布置
a）采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。 b）采样点多于点时，可以在离地面0.8m～1.5m高度的区域内分层布置
4、最小采样量
面积m2 〈10 ≥10～ 〈20 ≥20～〈40 ≥40～〈100 ≥100～〈200 ≥200～〈400 ≥400～〈1000 ≥1000 ～〈2000 2000 洁净度级别 1000 10 000 2～3 2 4 2 8 2 16 4 40 10 80 20 160 40 400 100 800 200 100 000 2 2 2 2 3 6 13 32 63
头发断面
15μm
肉眼可见 5μm
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送风量及FFU数量计算
1.洁净室的新鲜送风量应取以下两项中的最大值:
a.补偿室内排风量和保证室内正压值所需空气量之和Q1; b.保证洁净室工作人员所需足够的新鲜空气量Q2(依据<洁 净厂房设计规范>每人每小时新风量不小于40m3);

Q=Max(Q1&Q2)或 Q=Max( Q1&Q2 )+ Q泄漏量 Q泄漏量=µA(ΔP)0.5 µ-泄漏系数,A-泄漏面积, ΔP-压差;
11FBiblioteka U垂直单方向流方式适用洁净等级 1-100级
层流式典型结构形式
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3.复合式
混流方式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可 提供局部超洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过 滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度 等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此 型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予 以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B. 维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自 动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至 100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔 离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省 能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。 药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级 10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的 洁净度等级提高为10~1000级以上。
式
1.单侧墙下部布 置回风口 2.走廊回风(走廊 内均布回风口或 端部集中回风) 3.顶部布置回风 口(有粉尘和有害 物质的洁净室除 外)
1.单侧墙下部布 置回风口 2.走廊回风(走廊 内均布回风口或 端部集中回风) 3.顶部布置回风 口(室内粉尘量大 和有害物质的洁 净室除外)
送 气流流经 风
室内断面 风速(m/s)
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美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
1m3=35.3ft3。 对照我国标准及美国标准可以看出，我国的3级标准与美国的1级标 准相当。从而可以看出随着半导体行业从um量级向nm量级发展的过程 中，洁净室等级要求也越来越高。 但目前半导体行业中普遍采用的均为千级（6级）或万级（7级）， 只有局部区域的高自动化作业才要求百级（5级）甚至更高。
此外、在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器: 1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后， 气流速度仍不能增大。 2 高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5～2 倍。 3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
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温湿度控制
初 级 滤 网
預 冷 盘 管 預 热 盘 管 加 湿 器 截 水 器 冷 却 盘 管
四、洁净室人员管理
1、洁净室最主要的污染源 发尘源及量
人的污染--发菌量
2、洁净室人员管理规定
洁净室之定义
洁净室(Clean Room),也称为无尘室。 洁净室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、 细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、 气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需 求范围内，而给予特别设计的房间。亦即不论外面空气条 件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿 度及压力等生产所需环境因素性能的特性。 因此，洁净室是保证诸如医药、半导体、太阳能电池 板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要
2.FFU数量=QS/QFFU额定风量,
QS=V*ACH (V-房间体积;ACH-换气次数.)
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滤网的使用寿命
当过滤网达到额定容尘量的时候即需要更换. T=P/N1*10-3Qtη T-过滤器使用寿命；（d） P-过滤器容尘量;(g) N1-过滤器前空气含尘浓度;(mg/m3) Q-过滤器的风量;(m3/h) t- 过滤器一天的工作时间;(h) η- 计算过滤器的计重效率.