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镀膜二线平面图
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进片室
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缓冲室
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缓冲室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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过度室
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过度室
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镀膜室
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镀膜室
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缓冲室
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缓冲室
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出片室
3
3-1
5 7 2 4 6 4-1 1-1 2-1
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－滑阀泵
－罗茨泵
－电阻规
－气缸
－分子泵
－铌Nb、硅靶Si
－旋转靶
－移动ＩＴＯ靶
－ITO靶(In2O3+SnO2氧化铟锡)
－插板阀
1：H－150GB滑阀泵（极限真空：0.8Pa） 5：ＺＪ－300G罗茨泵
2：ZJP－300罗茨泵 (极限真空：5*10-2 ) 6：H－150GB滑阀泵
3：ZJP－600B罗茨泵 7：ZJP－600B罗茨泵
4：ZH－50G滑阀泵
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如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图 中a），下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时 （图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起 一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封 入的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从 泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d）， 上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e） 位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积 的气体。
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镀膜一线平面图
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进片室
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缓冲室
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缓冲室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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镀膜室
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过度室
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过度室
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过度室
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镀膜室
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缓冲室
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缓冲室
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出片室
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3-1
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2 4 6 4-1 1-1 2-1
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－滑阀泵
－罗茨泵
－电阻规
－气缸
－分子泵
－铌Nb、硅靶Si
－ITO靶(In2O3+SnO2氧化铟锡)
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罗茨真空泵的结构工作示意图
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工作原理
ZJ系列罗茨泵的结构如上图所示。在泵腔内，有二个“8”字 形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一 对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与 泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由 于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、 中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构 和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极 限真空度，可将罗茨泵串联使用。由于转子的不断旋转，被抽 气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口 排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体 没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与 排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返 冲到空 间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排 出泵外。 2019/1/3 15
－插板阀
1：H－150GB滑阀泵（极限真空：0.8Pa） 5：ＺＪ－300G罗茨泵
2：ZJP－300罗茨泵 (极限真空：5*10-2 ) 6：H－150GB滑阀泵
3：ZJP－600B罗茨泵 7：ZJP－600B罗茨泵
4：ZH－50G滑阀泵
2-12室每个箱体内有18组加热器；13室10组加热器
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出现故障及解决办法 真空度不高
1、油被污染 2、密封漏气 3、排气阀门失灵 4、有大气漏入
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解决方法
1、更换新真空泵油 2、更换轴端密封 3、修理排气阀门.或更11
泵有异常噪音和剧烈振动
1、基础不牢固 2、零部件松动或损坏 3、排气阀门工作不正常 4、异物落入泵内 5、轴承磨损或润滑不良 6、严重漏气
镀膜基础知识
品管部
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目 录
一、培训意义 二、培训目的 三、镀膜设备平面分布图 四、滑阀泵工作原理及作用 五、罗茨泵工作原理及作用 六、分子泵工作原理及作用
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培 训 意 义
1、职业培训能提高员工的工作能力 2、职业培训有利于企业获得竞争优势 3、职业培训有利于改善企业的工作质量 4、职业培训有利于高效工作绩效系统的构建 5、职业培训要可以满足员工实现自我价值的需要， 在现代企业中，员工的工作目 的更重要的是为 了“高级”需求----自我价值实现
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培 训 目 的
培训的目的就是要提升你们的职业能力，使其更 好地胜任现在的日常工作及未来的工作任务。在 能力培训方面，传统上的培训重点一般放在基本 技能与高级技能两个层次上，但是未来的工作需 要更为广泛的专业知识，培训学会知识共享，创 造性地运用知识来调整产品或服务的能力。同时， 培训使你们的工作能力提高，为取得良好的工作 绩效提供了可能，也为你们提供更多的晋升和较 高收入的机会。
1-泵体 2-轴 3-偏心轮 4-滑阀套 5-滑阀板 6-滑阀导轨 7-排气阀门
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滑阀式油封机械泵（简称滑阀泵）同旋片泵一样，也是一种 变容式气体传输泵。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。 滑阀泵由于其结构特点，容量比旋片泵大得多，因此常常被 用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级 泵的极限压力对小泵≤0.6Pa，对大泵≤1.3Pa（均关气镇）， 双级泵的极限压力≤0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的 滑阀泵多采用单级型式。 由于滑阀泵的旋转质量有较大 的偏心，如果滑很好的质量平衡，在运转时会产生较大的振 动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线，因此 很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。做好滑阀的质量平衡， 减少泵的振动一直是滑阀泵需要解决的一个重要课题。
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罗茨泵的特点是
1．转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，互不接触，不 需要用油润滑。2．转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从 而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。3．泵工作时振动小,容积 大,容积利用系数＝0.5左右。4．在泵腔内并不发生像机械真空泵 那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此，可抽除可凝 性蒸汽。5．启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运 转维护费用低。6．罗茨泵在很宽的压力范围内 （1000Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出 突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵 (1000Pa～1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它 最适合作增压泵用。