4. 化学危害：
D毒性气体：
z中毒形式：
•急性 – 短期的, 高浓度，即时的效果．中毒很快发生并对人体 立即造成伤害．如： CO; AsH3; PH3; Cl2…… •几种术语:
TLV: TLV-TWA: STEL: LC50: LD50:
•慢性 – 长期反复接触造成的中毒效果，通常经过很长时间才会 慢慢显现出来．
z 氢气- 特别注意
¾ 低激发能源 ¾ 宽的燃烧范围 ¾ 通常情况下视为自燃气体 ¾ 快的扩散速度
z 控制方法( 防止火三角的ignition形成)
应距离可燃物, 氧化剂,激发能源至少20英尺. ¾ 限制;可燃物; 氧化剂; 激发能源 ¾ 气体泄漏探测系统 ¾ 通风良好
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
¾ 当氧含量少于１２％时，会导致快速失去知觉甚至死亡. ¾ 在正常大气压力下, 氧气浓度不应低于 19.5% ¾ 例如:
• Nitrogen • Argon • lium • Sulfur Hexafluoride, etc.
¾ 气体浓度在其燃烧范围内; ¾ 氧化介质如：空气或氧气; 及： ¾ 激发能源
z 燃烧极限：
¾ 燃烧下限( LFL):4.0% （对于氢气）
¾ 燃烧上限 (UFL):75% （对于氢气） z 例如：
¾ Hydrogen, Carbon Monoxide; Methane; Propane; Ethylene, Acetylene
z 定义: 能够加速燃烧或使可燃物质燃烧的物质，具有很高的活泼性和反应性．
z 例如:
¾ Oxygen ¾ Fluorine ¾ Chlorine ¾ Nitrous Oxide( Unstable) ¾ Nitrogen Oxide ¾ Chlorine Trifluoride ¾ Nitrogen Trifluoride
3
LC50
PPM/4 hour
N/A
9600 11 1380 29
LD50
mg/kg
N/A 350
1250
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
z中毒方式
¾呼吸 ¾皮肤吸收 ¾消化系统
z控制中毒的方法
¾控制库存 ¾充分通风
¾正常通风（开放式，自然通风） ¾Emergency（风机或排风扇强制通风） ¾监测系统 ¾环境监测器 ¾医疗检测 ¾个人防护用具
z 控制方法：
¾ 尽量洁净( 无油，油脂,或有机物 ) ¾ 对氟气应用系统进行金属钝化 ¾ 远离有机物质，，尽管有些有机物在空气中不燃烧．
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9 窒息性气体：
z 普通窒息性气体 (惰性气体) 定义: 毒性很低或根本无毒，但能取代空气，导致氧气缺乏的气体，也称做 惰性气体或不燃气体
z 控制方法: 同燃烧气体, 另外还有：
¾ 可能情况下用惰性气体稀释 ¾ 控制库存 ¾ 采取流量控制并采用充分的通风 ¾ 系统设计防止回流
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 燃烧气体：
z DOT 定义: 同空气混合形成浓度不超过１３％的可燃气体混和物的压缩气体，或其 空气混合物的燃烧范围不少于１２％的压缩气体，而不考虑其燃烧下限 ． 引燃燃烧气体需要同时具备三个条件:
9压力 9毒性 9腐蚀性 9自燃性 9燃烧性 9氧化性 9窒息性 9深冷性
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
3. 物理危害：
D压力
•是所有压缩气体及液化气体共有的物理危害性，钢瓶或压力容器可 承受15 psig － 6000 psig 的压力. 在失控情况下，突然的压力释 放或泄漏会造成人身的伤害或别的破坏．
9 自燃气体：
z 定义:
同环境空气接触能自行点火并燃烧的物质． 自燃物质的自燃 点通常低于环境温度．
z 例如:
¾ Disilane:低于54°C (130°F) ¾ Silane:极低 ¾ Phosphine:100°C (212°F) ¾ Diborane： 40 to 50°C (104-122°F) ¾ Germane:极低
9 惰性气体 • N2; He; Ar; Kr; Xe; CF4; C2F6; C3F8; CHF3……
2. 电子特种气体的危害
一般情况下，所有的特种气体均用钢瓶或钢质容器盛装或运输，每种气体 都有一种或两种以上的危害性．
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体的主要危险和危害性如下 :
可燃气体的燃烧范围
Gas
SiH4 NH3 H2 C2H2 CH4 PH3 B2H6 GeH4
Flammable Range 1.4~96% 15~27% 4~75% 2.5~82% 5~15% 1.6~98% 0.8~98% N/A
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9 氧化性气体：
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
特种气体毒性比较表
Gas TLV-TWA STEL
PEL
IDLH
PPM
PPM
PPM
PPM
CF4
N/A
N/A
N/A
N/A
NH3
20
35
300
SiH4
5
PH3
0.3
1
0.3
50
GeH4
0.2
0.2
B2H6
0.1
0.1
15
AsH3
0.05
0.05
¾废物处理
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
9腐蚀性气体
z对人体组织器官的破坏：
¾皮肤 ¾眼睛 ¾呼吸道 ¾组织器官
z腐蚀性气体中毒的途径：
¾呼吸 ¾皮肤接触 ¾消化系统
z分类：
¾酸性: HCl; HBr; Cl2; BF3; BCl3; SO2 ¾碱性 : NH3
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Chapter 1:ESG Basic Knowledge
电子特种气体 基础知识
第一章：电子特种气体基础知识
1. 电子特种气体分类：
9 可燃气体 • SiH4; PH3; B2H6; AsH3; GeH4; H2 ; CH2F2; SiH2Cl2; SiHCl3…….
9 氧化性气体 • O2; NF3; N2O; Cl2; ClF3; NO……
9 腐蚀性气体 • HCl; HBr; BCl3; BF3; SiCl4; WF6; Cl2; SiHCl3; SiH2Cl2……