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預浸劑:PED – 104
▪ 前言: 活化預浸劑 PED – 104是作為保護活化
槽藥液的前站藥液以防止前水洗水帶入活化 槽而降低其濃度。
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5.活化劑作用（觸媒）
活化劑為帶負電之錫鈀膠體，它能在板 面及孔內吸附錫鈀膠體，以利後續之剝錫殼 及化學銅。
Throwing Power的計算
T.P.（﹪）＝{【（E＋F）÷2】÷【（A＋B＋C＋D）÷4】}×100﹪
A
B
E C
F D
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树立质量法制观念、提高全员质量意 识。20.10.2120.10.21Wednes day, October 21, 2020
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二、流程介紹
上料 清潔整孔 熱市水洗 市水洗 （市水洗） 微蝕 市水洗 市水洗 酸洗 純水洗 純水洗 預浸 活化 純水洗 純水洗速化 純水洗 純水洗化學 銅 市水洗 純水洗 下料
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＊基本反應原理： Pd2+ +Sn2+→Pd0+Sn4+ ▪ 存在方式： PdCl2+SnCl2→PdSnCl4(中間態) Pd7SnCl16→Pd6Cl12 +SnCl2 +PdCl2 PdSnCl4+6 PdCl2→Pd7SnCl16 ▪ 解離反應：(活化劑中加入大量水份時) Sn2++ 2H2O→Sn(OH)2 (S) +2H+ Sn2++Cl-+H2O→Sn(OH)Cl(S)+H+
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严格把控质量关，让生产更加有保障 。2020年10月 上午7时 25分20.10.2107:25Oc tober 21, 2020
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作业标准记得牢，驾轻就熟除烦恼。2020年10月21日星期 三7时25分57秒 07:25:5721 October 2020
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好的事情马上就会到来，一切都是最 好的安 排。上 午7时25分57秒 上午7时25分07:25:5720.10.21
2HCHO+OH-→CH3OH+HCOO-
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液的保養
1. 原則上作業終了後，將之移至預備槽並常 時過濾、打氣之。作業中的補給以912AR、 BR進行補充之。此外，使用自動分析添加 裝置(比色計)來管理液組成，可使其保持恰 當的管理範圍。 分析因子: 銅、NaOH、甲醛、螯合劑
Cleaner Conditioner
Component of conditioner
++ ++
----
+
+
+
+
Glass
Resin
Catalyst
Pd-Sn colloid
-
-
-
--
-
-
-
+++ + ----
+
+
+
+
Glass
Resin
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2.微 蝕 SPS
活化劑 AT – 105 – 3
▪ 前言: 活化劑 AT – 105 – 3 是低鹽酸型的觸媒液，此
藥液具有優良的安定性，可使底材表面均一的觸媒 化，以利化學銅鍍通孔的啟始反應劑。 ▪ 注意事項:
1.嚴禁空氣攪拌(Sn2+→Sn4+,Sn/Pd膠體會 分解)
2.嚴禁補充純水或帶入純水(形成白濁沉澱)
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Electroless Cu Reaction
HCHO + OH-
H2C(OH)O-
HCOO- + H2O
[HC(OH)O-]ad + OH-
CuX2-n
[HC(OH)O-]ad + H
ePd or Cu
Cu +Xn-
Substrate
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踏实肯干，努力奋斗。2020年10月21日上午7时25分 20.10.2120.10.21
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追求至善凭技术开拓市场，凭管理增 创效益 ，凭服 务树立 形象。2020年10月21日星期 三上午7时25分 57秒07:25:5720.10.21
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安全在于心细，事故出在麻痹。20.10.2120.10.2107:25:5707:25:57October 21, 2020
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踏实肯干，努力奋斗。2020年10月21日上午7时25分 20.10.2120.10.21
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追求至善凭技术开拓市场，凭管理增 创效益 ，凭服 务树立 形象。2020年10月21日星期 三上午7时25分 57秒07:25:5720.10.21
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一马当先，全员举绩，梅开二度，业 绩保底 。20.10.2120.10.2107:2507:25:5707:25:57Oc t-20
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牢记安全之责，善谋安全之策，力务 安全之 实。2020年10月21日 星期三7时25分 57秒 Wednesday, October 21, 2020
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相信相信得力量。20.10.212020年10月 21日星 期三7时25分57秒20.10.21
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安全象只弓，不拉它就松，要想保安 全，常 把弓弦 绷。20.10.2107:25:5707:25Oc t-2021- Oct-20
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加强交通建设管理，确保工程建设质 量。07:25:5707:25:5707:25Wednesday, October 21, 2020
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安全在于心细，事故出在麻痹。20.10.2120.10.2107:25:5707:25:57October 21, 2020
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3.酸 洗
微蝕劑本身為氧化劑，因此會將銅 氧化，酸洗之目的可將此氧化膜去除以 得到良好銅面。
＊反應式: CuO+ H2SO4→CuSO4+H2O
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4.預 浸 作 用
預浸劑主要功用在保護活化劑，可防止 帶入太多之水量，避免帶入太多水份及雜質 進入昂貴之活化槽中，並提供活化劑中所需 要的氯離子濃度，以維持活化劑之穩定性及 使用壽命。
量
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穿孔力（Throwing power）提高要點
▪ 使用較低的電流密度 ▪ 使用較低的溫度 ▪ 提高搖擺效率 ▪ 添加劑在控制範圍內 ▪ 降低污染值
▪ 使用高酸/銅比（適用範圍約10:1）
▪ 使用較小的空氣攪拌
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三、藥水介紹
▪ 1.清潔整孔劑 : CT-281
▪ 2.微蝕 :
SPS
▪ 3.酸洗 : ▪ 4.預浸 :
H2SO4 PED-104
▪ 5.活化劑 : AT-105-3
▪ 6.速化 :
AL-106
▪ 7.化學銅 : ELC-912
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1.清潔整孔劑: CT-281
谢谢大家！
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树立质量法制观念、提高全员质量意 识。20.10.2120.10.21Wednes day, October 21, 2020
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人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。07:25:5707:25:5707:2510/21/2020 7:25:57 AM
密著力，其主要目的是將觸媒粒子予以金屬 化。
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7.化學銅:ELC-912
在孔壁吸附之鈀上沉積銅，而得到孔內 金屬化效果，使不導電之基材形成導電層， 以利後續電鍍銅。 ELC-912是重視析出皮膜的物性、安定性及 管理性之EDTA type化學薄銅鍍液。
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6.速 化作用:
速化劑主要在剝除板面及孔內錫殼， 而露出所需鈀金屬，以利化學銅之沉積。 ＊反應式：
PdSnCl4+4HBF4→Pd+4HCl+Sn(BF4)4
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速化劑 AL – 106
▪ 前言: 速化劑 AL – 106可增強基材與化學銅的
▪ 孔壁之帶電性變化：
基板 → 鑽孔 → Desmear(Plasma) → 清潔整孔
微正電性 負電性
強正電性
▪ 反應式（理論） :
H2O + R2COO’ → RCOOH + R’OH
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Key Point of pretreatment process
水洗
銅電鍍
10%硫酸浸
水洗
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酸性硫酸銅槽條件控制
▪ 硫酸銅
65~85g/L
▪ 硫酸
170~220g/L
▪ 氯離子
35~65 ppm
▪ 添加劑 AC-90 5.0ml/L
▪ 溫度
23~27℃
▪ 陰極電流密度 15~25 ASF
▪ 陽極